【正文】 振盪器介面、真空計介面、離子鎗控制器介面…也是如此。 ”離開”,即可關閉此系統(tǒng)。必須密碼正確才允許存檔?！遍_啟製程”點選,。 檔案功能 此主下拉功能細分下列幾項次功能 新製程檔 開啟製程 存檔 另存新檔 英文顯示 中文顯示 離開 新製程檔：游標移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現(xiàn)如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進入新製程檔設定畫面,，按一下”顯示資料”，在此畫面下即可進行編輯。 Auto1 執(zhí)行檔若出現(xiàn)問題，無法正常關閉時，請使用 Windows 關閉，再開啟 Auto1 即可。視窗版自動化鍍膜製程系統(tǒng)操作手冊 　　使用單位：PreOptix 　　編寫單位：永韶科技有限公司　　　版權所有：永韶科技有限公司　 翻印必究 編寫時間：2009 01/13版 本： 　視窗版自動化鍍膜製程系統(tǒng)目錄 檔案 硬體設定 功能測試 製程分析 製程監(jiān)控 線上量測 其他功能 系統(tǒng)特色 監(jiān)控系統(tǒng)簡要1. 如何進入自動化鍍膜製程系統(tǒng): 開啟電腦進入視窗(Windows)作業(yè)系統(tǒng)後,點選桌面捷徑(須注意開啟路徑是否正確)即可開啟畫面如下圖:注意：1) 中間顯示圖框會出現(xiàn)兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(***.tfc)，一般是上次最後一次進入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。 : 此系統(tǒng)主要功能 分為下列七大項，將逐項說明。PS: 1)新製程檔名內(nèi)定為 ，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進行編輯。在此畫面下即可點選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進行編輯(副檔名為*.tfc)。 另存新檔： 將游標移至”檔案”224。 硬體設定功能此主下拉功能細分下列幾項次功能 主控 PLC 介面 真空計介面 石英振盪器介面 膜厚監(jiān)控器介面 離子鎗流量控制器介面 離子鎗陰極控制器介面 離子鎗陽極控制器介面 D/A Channel 設定 ,每項皆有內(nèi)定值。，一般指的是光學膜厚監(jiān)視器，系統(tǒng)中之類比訊號控制通道，也是一對一關係。2) 在傳輸埠列項中，點選與硬體相對應的傳輸埠設定3) 若確定無誤，需點按”確定”按鈕才能有效設定與離開，若無法確認或只是查看請按 ”取消”離開?！蹦ず癖O(jiān)控器介面”點選,即出現(xiàn)通關密碼畫面，；若輸入正確密碼。 D/A Channel 設定： 將游標移至”硬體設定功能”224。3) 不同型態(tài)的鍍膜機，其透過 D/A 輸出的功能可能有所不同。6) 若同時有數(shù)個通道有誤，有可能卡沒插好或翹起，可試著打開電腦重新安裝(注意:務必關閉電腦電源) ，若幾次尚不能解決，此卡就需考慮送修。如此做，方便使用者進行硬體功能除錯，提高系統(tǒng)維護之效益。2) 其測試相當簡單，在設定框輸入所想輸出之流量，再點擊”輸出”按鈕即可?！闭婵沼嫻δ軠y試”點選,即出現(xiàn)。3) 誠如 ，Gauge Monitor 是透過 RS232 或 RS485與電腦通訊，其故障點有三個部份:； COM PORT 故障； Monitor 相關設定被更改或故障。說明如下:1) 若此鍍膜系統(tǒng)沒有裝置石英振盪器，則此測試功能反白無效。”PLC相關功能測試”點選,即出現(xiàn)。3) 按鈕功能祇要滑鼠(鼠標)單擊就有效，上下鍵提供位置設定，如監(jiān)控片、坩堝位置設定或掃瞄位置?！睆V波域介面功能測試”點選,即出現(xiàn)。3) 在測試廣波域光譜卡時，首先須點擊”初始化”按鍵若有”初始化失敗”的對話框出現(xiàn)，表示光譜卡無法正常工作，(USB介面)或卡沒插好(ISA介面)。1) ，提供了三種功能，方便使用者進行膜層之增加與刪減，可在說明編輯畫面中加入注解，方便往後資料追蹤。*:此參數(shù)可提供不同折射率監(jiān)控片基材設定，也就是說使用者可依不同情況選擇適當?shù)谋O(jiān)控片，只要透過基材檔資料建立之資料，在其右邊下拉式視窗就會顯示，方便選取設定。只要膜層控制方法選用x1或x0(見*方法) ，其膜厚之參考波長就是此值。 *:可按右邊小箭頭拉下視窗選擇此層要鍍的膜材，此膜材資料是透過”膜材檔資料”所建立。所以監(jiān)控膜厚實為 膜厚x比率。個位數(shù):2:時間控制換層，蒸著時間設定於相對應之膜厚資料欄。如:方法: 21 表用 1 號電極、光學膜厚監(jiān)控、自動切換膜層。 *:設定鍍膜材料所在之坩堝位置。 1:真空度控制，電腦會自動調(diào)節(jié)氧流量來符合所設定之真空度。3:真空度控制，與方式1類似，差別在膜層蒸著結束後直接換層，氧流量維持沒有歸零的動作，適用於有離子助鍍之膜層。真空度單位: E5 Torr 如設 8 表 Torr。一般正常情況下(%)，此值設為0，沒有什麼問題。*:設定膜層蒸著最小時間，若膜層小於此設定時間完成，就會出現(xiàn)警報，等待處裡。*: 設定膜層蒸著最大時間，若膜層大於此設定時間未能完成，就會出現(xiàn)警報，等待處裡。*: 設定膜層蒸著所需離子鎗資料編碼，其相關編號內(nèi)容，參考離子鎗資料設定檔。3) 需重新分析的情況 ˙膜層總數(shù)有所變更˙蒸著材料有所變更˙膜厚有所變更˙比率有所改變˙監(jiān)控片組成有所變更*經(jīng)分析完成後，會產(chǎn)生膜層堆疊之光譜圖以供參考，點擊右上角之上下鍵，即可觀察每一層堆疊情況。選取所需監(jiān)控波長，鍵盤↑↓鍵或用滑鼠點選↑↓可切換膜層，選至最後一層時，點選儲存鍵即可儲存，若按取消鍵，就不會儲存新選擇之監(jiān)控波長。 ?在監(jiān)控波長可能出現(xiàn)不同數(shù)量的回頭點時，儘可能選在參考波長附近那一條。 分析檔參數(shù)設定將游標移至”製程分析”224。 基材檔資料 1) 將游標移至”製程分析”224。2) *01新增基材資料: ”功能”選項點選”增加基材材料”，鍵入所要基材名稱，按下OK即可完?！憋@示資料”，便可進行資料修改。此畫面之功能鍵提供了增加膜材與刪除膜材資料功能。 3)要修改膜材之NK值,可直接點”材料編輯”224?！蹦げ姆治鼋Y果”點選，即出現(xiàn)如圖 ?！北O(jiān)控波長選取”點選，即出現(xiàn)如圖 。尤其膜層愈多顯現(xiàn)的效率愈好。提醒使用者需事先由檔案功能開啟所要修改之製程檔。2) 與蒸著製程監(jiān)控的相關參數(shù)有製程組態(tài)參數(shù)、電子鎗參數(shù)、電極參數(shù)、電子鎗掃瞄參數(shù)與離子源參數(shù)等等，若系統(tǒng)中沒有提供某項設定功能，則此功能列呈現(xiàn)反白。 自動蒸著 1) 將游標移至”製程監(jiān)控”224。，若有問題，會出現(xiàn)一些訊息或無法進入蒸著，可利用硬體測試作逐項測試，進而排除故障點。有必要可按”省略”鍵直接進入，需退出直接按下”放棄”鍵即可。2. 修正板就定位3. 監(jiān)控片位置定位確認4. 坩堝位置定位確認5. 通氧確認6. 石英條件確認7. 膜藥預融8. 參考光量確認(光學膜厚監(jiān)控)或石英膜厚確認是否歸零(物理膜厚監(jiān)控)9. 打開電子鎗遮板，進行蒸著10. 即時監(jiān)控膜厚與蒸著條件，達設定膜厚即關閉電子鎗與遮板，進入 下層，重複19之動作 補層蒸著1) 將游標移至”製程監(jiān)控”224。4) 參數(shù)說明: *: 設定進入補層之層數(shù) *: 要進入補的那一層若未鍍過，而且監(jiān)控片是新的監(jiān)控片時，選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。 *: 若進入之補層是監(jiān)控片的第一層且尚未鍍過，確認現(xiàn)在監(jiān)控片是否用過，若用過則選擇”是(Yes)”，反之選”否(No)”。石英膜厚監(jiān)控之補層會自動換層，無需設定。2) 參數(shù)說明: :*取樣平均數(shù):*雜訊判斷值(%):*雜訊平均數(shù): 以上三值只對光學膜厚監(jiān)控有效，若使用者對系統(tǒng)不是很瞭解的話，強烈建議使用內(nèi)定值，不要任意更改。設定此值需合乎系統(tǒng)實際蒸著流量與壓力關係，設小沒有保護作用，設大會動不動就有警報出現(xiàn)。 適用於定真空模式(模式3)。*高折射材料: 設定蒸鍍時，自動調(diào)節(jié)高折射膜材蒸著速率快慢。值大調(diào)節(jié)快，但不可過大，以免產(chǎn)生調(diào)節(jié)振盪。*高折射低功率限制: 設定高折射膜材最小功率限制，適用於有設定蒸著速率的情況下，若有異常發(fā)生，造成速率偵測過大，也還能維持最小功率值鍍完膜層。單圈旋轉之監(jiān)控片機構未必有提供模式1的轉換型式，依實際系統(tǒng)而定。1：表示記錄資料。有的系統(tǒng)版本沒有提供此項功能?！彪娮渔j組態(tài)設定”點選，再按下”顯示資料”即可進入電子鎗參數(shù)設定，設定完成後，按下”確定”鍵即可儲存設定值並離開，若只是查詢參數(shù)，直接按下”取消”即可離開，任意修改不會被儲存。建議如有新添加膜材，則預融時間要拉長，一般第一層高折射率材料需特別注意?！眳⒖脊饬繏呙椤秉c選，即可進入?yún)⒖脊饬繏呙閿X取畫面，提供了”功能”、”儲存檢測光量” 、”設定檢測光量容差”、”儲存”、”取消”及”顯示”等功能。：按下此鍵，再經(jīng)通關密碼，即可儲存此光量資料作為 製程中自動參考光量掃瞄檢查基準，其是否檢查與檢查容差設定底下說明。4) 若系統(tǒng)有設定參考光量檢測，建議操作者等抽氣穩(wěn)定、溫定穩(wěn)定及在新監(jiān)控片下掃瞄儲存光量資料，再進入蒸著製程。：若需更新，就需利用”儲存”鍵儲存退出。5) 一般在外在溫度變化不大的環(huán)境下，是不太需要常常作暗區(qū)掃瞄。2) 使用者點選監(jiān)控波長後，可藉由此監(jiān)控波長顯示，再次確認是否選擇適當、是否需重新點選。2) 此畫面除了顯示蒸著的設定與即時訊息外，也提供了幾項按鍵功能，若系統(tǒng)是完全自動，在無異?；蛐薷牡那闆r