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半導(dǎo)體材料生產(chǎn)建設(shè)項(xiàng)目可行性研究報(bào)告-wenkub

2023-05-13 00:42:53 本頁(yè)面
 

【正文】 0mm具有良好性能的半絕緣和摻雜材料已經(jīng)商品化。磷化銦具有比砷化鎵更優(yōu)越的高頻性能,發(fā)展的速度更快,但研制直徑4英寸以上大直徑的磷化銦單晶的關(guān)鍵技術(shù)尚未完全突破,價(jià)格居高不下。世界GaAs單晶主要生產(chǎn)商情況見表6。移動(dòng)電話用電子器件和光電器件市場(chǎng)快速增長(zhǎng)的要求,使全球砷化鎵晶片市場(chǎng)以30%的年增長(zhǎng)率迅速形成數(shù)十億美元的大市場(chǎng),預(yù)計(jì)未來20年砷化鎵市場(chǎng)都具有高增長(zhǎng)性。 目前,世界砷化鎵單晶的總年產(chǎn)量已超過200噸(日本1999年的砷化鎵單晶的生產(chǎn)量為94噸)。砷化鎵單晶材料:砷化鎵是微電子和光電子的基礎(chǔ)材料,為直接帶隙,具有電子飽和漂移速度高、耐高溫、抗輻照等特點(diǎn),在超高速、超高頻、低功耗、低噪聲器件和電路,特別在光電子器件和光電集成方面占有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。單晶硅和多晶硅應(yīng)用最廣。主要產(chǎn)品有棒狀和粒狀兩種,主要是用作制備單晶硅以及太陽能電池等??梢哉f在未來30~50年內(nèi),硅材料仍將是LSI工業(yè)最基礎(chǔ)和最重要的功能材料。該項(xiàng)目符合國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策和行業(yè)發(fā)展要求,產(chǎn)品市場(chǎng)廣闊,經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益顯著,抗風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)。其中,建設(shè)投資4501萬元,在建設(shè)投資中,建筑工程費(fèi)545萬元,設(shè)備購(gòu)置及安裝費(fèi)3563萬元,其它費(fèi)用113萬元,基本預(yù)備費(fèi)280萬元??梢哉f,市場(chǎng)發(fā)展為半導(dǎo)體支撐材料業(yè)帶來前所未有的發(fā)展機(jī)遇。而2007年全球整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)僅增長(zhǎng)3%,達(dá)到2556億美元。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中,一般將硅、鍺稱為第一代半導(dǎo)體材料;將砷化鎵、磷化錮、磷化鎵、砷化錮、砷化鋁及其合金等稱為第二代半導(dǎo)體材料;而將寬禁帶(Eg)的氮化鎵、碳化硅、硒化鋅和金剛石等稱為第三代半導(dǎo)體材料。 第四節(jié) 簡(jiǎn)要結(jié)論半導(dǎo)體材料是指電導(dǎo)率介于金屬和絕緣體之間的固體材料。半導(dǎo)體于室溫時(shí)電導(dǎo)率約在 10ˉ10~10000/Ω上述材料是目前主要應(yīng)用的半導(dǎo)體材料,三代半導(dǎo)體材料代表品種分別為硅、砷化鎵和氮化鎵。中國(guó)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)發(fā)展迅速,預(yù)計(jì)2010年,半導(dǎo)體材料的銷售額將達(dá)到530億美元。基于以上現(xiàn)狀,山東愛和科技有限公司擬利用現(xiàn)有生產(chǎn)及技術(shù)優(yōu)勢(shì)開發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體材料,以滿足市場(chǎng)的需求。資金來源為企業(yè)自籌資金。通過研究可以看出本項(xiàng)目依據(jù)條件較好,工藝技術(shù)成熟可靠,無論在技術(shù)上還是在經(jīng)濟(jì)效益上都是可行的。電子工業(yè)的發(fā)展歷史表明,沒有半導(dǎo)體硅材料的發(fā)展,就不可能有集成電路、電子工業(yè)和信息技術(shù)的發(fā)展。 生長(zhǎng)單晶硅的工藝可分為區(qū)熔(FZ)和直拉(CZ)兩種。經(jīng)過多年的發(fā)展和競(jìng)爭(zhēng),國(guó)際硅材料行業(yè)出現(xiàn)了壟斷性企業(yè),日本、德國(guó)和美國(guó)的六大硅片公司的銷量占硅片總銷量的90%以上,其中信越、瓦克、SUMCO和MEMC四家的銷售額占世界硅片銷售額的70%以上,決定著國(guó)際硅材料的價(jià)格和高端技術(shù)產(chǎn)品市場(chǎng),其中以日本的硅材料產(chǎn)業(yè)最大,占據(jù)了國(guó)際硅材料行業(yè)的半壁江山。用于大量生產(chǎn)砷化鎵晶體的方法是傳統(tǒng)的LEC法(液封直拉法)和HB法(水平舟生產(chǎn)法)。日本是最大的生產(chǎn)國(guó)和輸出國(guó),占世界市場(chǎng)的70~80%;美國(guó)在1999年成功地建成了3條6英寸砷化鎵生產(chǎn)線,在砷化鎵生產(chǎn)技術(shù)上領(lǐng)先一步。國(guó)際上砷化鎵市場(chǎng)需求以4英寸單晶材料為主,而6英寸單晶材料產(chǎn)量和市場(chǎng)需求快速增加,已占據(jù)35%以上的市場(chǎng)份額。寬禁帶氮化鎵材料:國(guó)外對(duì)SiC的研究早在五十年代末和六十年代初就已開始了。美國(guó)政府與西屋西子公司合作,投資450萬美元開了3英寸純度均勻、低缺陷的SiC單晶和外延材料。SiC具有較大的禁帶寬度,使得基于這種材料制成的器件和電路可以滿足在470K到970K條件下工作的需要,目前有些研究水平已經(jīng)達(dá)到970K的工作溫度,并正在研究更高的工作溫度的器件和集成電路。單晶硅產(chǎn)量為584t,拋光片產(chǎn)量5183萬平方英寸,主要規(guī)格為3~6英寸,6英寸正片已供應(yīng)集成電路企業(yè),8英寸主要用作陪片。2004年國(guó)內(nèi)從事硅單晶材料研究生產(chǎn)的企業(yè)約有35家,從業(yè)人員約3700人,主要研究和生產(chǎn)單位有北京有研硅股、杭州海納半導(dǎo)體材料公司、寧波立立電子公司、洛陽單晶硅廠、萬向硅峰電子材料公司、上海晶華電子材料公司、峨眉半導(dǎo)體材料廠、河北寧晉半導(dǎo)體材料公司等。;信息產(chǎn)業(yè)部46所生長(zhǎng)出中國(guó)第一根6英寸砷化鎵單晶,單晶重12kg,并已連續(xù)生長(zhǎng)出6根6英寸砷化鎵單晶;西安理工大在高壓?jiǎn)尉t上稱重單元技術(shù)研發(fā)方面取得了突破性的進(jìn)展。 中國(guó)GaAs材料單晶以2~3英寸為主,4英寸處在產(chǎn)業(yè)化前期,研制水平達(dá)6英寸。集成電路用砷化鎵材料的砷和鎵原料要求達(dá)7N,基本靠進(jìn)口解決。目前研究的重點(diǎn)主要是4英寸碳化硅襯底的制備技術(shù)以及大面積、低位錯(cuò)密度的碳化硅外延技術(shù)。二、項(xiàng)目建設(shè)的背景電子信息材料的總體發(fā)展趨勢(shì)是向著大尺寸、高均勻性、高完整性、以及薄膜化、多功能化和集成化方向發(fā)展。 (一)Si、GaAs、InP等半導(dǎo)體單晶材料向著大尺寸、高均質(zhì)、晶格高完整性方向發(fā)展。 (四)高純化學(xué)試劑和特種電子氣體的純度要求將分別達(dá)到lppb~,金屬雜質(zhì)含量控制在ppt級(jí),并將開發(fā)替代有毒氣體的新品種電子氣體。三、產(chǎn)品市場(chǎng)不斷擴(kuò)大地需求半導(dǎo)體材料市場(chǎng)廣闊,具有很好的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。在信息產(chǎn)品市場(chǎng)的拉動(dòng)下,電子信息材料產(chǎn)業(yè)也將獲得持續(xù)較快的增長(zhǎng)。在此背景下,我國(guó)信息材料業(yè)的未來商機(jī)首先來自半導(dǎo)體材料市場(chǎng)。而2007年全球整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)僅增長(zhǎng)3%,達(dá)到2556億美元??梢哉f,市場(chǎng)發(fā)展為半導(dǎo)體支撐材料業(yè)帶來前所未有的發(fā)展機(jī)遇。第二節(jié) 廠址概況一、地理位置禹城市位于東經(jīng)116℃,北緯37℃。廠址處地貌屬黃河沖積平原地貌單元,微地貌為人工開挖農(nóng)田灌溉水渠。地殼運(yùn)動(dòng)總的趨勢(shì)是以上降為主,長(zhǎng)期接受堆積覆蓋有深厚的新生界地層。常見蟲孔構(gòu)造及植物殘?bào)w。年平均氣溫:℃絕對(duì)最高氣溫:℃絕對(duì)最低氣溫:℃累年最熱月(7月):℃,℃,℃。地層內(nèi)主要為銹黃色、黃土類土,巖性一般以粘質(zhì)砂土為主。于6070米左右均有淤泥層,淤泥厚度10米多,砂層一般為粉細(xì)砂、細(xì)砂層,厚24。地下水對(duì)混凝土無侵蝕性。經(jīng)水樣水質(zhì)分析報(bào)告,PH=~,地下水對(duì)混凝土具弱腐蝕性,對(duì)鋼結(jié)構(gòu)具有中等腐蝕性,對(duì)鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)中的鋼筋具有弱腐蝕性。④層:粉土層,~,地基承載力推薦值為130kPA。⑧層:細(xì)砂夾粉砂層,~,地基承載力推薦值為200kPA。乘汽車到北京、青島只需3個(gè)多小時(shí),到濟(jì)南只需要30多分鐘,到濟(jì)南遙墻機(jī)場(chǎng)40多分鐘。   禹城自然條件優(yōu)越,土地資源豐富,勞動(dòng)力充足,盛產(chǎn)糧食、棉花、大豆、花生、果品、蔬菜、肉牛、肉雞、肉兔等,年糧食產(chǎn)量約380000噸,是國(guó)家重要的商品糧、優(yōu)質(zhì)棉、瘦肉型豬生產(chǎn)基地和聯(lián)合國(guó)棉花技術(shù)研究基地,是華北地區(qū)第一批農(nóng)業(yè)引用外資項(xiàng)目市、全國(guó)黃淮平原農(nóng)業(yè)開發(fā)先期試點(diǎn)市、示范市。DHA“忘不了”膠丸、低聚糖、木糖醇、豆沙餡、機(jī)引耙片等多種產(chǎn)品,在國(guó)內(nèi)外享有較高聲譽(yù)。投資國(guó)別和地區(qū)涉及美國(guó)、日本、新加坡、奧地利、馬來西亞、臺(tái)灣、香港等。為此,禹城市從優(yōu)化投資環(huán)境入手,先后制定了一系列吸引人才、技術(shù)、資金和項(xiàng)目的優(yōu)惠政策,建立了經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)、新世紀(jì)工業(yè)園和禹西生態(tài)與觀光農(nóng)業(yè)園,加強(qiáng)了城鄉(xiāng)基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè),為擴(kuò)大對(duì)外經(jīng)濟(jì)合作與交流創(chuàng)造了寬松的環(huán)境。根據(jù)以上分析,擬建廠址是適宜的。通訊:項(xiàng)目區(qū)通訊條件便利,城鄉(xiāng)電話通訊已實(shí)現(xiàn)程控化,進(jìn)入全國(guó)先進(jìn)行列,通訊條件完全可滿足項(xiàng)目通訊要求。該項(xiàng)目的消防應(yīng)按《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》和《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》設(shè)計(jì)、配置。產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用在高端電子產(chǎn)品的包裝材料上,比如液晶顯示器、光學(xué)鏡頭、精密電子基板以及元器件、醫(yī)療用具等等對(duì)包裝材料有特殊要求的場(chǎng)合。具有自動(dòng)化程度高,生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)。主要設(shè)備該項(xiàng)目所需生產(chǎn)設(shè)備具體詳見下表:主要生產(chǎn)設(shè)備一覽表設(shè)備名稱型號(hào)規(guī)格單 位數(shù) 量產(chǎn) 地真空型高速分散機(jī)MHK10臺(tái)2日本行星攪拌機(jī)PVM700臺(tái)2日本自動(dòng)上料機(jī)300臺(tái)2北京連續(xù)干燥機(jī)1 PET300型臺(tái)2蘭州三輥壓光機(jī)SJPF800型臺(tái)2江蘇單螺桿擠出機(jī)SJ120/33臺(tái)2江蘇換網(wǎng)器臺(tái)2江蘇片材機(jī)頭臺(tái)2上海導(dǎo)電液制造設(shè)備套2上海APET PETG CPET片材生產(chǎn)線/免干燥新型PET雙排氣生產(chǎn)線2上海粉碎機(jī)大連研磨機(jī)GMH65L臺(tái)1新黎明防爆電器有限公司攪拌機(jī)MH200INV臺(tái)1新黎明防爆電器有限公司電瓶叉車CPD15輛2安徽合力柴油叉車CPCD20輛2安徽合力空氣壓縮機(jī)推車式臺(tái)4江寧冷卻裝置套1大連車間空氣凈化循環(huán)設(shè)備組1安徽輔助設(shè)備套2安徽低壓配電ST300第三節(jié) 總平面布置及運(yùn)輸一、總平面布置原則(一)根據(jù)生產(chǎn)工藝流程、交通運(yùn)輸、環(huán)境保護(hù)、加工場(chǎng)所要求,以及防火、安全、衛(wèi)生、施工及檢修要求,結(jié)合自然條件合理布置生產(chǎn)加工車間及配套設(shè)施廠房。廠區(qū)設(shè)人員出入口,總圖平面布置符合規(guī)范。廠區(qū)布置基本可滿足企業(yè)生產(chǎn)和管理要求,并基本符合國(guó)家和地方有關(guān)環(huán)保、防火、安全、衛(wèi)生等方面的要求。總建筑面積約8664平方米。立面設(shè)計(jì)在考慮建筑效果的同時(shí),充分考慮北方地區(qū)冬季氣候寒冷的特點(diǎn),在開窗方面建筑物既要節(jié)能又要滿足立面效果。墻架及屋蓋系統(tǒng):墻架結(jié)構(gòu)的水平及垂直荷載通過墻架支撐及墻廩傳至鋼框架柱或抗風(fēng)墻,墻廩采用冷彎薄壁Z、C型鋼架檁條。參照地腳布置圖進(jìn)行基礎(chǔ)施工,安裝好導(dǎo)軌,澆注混凝土,放好機(jī)器,調(diào)整好中心高度及水平位置。三、建筑防火建筑物之間嚴(yán)格執(zhí)行建筑物防火間距、消防通道等防火規(guī)范要求,建筑周圍規(guī)劃寬6米消防通道,消防車能到達(dá)建筑物各處外墻臨空面實(shí)施消防救援。建廠廠區(qū)建設(shè)完善消防設(shè)施,建有消防水池及消防水泵房。車間生產(chǎn)生活用水從廠區(qū)自來水管線就近接入車間。消火栓系統(tǒng)采用帶穩(wěn)壓系統(tǒng)的臨時(shí)高壓供水系統(tǒng),消防管道在廠區(qū)成環(huán)狀,同時(shí)設(shè)有地上式消火栓。二、供電與通訊(一)負(fù)荷等級(jí)及電源電力由禹城市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)變電所提供本項(xiàng)目用電。采用微機(jī)繼電保護(hù)和綜合自動(dòng)化電力監(jiān)控系統(tǒng),其監(jiān)控主機(jī)在總配電室。生產(chǎn)車間采用低壓配電屏直接向設(shè)備供電;動(dòng)力線采用電纜沿橋架及BV線穿管敷設(shè);照明線路全部采用BV線穿管暗敷。(三)熱源項(xiàng)目建設(shè)廠區(qū)有熱電聯(lián)產(chǎn)供熱管網(wǎng)。采暖設(shè)備采用鋼管型散熱器。采暖設(shè)備生產(chǎn)廠房采用鋼制閉式串片,車間采暖按16℃設(shè)計(jì)。公司的經(jīng)營(yíng)管理機(jī)構(gòu),設(shè)總經(jīng)理1人,副總經(jīng)理3人,下設(shè)銷售公司、生產(chǎn)技術(shù)部、設(shè)備動(dòng)力部、采購(gòu)部、財(cái)務(wù)部、綜合辦公室等。生產(chǎn)連續(xù)運(yùn)行人員采用四班三倒的運(yùn)行方式,非生產(chǎn)人員按國(guó)家法定制度,每周工作五天,休息兩天。第三節(jié) 職工來源與培訓(xùn)一、職工來源本項(xiàng)目采用先進(jìn)技術(shù)和先進(jìn)設(shè)備,因此所需人員應(yīng)具備一定的專業(yè)知識(shí)和較高的技術(shù)素質(zhì)。生產(chǎn)人員培訓(xùn)可在國(guó)內(nèi)同類工廠或本廠內(nèi)進(jìn)行,培訓(xùn)時(shí)間般為36個(gè)月。生產(chǎn)工人:對(duì)生產(chǎn)工人進(jìn)行理論知識(shí)及操作技術(shù)培訓(xùn),掌握本崗位工序質(zhì)量控制的方法和手段、安全生產(chǎn)和勞動(dòng)保護(hù)知識(shí)以及所使用設(shè)備的維護(hù)及故障排除技能,實(shí)行持證上崗。堅(jiān)持經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益相統(tǒng)一的原則,在工藝設(shè)計(jì)中積極采用無毒、無害、低毒、低害的原料,采用節(jié)能低噪聲設(shè)備,采用無污染少污染的新技術(shù),把生產(chǎn)過程中的污染物減少到最低限度。廢水本項(xiàng)目排放的廢水主要為公司員工的生活污水,可排入高新區(qū)污水管網(wǎng),最后進(jìn)入禹城市污水處理廠集中處理后,外排。經(jīng)車間墻壁隔聲和距離自然衰減后,對(duì)周圍聲環(huán)境不會(huì)造成明顯的影響。四、綜合利用與治理方案公司設(shè)有專職環(huán)保機(jī)構(gòu)。醋酸乙酯在每個(gè)排氣筒的排放濃度和排放速率分別都為: mg/m3, kg/h。(四)固體廢物本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的邊角料可以外賣給廢品收購(gòu)站,生活垃圾均為一般廢物,分類收集后由環(huán)衛(wèi)部門定期清運(yùn)。三、防范措施方案貫徹執(zhí)行國(guó)家有關(guān)的職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和規(guī)定,設(shè)計(jì)中盡可能做到工藝技術(shù)先進(jìn),經(jīng)濟(jì)合理,安全可靠,在滿足生產(chǎn)的前提下,優(yōu)先采用安全無毒、低噪音、操作方便、勞動(dòng)強(qiáng)度低的工藝和設(shè)備,減輕工人勞動(dòng)強(qiáng)度,改善工人的勞動(dòng)條件。機(jī)械加工大型設(shè)備往復(fù)運(yùn)動(dòng)部分及高速施轉(zhuǎn)外凸部分,均設(shè)置有防護(hù)罩殼,以防止切削甩出傷人;車間內(nèi)起重運(yùn)輸設(shè)備的起重機(jī)、叉車都設(shè)有防護(hù)、保險(xiǎn)裝置,以保證工人操作安全和工作環(huán)境良好。高低壓電氣設(shè)備在正常條件下與帶電部分絕緣的外露金屬部分及其安裝金屬支架均進(jìn)行保護(hù)接地。其地線與零線不得混接。(三)防火、防爆按建筑防火規(guī)范要求,對(duì)項(xiàng)目各建、構(gòu)筑物之間合理設(shè)置防火間距與消防通道,面積較大的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)部設(shè)置防火分區(qū),以防火墻加以分隔。五、工業(yè)衛(wèi)生(一)防塵、防毒空壓機(jī)房、變配電所等產(chǎn)生的粉塵和有害氣體處全面設(shè)置通風(fēng)系統(tǒng)。產(chǎn)生較大噪音的通風(fēng)機(jī)等進(jìn)出口處均加消音器;新增加的工藝設(shè)備采用低噪音設(shè)備;同時(shí),對(duì)相關(guān)人員采用個(gè)人防護(hù)用品,如耳塞、耳罩等進(jìn)行防護(hù)。第三節(jié) 消防一、設(shè)計(jì)依據(jù)(一)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016-2006(二)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 501402005二、消防措施(一)總圖實(shí)施地內(nèi)建筑物間距大于10米,道路呈環(huán)狀,主干道12米,四周支路寬6米,有較大面積空?qǐng)隹捎糜谙阑剀嚒#ㄈ┫澜o水及設(shè)施場(chǎng)區(qū)設(shè)有300立方米消防水池,作為消防用水的來源。(四) 電氣防火生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)設(shè)應(yīng)急照明,應(yīng)急照明燈具內(nèi)自帶蓄電池,應(yīng)急時(shí)間不小于90分鐘。室內(nèi)安裝有火災(zāi)報(bào)警控制器、消防電話主機(jī)和外線電話。建立了安全生產(chǎn)責(zé)任制、各種安全管理制度、管理臺(tái)帳,劃分了重點(diǎn)消防和防護(hù)區(qū)域,合理配備消防器材,安全操作規(guī)程齊全、制定了火災(zāi)、中毒、自然災(zāi)害等可能發(fā)生事故的應(yīng)急救援預(yù)案。 第三節(jié) 節(jié)能措施和節(jié)能效果分析本項(xiàng)目采取以下節(jié)能措施:一、建筑節(jié)能(一)屋面:100厚憎水膨脹珍珠巖塊保溫層;(二)外墻:240厚燒結(jié)空心磚,外做40厚聚苯顆00粒保溫層;(三)不采暖樓梯間隔墻
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