【正文】 潔凈室應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化室和設(shè)施。GB5018793√7度設(shè)防。生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等可能散發(fā)可燃?xì)怏w、可燃蒸氣的廠房應(yīng)采用不發(fā)火地面。有爆炸危險(xiǎn)的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室、硅烷室等）應(yīng)設(shè)置必要的泄壓設(shè)施，泄壓設(shè)施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。若多層生產(chǎn)廠房耐火等級(jí)為二級(jí)，其防火分區(qū)最大允許占地面積為4000m2。1 靜電危害如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)（如：光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等）設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時(shí)消除，隨著時(shí)間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí)，發(fā)生放電火花；或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。 觸電各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。 高溫灼傷高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。BOE CDM1HF CDM2NOE CDM1HNO3 CDM1H3PO4 CDM1H2SO4 CDM2HF100:1 CDM17Base Room（堿室）NH4OH1設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器，PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。一氧化碳（CO）3二氯硅烷（SiH2Cl2）1二氟甲烷（CH2F2）150ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）1氟甲烷（CH3F）2100ppmB2H6/N215% B2H6/N22100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）210%氨氣/氮?dú)?C4F613腐蝕性氣體室Cl2210%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無(wú))、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。在易燃易爆的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)需要可將部分道路劃分出限制或禁止車輛通行的路段，并設(shè)置標(biāo)志。3） 廠區(qū)工業(yè)管路應(yīng)按GB723187《工業(yè)管路的基本識(shí)別色和識(shí)別符號(hào)》規(guī)定，基本識(shí)別色應(yīng)涂刷在管路全長(zhǎng)上或在管路上涂刷寬150mm的色環(huán)或在管路上用基本識(shí)別色膠帶纏繞寬150mm的色環(huán)。1） 油罐區(qū)與鍋爐房和廠區(qū)道路的間距未達(dá)到GB50074《石油庫(kù)設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求。4） 廠區(qū)內(nèi)若道路無(wú)路標(biāo)無(wú)交通標(biāo)志，過(guò)路工業(yè)管路無(wú)限高標(biāo)志，可造成各種車輛隨意超速，任其闖越工業(yè)管路架設(shè)較低區(qū)域，易造成車輛交通事故或設(shè)備損害事故。 危險(xiǎn)危害辨識(shí)1） 廠區(qū)建（構(gòu)）筑物如間距小，道路狹窄，路面不平整、不暢通，若人流、物流不能有效分流，車輛無(wú)回車場(chǎng)地或車輛剎車、音響、燈光等出現(xiàn)問(wèn)題，易引發(fā)車輛傷害事故。廠房、動(dòng)力站房的安全出口及疏散通道、應(yīng)設(shè)置明顯的標(biāo)志。必要處尚應(yīng)設(shè)置聲光、色或聲光結(jié)合的緊急警告信號(hào)。廠區(qū)各種井、溝應(yīng)有蓋板。GB438794√完好。GB438794無(wú)交通標(biāo)志。GB438794油罐區(qū)、化學(xué)品庫(kù)道路未劃分限行路段。GB5018793√廠區(qū)道路21m、15m、12m、7m。廠區(qū)盡頭端式道路應(yīng)有足夠的消防車回轉(zhuǎn)場(chǎng)地。廠區(qū)應(yīng)進(jìn)行綠化，應(yīng)在道路及圍墻沿線植樹(shù)，空地上種植灌木，喬木和草皮，廠前區(qū)布置花壇，水池以及廠標(biāo)、雕型等建筑小品。SJ3000292GB5018793√條件良好。GB5018793GB500742002∽，距廠內(nèi)道路6m。GB5018793SJ3000292√污水處理站應(yīng)布置在廠區(qū)邊緣地帶，位于廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)。SJ3000292GB5018793√總降變?cè)O(shè)在廠區(qū)西南角。GB5018793√符合要求。SJ3000292√布局應(yīng)滿足生產(chǎn)加工過(guò)程流程。2總平面布置廠區(qū)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點(diǎn)按功能分區(qū)布置。GB5018793√滿足要求廠址應(yīng)與交通線路、車站、港口順捷合理聯(lián)接，廠所區(qū)盡量靠近公路干道?？偲矫娌贾冒踩珯z查表 序號(hào)檢查項(xiàng)目及內(nèi)容依據(jù)法規(guī)檢查結(jié)果備注1廠址選擇廠址選擇在全面考察，其自然和社會(huì)環(huán)境應(yīng)優(yōu)先選在工程地質(zhì)、水文、氣象條件符合安全衛(wèi)生要求，交通便利，協(xié)作方便，環(huán)境較為清潔的地區(qū)。4評(píng)價(jià)方法的選取和評(píng)價(jià)單元的劃分結(jié)合本項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容及已做勞動(dòng)安全預(yù)評(píng)價(jià)的實(shí)際，安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)采用以下兩種方法： 安全檢查表（SCL）依據(jù)國(guó)家、行業(yè)、地方相關(guān)法規(guī)、規(guī)定及技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，針對(duì)本工程存在的危險(xiǎn)、危害因素，編制安全檢查表，以查驗(yàn)項(xiàng)目在設(shè)計(jì)、施工、交付生產(chǎn)使用時(shí)，所采取的安全防護(hù)設(shè)施及技術(shù)措施的全面性和可靠性，并據(jù)此提出改進(jìn)措施及建議。7） 機(jī)械傷害空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動(dòng)設(shè)備如無(wú)防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。如出現(xiàn)短路、過(guò)載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險(xiǎn)。鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。4） 腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。3主要危險(xiǎn)危害因素分析 物質(zhì)的危險(xiǎn)危害芯片生產(chǎn)過(guò)程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫(kù)，化學(xué)品種類達(dá)80種。2） 安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)內(nèi)容① 檢查建設(shè)項(xiàng)目中安全設(shè)施是否已與主體工程同時(shí)設(shè)計(jì)、同時(shí)施工、同時(shí)交付生產(chǎn)和使用；評(píng)價(jià)建設(shè)項(xiàng)目及與之配套的安全設(shè)施是否符合國(guó)家有關(guān)安全生產(chǎn)的法規(guī)、規(guī)定和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。：；:；：XX項(xiàng)目安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)報(bào)告模版1編制說(shuō)明 中華人民共和國(guó)主席令第70號(hào)《中華人民共和國(guó)安全生產(chǎn)法》 勞動(dòng)部令第3號(hào)《建設(shè)項(xiàng)目（工程）勞動(dòng)安全衛(wèi)生監(jiān)察規(guī)定》 勞動(dòng)部勞安字[1992]1號(hào)《建設(shè)項(xiàng)目（工程）職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)施與技術(shù)措施驗(yàn)收辦法》 國(guó)家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]37號(hào)《安全評(píng)價(jià)通則》 國(guó)家安管局安監(jiān)管技裝字[2003]79號(hào)《安全驗(yàn)收評(píng)價(jià)導(dǎo)則》 天津市安管局津安監(jiān)管字[2002]84號(hào)《天津市安全評(píng)價(jià)管理辦法》 SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》 國(guó)家、地方、行業(yè)有關(guān)勞動(dòng)安全的法規(guī)、規(guī)定、規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)（詳見(jiàn)附件1） 建設(shè)單位提供的《中芯國(guó)際集成電路制造（天津）有限公司項(xiàng)目》安全驗(yàn)收的相關(guān)資料。② 從整體上評(píng)價(jià)建設(shè)項(xiàng)目的運(yùn)行狀態(tài)和安全管理是否正常、安全、可靠。按照GB1369092《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對(duì)常用危險(xiǎn)化學(xué)品，按其主要危險(xiǎn)特性進(jìn)行分類，該項(xiàng)目中使用的危險(xiǎn)化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險(xiǎn)危害為：1） 有毒有害氣體（如AsHPHSiHCO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。這些危險(xiǎn)有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險(xiǎn)品的貯存、使用的危險(xiǎn)性分析詳見(jiàn)化學(xué)品庫(kù)單元. 設(shè)備設(shè)施的固有危險(xiǎn)危害生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極限時(shí)遇點(diǎn)火源可引發(fā)爆炸危險(xiǎn)。4） 靜電危害如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時(shí)消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。8） 灼傷高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。 專家現(xiàn)場(chǎng)詢問(wèn)，觀察法（邀請(qǐng)公司專業(yè)技術(shù)人員參加、配合）。SJ3000292√符合要求。GB5018793√交通便利。一般可分為廠前區(qū)、主要生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、倉(cāng)庫(kù)區(qū)和動(dòng)力區(qū)。GB5018793√流程順暢。變配電站宜位于負(fù)荷中心，或靠近主要用戶。各10kW變電站靠近負(fù)荷中心。應(yīng)靠近污染源，遠(yuǎn)離水源構(gòu)筑物及空調(diào)空氣入口，四周留有必要的衛(wèi)生防護(hù)距離?；瘜W(xué)危險(xiǎn)品庫(kù)，應(yīng)布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)及邊緣地區(qū)，應(yīng)遠(yuǎn)離火源，并符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)防火規(guī)范的規(guī)定，防火間距不應(yīng)少于30m。廠區(qū)出入口數(shù)量不宜少于2個(gè)。SJ3000292√3廠區(qū)道路運(yùn)輸線路，滿足生產(chǎn)要求，物流順暢，線路短捷，人流、貨流組織合理。SJ3000292GB5018793√呈環(huán)形布置。有人行道。無(wú)標(biāo)志。路面平整、路基穩(wěn)固、邊坡整齊、排水良好。4常規(guī)安全防護(hù)設(shè)施架空平臺(tái)、走道、鋼梯應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行《固定式工業(yè)平臺(tái)、工業(yè)防護(hù)欄桿、鋼直梯、鋼斜梯》等標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。SJ3000292√有蓋板。SJ3000292∽安全標(biāo)志不齊全，不醒目。SJ3000292∽不齊全。2） 廠區(qū)內(nèi)丙烷站、化學(xué)品庫(kù)（室），油罐區(qū)、110KV變電站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位無(wú)安全標(biāo)志，無(wú)限行、禁行等交通標(biāo)志。 問(wèn)題與建議廠區(qū)總平面布置根據(jù)生產(chǎn)、工藝特點(diǎn)按功能分區(qū)布置，能夠滿足生產(chǎn)加工過(guò)程流程要求，建（構(gòu)）筑物安全距離基本符合有關(guān)規(guī)定要求，廠區(qū)道路與主要建筑物軸線平行或垂直，主要生產(chǎn)區(qū)、庫(kù)區(qū)、動(dòng)力區(qū)的道路呈環(huán)形布置，能滿足消防車暢通和回轉(zhuǎn)的要求，廠區(qū)各種井、溝有蓋板、平臺(tái)、走臺(tái)、鋼梯基本符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要求。應(yīng)按油罐區(qū)評(píng)價(jià)單元的建議完善其防火防爆措施并控制儲(chǔ)油量?；咀R(shí)別色色環(huán)應(yīng)涂刷在所有管路交叉、閥門(mén)和穿孔西側(cè)等的管路上以及其他需要識(shí)別的部位。廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建（構(gòu)）筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善，可為實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。ClF32HBr2HCl11SiF414氧化氣體室NF3910%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。H2O22SD118溶劑室ACT940 CDM1設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。 激光、紅外線輻射灼傷在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。 電氣火災(zāi)電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過(guò)電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場(chǎng)所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。 安全檢查表依據(jù)GBJ1687《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（2001版）、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ3000292《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ1987《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》（2001年版）、GB500732001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB508399《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB1280191《生產(chǎn)過(guò)程安全衛(wèi)生要求總則》、GB28932001《安全色》、GB289496《安全標(biāo)志》、GB1560395《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國(guó)務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表。（因有自動(dòng)水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)最大允許占地面積增加一倍）GBJ1687√占地面積4000m2。GBJ1687∽硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃?xì)怏w室無(wú)泄壓。GBJ1687√環(huán)氧地面。芯片光刻等對(duì)潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，并在四周留有綠化場(chǎng)地。GB500732001√分別設(shè)置人員、物料凈化室。GB500732001√二級(jí)。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門(mén)應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并加閉門(mén)器。SJ3000292√設(shè)備設(shè)施之間應(yīng)留有相應(yīng)的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。易燃易爆廠房的人員疏散，通道應(yīng)保持暢通，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急照明，疏散指示標(biāo)志及排煙措施。SJ3000292√設(shè)置于人流最少的東側(cè)，采取隔離防護(hù)措施。SJ3000292√均設(shè)置。SJ3000292√屏蔽光源保護(hù)措施。SJ3000292√電氣設(shè)備金屬外殼應(yīng)與PE線可靠連接。SJ3000292√隔離操作、密閉生產(chǎn)。SJ3000292√雙套管輸送，防腐內(nèi)涂層。SJ3000292√生產(chǎn)過(guò)程中工作服易污染、沾染，易經(jīng)皮膚吸收的劇毒物質(zhì)，潔凈度要求嚴(yán)格的廠房和車間應(yīng)設(shè)置洗衣房。SJ3000292√均設(shè)置獨(dú)立排風(fēng)。4危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、輸送與管理危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)按其類別、性質(zhì)分類、分堆、分間儲(chǔ)存、輸送。輸送危險(xiǎn)化學(xué)品的設(shè)備、附屬儀表、器材等，應(yīng)根據(jù)危險(xiǎn)介質(zhì)，采用必要的防泄漏、防腐蝕措施。其基礎(chǔ)及周圍地面應(yīng)采取防腐蝕處理。泵為全封閉型輸送有毒介質(zhì)的設(shè)備、管道放空時(shí)，應(yīng)加以收集或處理，不得任意排放。有爆炸危險(xiǎn)的房間（如硅烷室、易燃?xì)怏w室、生產(chǎn)車間等），應(yīng)設(shè)置泄壓措施，安全出口不應(yīng)少于2個(gè)。危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例第18條√設(shè)置應(yīng)急通訊、自動(dòng)、手