xps原理及使用分析-wenkub
2023-05-21 16:44:17 本頁(yè)面
【正文】 根據(jù)具有某種能量的光電子的強(qiáng)度可知某種元素在表面的含量。 （ 5）結(jié)合離子濺射可以進(jìn)行深度分析。 用能量分析器分析光電子的動(dòng)能 ,得到的就是 X射線(xiàn)光電子能譜。 用離子束濺射剝蝕表面 ,用 X射線(xiàn)光電子譜進(jìn)行分析 ,兩者交替進(jìn)行 , 可以得到元素及其化學(xué)狀態(tài)的深度分布。 四、譜圖分析 ? 定性分析 ? 定量分析 ? 深度分析 ? 化學(xué)狀態(tài)分析 60 0 50 0 40 0 30 0 20 0 10 0 0B i n di ng E nerg y [e V ]Counts [a.u.]Al 2pAl 2sC 1sN 1sTi 2pO 1s T i (C N )x/ A l f i l m是高純 Al基片上沉積的 Ti(CN)x薄膜的 XPS譜圖，激發(fā)源為 Mg K? 譜圖解析 標(biāo)志介紹 元素鑒別 消除電荷效應(yīng) ? 光電子被激發(fā)出以后，非導(dǎo)電樣品上會(huì)逐漸積累正電荷，導(dǎo)致測(cè)量的光電子動(dòng)能減小，表觀結(jié)合能正移，從而影響分析結(jié)果。 不同實(shí)驗(yàn)室測(cè)量的結(jié)合能值可能相差達(dá) 1 eV。 能量定標(biāo) （ 1）利用已知特征譜
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