多晶硅鑄錠爐操作與生產(chǎn)流程(ppt31頁)(已修改)
2025-02-23 15:22 本頁面
【正文】 多晶鑄錠爐簡(jiǎn)介與硅錠生產(chǎn)流程 培訓(xùn)內(nèi)容 ?主要用途和特性 ?設(shè)備的組成和工作原理 ?結(jié)晶爐操作界面 ?硅錠生產(chǎn)流程 ?注意事項(xiàng) 主要用途和特性 1 用途： JJL240型多晶鑄錠爐將不規(guī)則的硅原料，裝爐后重熔 ,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步定向凝固，生產(chǎn)出高質(zhì)量，標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的多晶硅硅碇。 2 特性 ： 在 58小時(shí)之內(nèi)生產(chǎn)出 275kg的多晶硅硅錠。 在整個(gè)結(jié)晶過程中，只有一個(gè)部件運(yùn)動(dòng) ， 簡(jiǎn)化設(shè)備的操作性和復(fù)雜性。 設(shè)備的組成和工作原理 設(shè)備的組成 : 鋼結(jié)構(gòu)部件、爐體部件、加熱隔熱系統(tǒng)、 真空與供氣系統(tǒng)、 冷卻系統(tǒng)、電源供應(yīng)及控制系統(tǒng)。 1 爐體部件 爐體的組成主要由頂蓋、上爐體和下爐體 組成，它們由雙層不銹鋼焊接形成。層與層 之間留有一定間隙，便于冷卻水通過。 2 加熱隔熱系統(tǒng) 隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層不銹鋼架組成。 四周襯有碳纖維隔熱材料，主要起保溫、隔熱作用。 六個(gè)銅電極從爐體上方穿入 ，并提供交流電給石墨電極 ， 電極通過石墨螺栓與加熱片（呈四方形）連接。四角用轉(zhuǎn)接片連接，上部被隔熱材料覆蓋，周圍是隔熱籠。 在下爐體內(nèi)，用三支石墨柱支撐著一個(gè)用雙層隔熱材料組成的平臺(tái)，在隔熱籠下降時(shí)形成一個(gè)密閉腔。在此平臺(tái)上，懸空支撐著一散熱交換臺(tái)，用于放置坩堝。 3 真空與供氣系統(tǒng) 真空系統(tǒng)是由機(jī)械泵、羅茨泵、安全閥等其他附件組成，當(dāng)爐內(nèi)壓力抽到 。當(dāng)真空抽到 40毫帕以下時(shí)， 羅茨泵自動(dòng)開始細(xì)抽。爐內(nèi)工作壓力需維持 600毫帕?xí)r， 是靠機(jī)械泵抽氣作用。 氬氣進(jìn)入的量是由質(zhì)流控制器控制，抽氣量是由連接 真空泵的比例調(diào)節(jié)閥調(diào)整?？諝鈮毫刂崎y用于關(guān)閉氬氣進(jìn) 氣系統(tǒng)及爐體與真空系統(tǒng)分開。 4 冷卻系統(tǒng) 爐體上部進(jìn)氣冷卻循環(huán)水分八路， F1， F2， F3三組對(duì)應(yīng)六個(gè)電極， F4進(jìn)氣法蘭， F5上爐體， F6下爐體上
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