多晶硅鑄錠爐操作與生產(chǎn)流程(ppt31頁)-全文預(yù)覽
【正文】 加熱器斷開報警、丟失主電源報警、主電源缺項報 警、隔熱籠提升故障報警、 TC1熱電偶故障報警、 高溫計不在原點上報警、 UPS錯誤報警、冷卻水流 量報警等。當(dāng)硅料完全熔化后，根據(jù)工藝要求，緩慢提升隔熱籠位置，暴露出熱交換臺，使一部分熱量散發(fā)到爐壁，通過冷卻水把爐壁熱量帶走，交換臺溫度的下降會傳到坩堝底部，使硅溶液形成垂直的溫度梯度，此溫度梯度會使硅溶液下方凝固結(jié)晶至上方。 工作原理 1 多晶硅鑄錠爐的工作順序分：加熱， 熔化 ，結(jié)晶，退火，冷卻，急冷等六個步驟。 5）檢測單元 檢測單元包括溫度、水流量、隔熱籠位置等檢測。 1)工控機 整個控制系統(tǒng)以工控機操作為上位機，上位機完成控制 工藝的設(shè)置，控制過程中的監(jiān)控，各種反饋信息（如：溫度、 水流量、隔熱區(qū)位置等）出現(xiàn)異常報警顯示，統(tǒng)計和記錄整個硅結(jié)晶過程的各種參量的變化情況并生成圖表。 爐內(nèi)的溫度通過循環(huán)水散出，升溫后的水通過外冷卻塔進行冷熱交換，并用水泵送回內(nèi)循環(huán)。爐內(nèi)工作壓力需維持 600毫帕?xí)r， 是靠機械泵抽氣作用。 在下爐體內(nèi)，用三支石墨柱支撐著一個用雙層隔熱材料組成的平臺，在隔熱籠下降時形成一個密閉腔。 2 加熱隔熱系統(tǒng) 隔熱籠在上爐體內(nèi)，由上下兩層不銹鋼架組成。 在整個結(jié)晶過程中，只有一個部件運動 ， 簡化設(shè)備的操作性和復(fù)雜性。 2 特性 ： 在 58小時之內(nèi)生產(chǎn)出 275kg的多晶硅硅錠。層與層 之間留有一定間隙，便于冷卻水通過。四角用轉(zhuǎn)接片連接，上部被隔熱材料覆蓋，周圍是隔熱籠。當(dāng)真空抽到 40毫帕以下時， 羅茨泵自動開始細抽。 4 冷卻系統(tǒng) 爐體上部進氣冷卻循環(huán)水分八路， F1， F2， F3三組對應(yīng)六個電極， F4進氣法蘭， F5上爐體， F6下爐體上部， F7下爐體下部， F8真空泵。 控制柜系統(tǒng)
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1