微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn)-介紹xxxx(已修改)
2025-01-09 04:40 本頁(yè)面
【正文】 微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn)介紹 《 微電子學(xué)專業(yè)實(shí)驗(yàn) 》 是按照我院新辦專業(yè) “微電子學(xué)專業(yè) ”的培養(yǎng)方案及教學(xué)計(jì)劃要求，設(shè)置的一門(mén)重要專業(yè)實(shí)驗(yàn)課程。該課程是微電子學(xué)專業(yè)本科學(xué)生必修的一門(mén)專業(yè)實(shí)驗(yàn)課，是理論性和實(shí)踐性都非常強(qiáng)的一門(mén)課程。微電子學(xué)實(shí)驗(yàn)涉及了集成電路設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體物理、半導(dǎo)體器件、工藝及材料等多個(gè)專業(yè)方面。 實(shí)驗(yàn)要求和目的：? 本課程要求學(xué)生先修完：大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)，半導(dǎo)體物理，半導(dǎo)體器件，微電子學(xué)概論，模擬電子技術(shù)，數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)，微電子制造技術(shù)和計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)等理論課程后，再進(jìn)行本課程的學(xué)習(xí)。? 要求學(xué)生掌握半導(dǎo)體材料特性測(cè)試技術(shù)、微電子技術(shù)工藝參數(shù)測(cè)試分析技術(shù)和微電子器件參數(shù)測(cè)試與應(yīng)用技術(shù)，能夠熟練使用集成電路EDA工具軟件。 ? 實(shí)驗(yàn)學(xué)時(shí)： 64? 必修課? 每個(gè)學(xué)生必須獨(dú)立完成 16個(gè)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目? 考核方法 : 課內(nèi)實(shí)驗(yàn)完成情況 40% 實(shí)驗(yàn)報(bào)告 40% 課內(nèi)考試 20% 實(shí)驗(yàn)教學(xué)內(nèi)容本實(shí)驗(yàn)課程涵蓋三部分實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：1. 半導(dǎo)體材料特性與微電子技術(shù)工藝參數(shù)測(cè)試分析2. 半導(dǎo)體器件性能參數(shù)測(cè)試3. 集成電路性能參數(shù)測(cè)試與應(yīng)用及現(xiàn)代集成電路 EDA技術(shù)半導(dǎo)體材料特性與微電子技術(shù)工藝參數(shù)測(cè)分析：? 四探針?lè)y(cè)量半導(dǎo)體電阻率? 半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)? 光電導(dǎo)衰退法測(cè)量單晶硅非平衡少數(shù)載流子壽命? 用橢圓偏振儀測(cè)量薄膜厚度? PN結(jié)的顯示與結(jié)深的測(cè)量? MOS結(jié)構(gòu)高頻 CV特性測(cè)試（演示）實(shí)驗(yàn)內(nèi)容（ 1）實(shí)驗(yàn)內(nèi)容（ 2） 半導(dǎo)體器件性能參數(shù)測(cè)試實(shí)驗(yàn)：? 用圖示儀測(cè)量雙極性晶體管的交、直流參數(shù)? 場(chǎng)效應(yīng)晶體管參數(shù)測(cè)量? 晶體管特征頻率的測(cè)量? 晶閘管阻斷特性與觸發(fā)特性的測(cè)量? 晶閘管通態(tài)峰值壓降的測(cè)量集成電路性能參數(shù)測(cè)試與應(yīng)用及現(xiàn)代集成電路 EDA技術(shù)實(shí)驗(yàn)：? 雙極性運(yùn)算放大器參數(shù)的測(cè)試? 版圖電路分析? 幾種數(shù)字門(mén)電路的計(jì)算機(jī)模擬與仿真? 運(yùn)算放大器應(yīng)用電路模擬與仿真? 數(shù)字電路版圖設(shè)計(jì)? 模擬集成電路設(shè)計(jì)與仿真? 穩(wěn)壓電源及應(yīng)用電路的計(jì)算機(jī)模擬與仿真 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容（ 3）實(shí)驗(yàn)安排? 1~4 周：實(shí)驗(yàn) 9（ 125）； 1 15（ 523）? 5~8周：實(shí)驗(yàn) 12（ 125）； 1 2 13（ 523）? 9~11周：實(shí)驗(yàn) 17 （ 125）； 1 21（ 523）? 12 周：實(shí)驗(yàn) 20 （ 523） 課內(nèi)考試說(shuō)明：每四周完成所安排的所有實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)報(bào)告交給相應(yīng)的指導(dǎo)老師： 1班：李立珺、趙萍 2班：邢立冬 3班：徐麗琴、武利翻實(shí)驗(yàn)時(shí)間為：周三 5~8節(jié)，周五 5~8節(jié)。實(shí)驗(yàn)報(bào)告撰寫(xiě)要求 ? 實(shí)驗(yàn)報(bào)告必須按統(tǒng)一格式書(shū)寫(xiě)，報(bào)告內(nèi)容必須包含預(yù)習(xí)報(bào)告和正式報(bào)告兩部分：? 預(yù)習(xí)報(bào)告 必須在該次實(shí)驗(yàn)前完成，無(wú)預(yù)習(xí)報(bào)告不得參加當(dāng)次實(shí)驗(yàn)，包括實(shí)驗(yàn)名稱、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?、?shí)驗(yàn)原理、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容與要求、實(shí)驗(yàn)步驟與方案。? 正式報(bào)告 包括實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析、思考題、實(shí)驗(yàn)總結(jié)與心得，正式報(bào)告在實(shí)驗(yàn)完成后寫(xiě)，緊接預(yù)習(xí)報(bào)告部分。? 預(yù)習(xí)報(bào)告和正式報(bào)告合在一起作為該次實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)報(bào)告上交，實(shí)驗(yàn)報(bào)告封面按統(tǒng)一格式（見(jiàn)附件），實(shí)驗(yàn)報(bào)告內(nèi)容要求手寫(xiě)。實(shí)驗(yàn)一 四探針?lè)y(cè)電阻率 ? 電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針?lè)ㄊ且环N廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。? 實(shí)驗(yàn)?zāi)康模赫莆账奶结槣y(cè)試電阻率的原理和方法；針對(duì)不同幾何尺寸的樣品測(cè)試電阻率時(shí)，應(yīng)掌握其修正方法；? 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容： 1．對(duì)給定的 2~3個(gè)厚度不同的樣品分別測(cè)量其電阻率、方塊電阻值。 2．對(duì)每種樣品，各測(cè)
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