【正文】 附件10“國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)的共性技術(shù)研究與應(yīng)用”重點(diǎn)專項(xiàng)2016年度申報(bào)指南國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)（NQI）由計(jì)量、標(biāo)準(zhǔn)、合格評(píng)定（檢驗(yàn)檢測(cè)和認(rèn)證認(rèn)可）共同構(gòu)成，是聯(lián)合國(guó)工業(yè)發(fā)展組織和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織在總結(jié)質(zhì)量領(lǐng)域100多年實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)基礎(chǔ)上提出的。NQI支撐并服務(wù)于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域，具有公共產(chǎn)品屬性，技術(shù)性、專業(yè)性、系統(tǒng)性和國(guó)際性特征鮮明，不僅被國(guó)際公認(rèn)是提升質(zhì)量競(jìng)爭(zhēng)能力的基石，更是保障國(guó)民經(jīng)濟(jì)有序運(yùn)行的技術(shù)規(guī)則、促進(jìn)科技創(chuàng)新的重要技術(shù)平臺(tái)、提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的重要技術(shù)手段。新常態(tài)下，黨中央、國(guó)務(wù)院提出把推動(dòng)發(fā)展的立足點(diǎn)轉(zhuǎn)到提高質(zhì)量和效益上來(lái)，NQI的戰(zhàn)略地位和基礎(chǔ)作用更加凸顯。加強(qiáng)國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)的共性技術(shù)研究與應(yīng)用，對(duì)于推動(dòng)我國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展保持中高速增長(zhǎng)、邁向中高端水平，具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。為推進(jìn)我國(guó)NQI的科技創(chuàng)新，驅(qū)動(dòng)我國(guó)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的質(zhì)量提升，依據(jù)《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)質(zhì)量發(fā)展綱要（2011—2020年）的通知》（國(guó)發(fā)〔2012〕9號(hào)），《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)國(guó)家計(jì)量發(fā)展規(guī)劃（2013—2020年）的通知》（國(guó)發(fā)〔2013〕10號(hào)），《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)深化標(biāo)準(zhǔn)化工作改革方案的通知》（國(guó)發(fā)〔2015〕13號(hào)）等文件精神，按照《國(guó)務(wù)院關(guān)于深化中央財(cái)政科技計(jì)劃（專項(xiàng)、基金等）管理改革方案的通知》（國(guó)發(fā)〔2014〕64號(hào)）要求，科技部會(huì)同國(guó)家質(zhì)檢監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局等13個(gè)部門，制定了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃《國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)的共性技術(shù)研究與應(yīng)用》重點(diǎn)專項(xiàng)實(shí)施方案。按照全鏈條設(shè)計(jì)、一體化實(shí)施的思路，聚焦產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)、保障和改善民生、提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力等國(guó)家重大需求，圍繞計(jì)量、標(biāo)準(zhǔn)、合格評(píng)定（檢驗(yàn)檢測(cè)和認(rèn)證認(rèn)可）和典型示范應(yīng)用5個(gè)方向設(shè)置11個(gè)重點(diǎn)任務(wù)：新一代量子計(jì)量基準(zhǔn)、新領(lǐng)域計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)、高準(zhǔn)確度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和量值傳遞扁平化、基礎(chǔ)通用與公益標(biāo)準(zhǔn)、產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)、中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)國(guó)際化，基礎(chǔ)公益檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)、重要產(chǎn)業(yè)檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)、基礎(chǔ)認(rèn)證認(rèn)可技術(shù)、新興領(lǐng)域認(rèn)證認(rèn)可技術(shù)和典型示范。本專項(xiàng)的總體目標(biāo)是：到2020年，實(shí)現(xiàn)我國(guó)NQI總體水平達(dá)到并跑，在部分領(lǐng)域達(dá)到領(lǐng)跑水平：國(guó)際互認(rèn)測(cè)量能力進(jìn)入世界前3，為國(guó)際單位制重新定義做出實(shí)質(zhì)性貢獻(xiàn)，研制計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)量裝置100～120 臺(tái)/套，研制國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)500～600 項(xiàng)，計(jì)量科技整體水平躋身世界前列；研制國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)200 項(xiàng)以上，%%，實(shí)現(xiàn)超過(guò)100 項(xiàng)中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)走出去，研制基礎(chǔ)通用、社會(huì)公益和產(chǎn)業(yè)共性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)1000 余項(xiàng)，適應(yīng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和科技創(chuàng)新需求的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系基本完善，重點(diǎn)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)水平領(lǐng)跑國(guó)際；填補(bǔ)社會(huì)公益和重要產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域檢驗(yàn)檢測(cè)新方法和核心技術(shù)300 項(xiàng)，新裝置51 臺(tái)/套，診斷產(chǎn)品70 種，實(shí)現(xiàn)重點(diǎn)領(lǐng)域檢驗(yàn)檢測(cè)核心技術(shù)突破；建立6 套國(guó)際或區(qū)域領(lǐng)先的認(rèn)證認(rèn)可技術(shù)方案，重點(diǎn)領(lǐng)域認(rèn)證認(rèn)可技術(shù)創(chuàng)新能力達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平；形成5 套以上全鏈條的“計(jì)量—標(biāo)準(zhǔn)—檢驗(yàn)檢測(cè)—認(rèn)證認(rèn)可”整體技術(shù)解決方案。本專項(xiàng)執(zhí)行期為2016年至2020年。各任務(wù)落實(shí)以項(xiàng)目為主，2016年第一批項(xiàng)目支持任務(wù)不超過(guò)總?cè)蝿?wù)的三分之一，共49個(gè)任務(wù)方向。重點(diǎn)研究基本物理常數(shù)精密測(cè)定、新計(jì)量和導(dǎo)出量以及戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)、國(guó)防等領(lǐng)域關(guān)鍵計(jì)量技術(shù)，重點(diǎn)研究基礎(chǔ)性、公益性和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)急需的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、檢驗(yàn)檢測(cè)和認(rèn)證認(rèn)可技術(shù)，以及開(kāi)展NQI技術(shù)在典型領(lǐng)域的集成示范。每個(gè)任務(wù)方向支持1～2個(gè)項(xiàng)目，所有項(xiàng)目均應(yīng)整體申報(bào)，須覆蓋全部考核指標(biāo)。項(xiàng)目執(zhí)行期為3～5年，如無(wú)特殊說(shuō)明，每個(gè)項(xiàng)目下設(shè)的任務(wù)（課題）數(shù)不超過(guò)6個(gè)，項(xiàng)目所含單位數(shù)不超過(guò)20個(gè)。本專項(xiàng)指南如下：一、計(jì)量技術(shù)1 新一代量子計(jì)量基準(zhǔn) 應(yīng)對(duì)單位制變革的基本物理常數(shù)精密測(cè)定研究?jī)?nèi)容：應(yīng)對(duì)國(guó)際單位制重大變革，研制基準(zhǔn)能量天平、基準(zhǔn)熱力學(xué)溫度計(jì)精密實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，準(zhǔn)確測(cè)定普朗克常數(shù)和玻爾茲曼常數(shù)；準(zhǔn)確測(cè)量濃縮硅28摩爾質(zhì)量，為阿伏伽德羅常數(shù)的測(cè)定提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)；研究基于普朗克常數(shù)、玻爾茲曼常數(shù)的質(zhì)量千克單位、開(kāi)爾文單位復(fù)現(xiàn)和傳遞技術(shù)及裝置，研究微波電場(chǎng)強(qiáng)度溯源至普朗克常數(shù)的里德堡原子量子干涉精密測(cè)量技術(shù)；研究基于新一代計(jì)算電容測(cè)定精細(xì)結(jié)構(gòu)常數(shù)，結(jié)合普朗克常數(shù)確定基本常數(shù)基本電荷，復(fù)現(xiàn)以安培為基本單位的電磁計(jì)量單位。考核指標(biāo)：【約束性指標(biāo)】：研制測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)8套：①基準(zhǔn)熱力學(xué)溫度計(jì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)2套，測(cè)定玻爾茲曼常數(shù)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度在310—6范圍內(nèi)；②能量天平法測(cè)量普朗克常數(shù)試驗(yàn)裝置1套，2017年測(cè)量不確定度達(dá)到510—7（k=1），2020年測(cè)量不確定度爭(zhēng)取進(jìn)入10—8（k=1）量級(jí)；③非空氣條件下精密天平1套，1 kg砝碼質(zhì)量測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度優(yōu)于13μg；④里德堡原子量子干涉法微波電場(chǎng)精密測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)1套， %（k=1）；⑤高溫基準(zhǔn)熱力學(xué)溫度計(jì)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)2套，600 K至1000 K測(cè)量開(kāi)爾文的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度優(yōu)于510—5，1000 K至3000 K絕對(duì)輻射溫度計(jì)測(cè)量開(kāi)爾文的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度達(dá)到（2～10）10—5；⑥新一代計(jì)算電容實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)1套，精細(xì)結(jié)構(gòu)常數(shù)測(cè)量的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度優(yōu)于510—8，交流阻抗參數(shù)量傳水平達(dá)到10—9量級(jí)；⑦濃縮硅28摩爾質(zhì)量測(cè)量的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度優(yōu)于10—8。發(fā)表被SCI檢索的論文不少于30篇，申請(qǐng)發(fā)明專利不少于5項(xiàng)?！绢A(yù)期性指標(biāo)】：研制實(shí)用化在線校準(zhǔn)的高溫?zé)崃W(xué)基準(zhǔn)溫度計(jì)，突破高溫氣冷堆溫度計(jì)在線校準(zhǔn)技術(shù)；研制小型化、低擾動(dòng)微波電場(chǎng)精密測(cè)量量子傳感器。實(shí)施年限：2016～2020年。 時(shí)間頻率基準(zhǔn)及其傳遞技術(shù)研究研究?jī)?nèi)容：研制高準(zhǔn)確度鍶原子光晶格鐘，研究突破標(biāo)準(zhǔn)量子極限的新方法；研究長(zhǎng)距離時(shí)間頻率光纖傳遞技術(shù)；研究原子噴泉基準(zhǔn)鐘及其應(yīng)用，研究噴泉鐘緊駕馭氫鐘的新技術(shù)；研制原子干涉絕對(duì)重力基準(zhǔn)裝置，通過(guò)國(guó)際關(guān)鍵比對(duì)驗(yàn)證重力測(cè)量值的準(zhǔn)確性；研究綜合守時(shí)技術(shù)，以國(guó)家原子時(shí)標(biāo)基準(zhǔn)為基礎(chǔ)，產(chǎn)生統(tǒng)一的中國(guó)協(xié)調(diào)時(shí)UTC（CN），研究UTC/國(guó)家秒長(zhǎng)基準(zhǔn)原子鐘駕馭時(shí)標(biāo)的技術(shù)；開(kāi)展高穩(wěn)定光纖光學(xué)頻率梳及其應(yīng)用研究，實(shí)現(xiàn)國(guó)家波長(zhǎng)基準(zhǔn)的量值溯源；研究高精度GNSS導(dǎo)航接收機(jī)室內(nèi)校準(zhǔn)技術(shù)?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：研制測(cè)量裝置6套：①鍶原子光晶格鐘實(shí)驗(yàn)裝置1套，評(píng)定不確定度進(jìn)入10—18量級(jí)；②原子噴泉基準(zhǔn)鐘1臺(tái)，不確定度優(yōu)于810—16，天穩(wěn)定度優(yōu)于210—15，噴泉鐘緊駕馭氫鐘，輸出頻率7天穩(wěn)定度優(yōu)于810—16；③冷原子干涉重力測(cè)量裝置1套，系統(tǒng)不確定度優(yōu)于10μGal；④UTC（CN）產(chǎn)生系統(tǒng)1套，UTC（CN）與UTC的時(shí)間偏差優(yōu)于177。10ns，UTC（CN）時(shí)間穩(wěn)定度優(yōu)于 1ns/5d；⑤光梳波長(zhǎng)基準(zhǔn)量值溯源裝置1套，不確定度優(yōu)于510—13；⑥高精度GNSS導(dǎo)航接收機(jī)室內(nèi)校準(zhǔn)裝置1套，位置不確定度1 cm，授時(shí)不確定度20ns。在SCI檢索期刊上發(fā)表論文不少于20篇；申請(qǐng)專利不少于6項(xiàng)?！绢A(yù)期性指標(biāo)】：掌握光鐘的高精度比對(duì)技術(shù)；實(shí)現(xiàn)噴泉鐘緊駕馭氫鐘的技術(shù)；提高絕對(duì)重力測(cè)量的水平；形成利用UTC/基準(zhǔn)原子鐘駕馭產(chǎn)生穩(wěn)定可靠的中國(guó)原子時(shí)的算法；通過(guò)光梳實(shí)現(xiàn)國(guó)家波長(zhǎng)基準(zhǔn)的量值溯源；實(shí)現(xiàn)光學(xué)頻率梳與超穩(wěn)激光結(jié)合，產(chǎn)生超穩(wěn)微波，為噴泉鐘服務(wù)。實(shí)施年限：2016～2020年。 光輻射計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)研究研究?jī)?nèi)容：研究超導(dǎo)轉(zhuǎn)換邊沿傳感器的單光子輻射基準(zhǔn)；研制高可靠性、小型化的高準(zhǔn)確度、高穩(wěn)定度激光波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)；研究極端光輻射度與材料計(jì)量關(guān)鍵技術(shù)和研制相關(guān)測(cè)量裝置，建立太赫茲輻射多參數(shù)以及極端量程光度和超黑材料光譜特性計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)；針對(duì)地球輻射平衡等輻射定標(biāo)需求，研究紫外至中紅外波段基于探測(cè)器和輻射源的光譜輻射度計(jì)量基準(zhǔn)和扁平化量傳體系；研究光腔衰蕩法氣體成份量基準(zhǔn)，建立基于光頻梳的光譜測(cè)量裝置，實(shí)現(xiàn)CO2/CO的成份量測(cè)量?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：建立標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)量裝置11套：⑴光子數(shù)可分辨微弱光輻射計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置，%；⑵633nm光波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)裝置，波長(zhǎng)的標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤210—11；⑶太赫茲功率測(cè)量裝置，%；⑷太赫茲頻率測(cè)量裝置標(biāo)準(zhǔn)不確定度510—11；⑸極端量程光亮度、光照度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置，照度測(cè)量上限為5104lx、下限為110—11lx，不確定度2%～4%；⑹500～2000nm超黑材料漫反射比測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置，%；⑺基于高溫固定點(diǎn)的光譜輻射度標(biāo)準(zhǔn)，%；⑻在中紅外波段3μm～5μm建立光源的光譜輻射度測(cè)量裝置，標(biāo)準(zhǔn)不確定度3%～6%；⑼基于可調(diào)諧激光器的光譜輻射度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)與量傳體系，%；⑽熒光色度測(cè)量裝置，%；⑾基于PDH鎖頻的穩(wěn)腔長(zhǎng)光腔衰蕩光譜自動(dòng)測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置，℃；1米長(zhǎng)光腔長(zhǎng)度變化不超過(guò)20nm，與稱重法配制標(biāo)氣相比，測(cè)量結(jié)果相差不超過(guò)5%。申請(qǐng)發(fā)明專利3項(xiàng)，論文30篇，申請(qǐng)制定計(jì)量檢定規(guī)程和計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范3項(xiàng)?！绢A(yù)期性指標(biāo)】：建立新一代高精度、扁平化的光譜輻射度計(jì)量定標(biāo)平臺(tái)，滿足衛(wèi)星與地面光譜輻射度尖端定標(biāo)需求。實(shí)施年限：2016～2020年。 電學(xué)量子與幾何量計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)研制研究?jī)?nèi)容：研制量子電壓相關(guān)基標(biāo)準(zhǔn)的核心大規(guī)模集成約瑟夫森結(jié)陣器件；研制峰值10 V、頻率50 Hz～400 Hz的工頻交流量子電壓標(biāo)準(zhǔn)，研制便攜免液氦型量子電壓標(biāo)準(zhǔn)，研制量子功率基準(zhǔn)；研究納米電路高頻量子阻抗特性及測(cè)試系統(tǒng)；研制X射線晶格比較儀標(biāo)準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn)硅單晶晶格常數(shù)的定值及溯源，實(shí)現(xiàn)量值國(guó)際等效；研究基于光頻梳的新一代幾何量計(jì)量基準(zhǔn)，研制光頻梳絕對(duì)測(cè)距裝置?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：研制量子基標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)試系統(tǒng)所需芯片2種：①研制出集成規(guī)模大于1萬(wàn)個(gè)結(jié)的約瑟夫森結(jié)陣器件；②研制交流量子電壓系統(tǒng)所需芯片。研制基標(biāo)準(zhǔn)或測(cè)量裝置6套：①交流量子電壓標(biāo)準(zhǔn)裝置1套，峰值10 V、頻率50 Hz～400 Hz，不確定度5 μV/V（k=1）；②便攜式免液氦維護(hù)型量子電壓標(biāo)準(zhǔn)1套；③400 Hz有功量子功率基準(zhǔn)裝置1套，電壓100V，電流 5A，電壓、電流及有功功率測(cè)量不確定度分別為：%（k=1）、%（k=1）、%（k=1）；④量子阻抗零拍檢波測(cè)試系統(tǒng)1套，頻帶范圍GHz，可測(cè)量—110 dBm微小信號(hào)；⑤X射線晶格比較儀1套，測(cè)量不確定度：10—7（k=1）；⑥基于光頻梳的新一代幾何量計(jì)量核心裝置1套，測(cè)量不確定度10—7。發(fā)表論文不少于20篇，申請(qǐng)專利/軟件著作權(quán)不少于3項(xiàng)?！绢A(yù)期性指標(biāo)】：研制各種量子電壓基標(biāo)準(zhǔn)所需的核心器件，系統(tǒng)化建設(shè)電學(xué)量子基標(biāo)準(zhǔn)體系，研究交流量子電壓量值傳遞方法，研制便攜式量子電壓標(biāo)準(zhǔn)并推廣其在工業(yè)、國(guó)防、軍工、科研等領(lǐng)域的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)對(duì)400Hz有功功率的精確測(cè)量。建立X射線晶格比較儀國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置，申請(qǐng)制定國(guó)家校準(zhǔn)規(guī)范和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，開(kāi)展國(guó)際比對(duì)。研制光頻梳絕對(duì)測(cè)距大長(zhǎng)度測(cè)量實(shí)驗(yàn)裝置，提升大長(zhǎng)度計(jì)量能力。實(shí)施年限：2016～2020年。 氣相分子化學(xué)反應(yīng)精確操控與精密測(cè)量系統(tǒng)研究?jī)?nèi)容：研發(fā)量子態(tài)分辨的冷原子分子束源裝置，研究冷分子離子的精確操控技術(shù)，精確測(cè)量極低溫下的基元離子—分子反應(yīng)速率；研發(fā)高精度、高分辨的光譜和質(zhì)譜技術(shù)，精確測(cè)量關(guān)鍵化合物和反應(yīng)物的分子鍵能；研制高精準(zhǔn)定性定量能力的光譜質(zhì)譜系統(tǒng)，實(shí)施靶向的氣相離子/分子合成，精密測(cè)量功能分子結(jié)構(gòu)及活性；研制存儲(chǔ)超大離子的離子阱、離子信號(hào)無(wú)損探測(cè)系統(tǒng)，研究離子阱內(nèi)生物大分子精確操控、激光解離和結(jié)構(gòu)精確鑒定技術(shù)?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：極低溫量子態(tài)選擇的基元離子—分子化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)裝置1套，離子分子束源溫度低于6K?；瘜W(xué)鍵能精密測(cè)量裝置1套，實(shí)驗(yàn)獲得5個(gè)以上重要分子的精確鍵能的測(cè)量數(shù)據(jù)，鍵能的精度超越化學(xué)精度（1 kcal/mol）。光譜質(zhì)譜分析系統(tǒng)1套，質(zhì)荷比測(cè)量范圍10～2000amu?；谧贤饧す狻|(zhì)譜技術(shù)的生物大分子結(jié)構(gòu)精確測(cè)量系統(tǒng)1套。離子阱檢測(cè)最大質(zhì)荷比30000Th；質(zhì)量分辨率大于等于30000；實(shí)現(xiàn)激光器對(duì)質(zhì)量大于等于29KDa大分子的解離，序列覆蓋率優(yōu)于60%。發(fā)表SCI論文30篇以上，申請(qǐng)發(fā)明專利20項(xiàng)以上?！绢A(yù)期性指標(biāo)】：形成氣相分子化學(xué)反應(yīng)精確操控與精密測(cè)量研究基地。實(shí)施年限：2016～2020年。2 新領(lǐng)域計(jì)量標(biāo)準(zhǔn) 先進(jìn)制造中關(guān)鍵參量的計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和溯源技術(shù)研究研究?jī)?nèi)容：研究以光學(xué)頻率梳等前沿技術(shù)的面形測(cè)量方法和高精度面形輪廓標(biāo)準(zhǔn)裝置；研制混合式角度標(biāo)準(zhǔn)裝置，研究寬帶實(shí)時(shí)角度發(fā)生及同步比較技術(shù)、混合動(dòng)態(tài)測(cè)角與溯源技術(shù)；研究晶圓標(biāo)準(zhǔn)片計(jì)量技術(shù)，研制校準(zhǔn)裝置實(shí)現(xiàn)集成電路線上測(cè)量?jī)x器直接校準(zhǔn)；研制針尖增強(qiáng)拉曼光譜儀，研究納米材料微區(qū)拉曼準(zhǔn)確測(cè)量與溯源技術(shù)；實(shí)現(xiàn)相關(guān)參量的國(guó)內(nèi)量值統(tǒng)一及溯源，參與國(guó)際比對(duì)，滿足量值國(guó)際等效性?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：研制裝置4套：①非球面面形輪廓標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量裝置1套，面形輪廓測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：（球面或非球面）；②混合式角度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置1套，0176。/s～100176。/s范圍內(nèi)角度示值誤差：″，100176。/s～200176。/s范圍內(nèi)角度示值誤差：″，200176。/s～300176。/s范圍內(nèi)角度示值誤差：″；③晶圓標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)裝置1臺(tái)，測(cè)量不確定度小于4 nm（k = 1）；④針尖增強(qiáng)拉曼光譜測(cè)量裝置1臺(tái)，拉曼空間分辨力80nm，拉曼光譜分辨力2 cm—1。發(fā)表文章10篇，申請(qǐng)發(fā)明專利3項(xiàng)。實(shí)施年限：2016～2020年。 精密制造中的補(bǔ)償和測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究研究?jī)?nèi)容：研究干涉測(cè)量中的氣體折射率高精度測(cè)量與誤差補(bǔ)償技術(shù)，研制氣體折射率高精度測(cè)量?jī)x器；研究散斑數(shù)字比較全息測(cè)量技術(shù)，研制相關(guān)儀器裝置，實(shí)現(xiàn)精密制造中表面形貌和形變的高精度無(wú)損動(dòng)態(tài)、高效測(cè)量；研究微納三維動(dòng)態(tài)位移（測(cè)頭）校準(zhǔn)裝置，形成主軸及測(cè)頭的動(dòng)靜態(tài)參數(shù)綜合計(jì)量系統(tǒng)；研究自支撐薄膜標(biāo)準(zhǔn)溯源技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微膜非接觸式高精度測(cè)量，建立國(guó)家微膜計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量裝置，滿足微電子半導(dǎo)體、新能源及精密機(jī)械等先進(jìn)制造的溯源和科研需求?？己酥笜?biāo)：【約束性指標(biāo)】：：①氣體折射率測(cè)量?jī)x1套，折射率測(cè)量相對(duì)不確定度210—8（k=2）；②可用于雙頻激光干涉儀的新型波長(zhǎng)跟蹤器2套，長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性（24小時(shí)）優(yōu)于10—7；③散斑數(shù)字比較全息測(cè)量裝置和算法軟件1套，工作波長(zhǎng)532nm，視野范圍1010厘米；④建立高速主軸動(dòng)靜態(tài)參數(shù)計(jì)