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氣體純化技術(shù)ppt課件(已修改)

2025-05-13 03:51 本頁(yè)面
 

【正文】 氣體純化技術(shù) 技術(shù)基于: Purification ?基于“ FAB”模式純化所有的大宗氣體( NO Ar、 He、和 CAD) ?可以將純度低于 1ppb的氣體純度提高到 ?產(chǎn)氣流量范圍從 10M3/hr到 3000M3/hr。 ?對(duì)大量的特氣也能純化。 Pure Gas Technologies ?吹掃 /柜式純化器 ?點(diǎn)使用式純化器 ?區(qū)域純化器 ?大型純化器 Bulk Gas Purification Technologies ?材料及操作原則 ?雜質(zhì)去除 ?應(yīng)用 Materials Getters: 均質(zhì)金屬(無(wú)支撐):球狀 鋯、釩、鈦 Supported Metals: 支撐性材料、反應(yīng)金屬:球狀 銅、鎳、鉑、保護(hù)性物質(zhì) Zeolites: 均質(zhì)金屬:球狀、分子篩 Operation ?純化進(jìn)程 催化氧化 物理吸收 化學(xué)吸收 催化氧化 ?催化氧化進(jìn)程:將甲烷、非甲烷碳?xì)?
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