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工科物理實(shí)驗(yàn)鍍膜ppt課件(已修改)

2025-05-11 01:06 本頁面
 

【正文】 直流濺射法制備金屬薄膜實(shí)驗(yàn)?zāi)康膎 直接接觸和認(rèn)識薄膜材料n 學(xué)會直流濺射法鍍膜的原理和方法n 學(xué)會制備干涉法測量膜厚的薄膜樣品的方法實(shí)驗(yàn)儀器n 玻璃襯底n 氬氣n 超聲波清洗器n 機(jī)械泵n SBC12小型直流濺射儀 (配有金靶 ,可以在較低的真空度下進(jìn)行直流濺射 )實(shí)驗(yàn)原理直流濺射制備金屬薄膜    在鍍膜室中沖入氬氣 ,利用直流電壓產(chǎn)生輝光放電 ,由此形成的氬氣離子和由它產(chǎn)生的快速中性離子 (濺射粒子 )以高速轟擊金靶 ,靶材原子 (濺射原子 )被從金靶表面濺射出來 ,冷凝在襯底上 ,從而形成了薄膜 .這種制膜方法稱為濺射法 .
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