光柵和激光位移測量技術(已修改)
2025-05-08 13:55 本頁面
【正文】 光柵和激光位移測量技術 一、 光柵式傳感器 等節(jié)距的透光和不透光的刻線均勻相間排列構成的光學元件 物理光柵： 計量光柵： 利用光的衍射現(xiàn)象分析光譜、測定波長 利用光的莫爾條紋現(xiàn)象測量精密位移 長光柵 直線位移；圓光柵 角位移 構成：主光柵 標尺光柵，定光柵；指示光柵 動光柵 長度 測量范圍；刻線密度 測量精度 ( 2 50、 100、 125線 /mm ) (1) 莫爾條紋（ Moire） 條紋寬度： ????WWB)2/si n (2W柵距， a線寬， b縫寬 W=a+b ， a=b=W/2 特例：當 ?=0, w1=w2 → B=? → 光閘莫爾條紋 當 ?=0, w1≠w2 → 縱向莫爾條紋 均勻刻線 主光柵 指示光柵 夾角 明暗相間條紋 莫爾條紋 移動 莫爾條紋特性： 方向性：垂直于角平分線，當夾角很小時 → 與光柵移動方向垂直
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