傳感器與檢測技術課件第二章-4光柵(已修改)
2025-05-08 13:42 本頁面
【正文】 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 二、光柵式位移傳感器 ? 光柵式位移傳感器有測量 線位移 的 長光柵 和測量 角位移 的圓光柵 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 長光柵 圓光柵 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 什么是光柵 ？ 在鍍膜玻璃上均勻刻制許多有明暗相間 、 等間距分布的細小條紋（ 又稱為刻線 ） ， 這就是 光柵 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 a為柵線的寬度 （ 不透光 ） ， b為柵線間寬 （ 透光 ） ， a+b=W稱為光柵的 柵距 （ 也稱 光柵常數(shù) ） 。 通常 a=b=W/2， 也可刻成 a∶ b = ∶ 。 目前常用的光柵每毫米刻成 250、 100、 250條線條 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 運動 固定 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵位移傳感器主要由標尺光柵 、 指示光柵 、 光路系統(tǒng)和光電元件等組成 。 3241 尺光柵 2. 指示光柵 電元件 4. 光源第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵數(shù)字傳感器是干什么的 ？ 主要用于 線位移 和 角位移 的測量 。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 當指示光柵和標尺光柵的線紋相交一個微小的夾角時由于光的干涉效應，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫隙透過，形成亮帶（如圖 aa線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（ bb），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋。 條紋方向與刻線方向近似垂直。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 若光柵柵距為 W，兩個相鄰 莫爾條紋的間距為 BH（即 莫爾條紋中兩條暗紋或兩條 亮紋之間的距離）則有 2( si n / 2)HWWB????莫爾條紋 這里 θ 是弧度，如果夾角 為 ，則 θ =*π , 則 BH=573W,相當于把柵 距放大了 573倍。 第二章 位移檢測傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 運動方向 ： 當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向
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