傳感器與檢測(cè)技術(shù)課件第二章-4光柵(已修改)
2025-05-08 13:42 本頁(yè)面
【正文】 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 二、光柵式位移傳感器 ? 光柵式位移傳感器有測(cè)量 線位移 的 長(zhǎng)光柵 和測(cè)量 角位移 的圓光柵 。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 長(zhǎng)光柵 圓光柵 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 什么是光柵 ？ 在鍍膜玻璃上均勻刻制許多有明暗相間 、 等間距分布的細(xì)小條紋（ 又稱為刻線 ） ， 這就是 光柵 。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 a為柵線的寬度 （ 不透光 ） ， b為柵線間寬 （ 透光 ） ， a+b=W稱為光柵的 柵距 （ 也稱 光柵常數(shù) ） 。 通常 a=b=W/2， 也可刻成 a∶ b = ∶ 。 目前常用的光柵每毫米刻成 250、 100、 250條線條 。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 運(yùn)動(dòng) 固定 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵位移傳感器主要由標(biāo)尺光柵 、 指示光柵 、 光路系統(tǒng)和光電元件等組成 。 3241 尺光柵 2. 指示光柵 電元件 4. 光源第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 光柵數(shù)字傳感器是干什么的 ？ 主要用于 線位移 和 角位移 的測(cè)量 。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 當(dāng)指示光柵和標(biāo)尺光柵的線紋相交一個(gè)微小的夾角時(shí)由于光的干涉效應(yīng)，兩塊光柵的刻線相交處，光會(huì)從縫隙透過(guò)，形成亮帶（如圖 aa線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（ bb），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為莫爾條紋。 條紋方向與刻線方向近似垂直。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 若光柵柵距為 W，兩個(gè)相鄰 莫爾條紋的間距為 BH（即 莫爾條紋中兩條暗紋或兩條 亮紋之間的距離）則有 2( si n / 2)HWWB????莫爾條紋 這里 θ 是弧度，如果夾角 為 ，則 θ =*π , 則 BH=573W,相當(dāng)于把柵 距放大了 573倍。 第二章 位移檢測(cè)傳感器 第三節(jié) 大位移傳感器 運(yùn)動(dòng)方向 ： 當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線垂直方向作相對(duì)移動(dòng)時(shí)，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動(dòng)（兩者的運(yùn)動(dòng)方向相互垂直）。光柵運(yùn)動(dòng)方向改變，莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向
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