ecvd安全ppt課件(已修改)
2025-01-30 07:33 本頁面
【正文】 PECVD的安全 2 目錄 ? SiH4（硅烷） ? NH3（氨氣） ? CF4（四氟化碳） ? N2 （氮氣） ? O2 （氧氣） ? 安全注意事項 3 硅烷 SiH4 ? 危險性概述 ? 爆炸危險：易燃，暴露在空氣中能自燃。 ? 健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴(yán)重者面色蒼白，脈搏微弱， 陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī) 。 4 消防措施 : ? 危險特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等會發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)。 ? 滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。 ? 滅火劑：二氧化碳。 5 泄漏應(yīng)急處理 : ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并隔離至氣體散去，切斷氣源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防防護(hù)服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排 (室內(nèi) )或強(qiáng)力通風(fēng) (室外 )。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術(shù)處理，以除去可能剩下的氣體。 6 危險性概述 ? 爆炸危險：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會燃燒、爆炸。 ? 健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死。 氨氣 NH3 7 ? 急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結(jié)膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部 X線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、胸部 X線癥象符合肺炎或間質(zhì)性肺炎，嚴(yán)重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度 NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷 。 8 ? 環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴(yán)重危害，應(yīng)特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。 ? 皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應(yīng)用2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。
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