《ecvd安全》ppt課件-全文預覽
【正文】 11 泄漏應急處理 : ? 迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風向，并立即隔離 150米，嚴格限制出入，切斷火源，建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風，加速擴散，高濃度泄漏區(qū)，噴含鹽酸的噴霧水中和、稀釋、溶解，構筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。 ? 眼睛接觸： 立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底清洗，至少 15分鐘，就醫(yī)。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、胸部 X線癥象符合肺炎或間質性肺炎，嚴重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度 NH3可引起反射性呼吸停止。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術處理，以除去可能剩下的氣體。 ? 滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。PECVD的安全 2 目錄 ? SiH4（硅烷） ? NH3（氨氣） ? CF4（四氟化碳） ? N2 （氮氣） ? O2 （氧氣） ? 安全注意事項 3 硅烷 SiH4 ? 危險性概述 ? 爆炸危險：易燃，暴露在空氣中能自燃。 4 消防措施 : ? 危險特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等會發(fā)生劇烈的化學反應。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防防護服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排 (室內 )或強力通風 (室外 )。 氨氣 NH3 7 ? 急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部 X線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。 ? 皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應用2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。 ? 危險特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發(fā)生劇烈的化學反應，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。漏氣容器要妥善處理，修復，檢驗后再用。 ? 危害： 能引起快速窒
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