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微波放電zzppt課件(2)(已修改)

2025-01-26 16:57 本頁(yè)面
 

【正文】 USTC ABCD Lab 交流放電 按照頻率劃分可分為 高頻放電 ( 兆赫茲以上的氣體放電形式 ) 低頻放電 ( 兆赫茲以下 )。 低頻放電 的外觀與直流放電一樣,放電電流發(fā)生周期性改變。 高頻放電 由天線(電極)從外部獲得功率,通過(guò)電磁場(chǎng)對(duì)電子的加速作用來(lái)產(chǎn)生和維持等離子體。 高頻放電 USTC ABCD Lab ? 在交流放電中,頻率對(duì)擊穿電壓的影響很大,一般情況下高頻比低頻的擊穿電壓低。 ? 高頻放電中正離子在陰極引起的次級(jí)電子發(fā)射過(guò)程對(duì)氣體擊穿和維持放電沒(méi)有重要作用,這是其與直流放電的明顯區(qū)別。 USTC ABCD Lab ? 高頻放電 雖與直流放電有些類似之處,但更重要的是由于放電機(jī)制不同產(chǎn)生了許多新的現(xiàn)象和特征,這些特征對(duì)等離子體化學(xué)反應(yīng)來(lái)說(shuō)是十分有利的,目前在
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