sputter基本原理培訓(已修改)
2025-01-22 12:28 本頁面
【正文】 演講人：王金萍 1 目錄 第一章 真空 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 2 目錄 第二章 等離子體 第三章 濺射原理 第四章 反應(yīng)性濺射 第五章 濺射鍍膜設(shè)備 第六章 濺射靶及靶材配置 3 第一章 真空 第一章 真空 4 11 生活中的真空 大氣壓、真空、真空度？ 第一章 真空 5 ?帕斯卡 Pa： 1Pa=1N/㎡ ?標準大氣壓 atm： 1atm=101325Pa ?托 Torr： 1Torr= ?毫巴 mbar： 1mbar=100Pa 壓強單位 第一章 真空 6 — 大氣： 103mbar — 低真空： 103~103mbar — 中真空： 103~106mbar — 高真空： 106~109mbar — 超高真空： ＜ 109mbar 第一章 真空 7 22 氣體分子平均自由程 不同真空度下的平均自由程： 真空度 平均自由程 分子 數(shù) （ mbar） （ cm） （個 /cm3） 1103 105 1019 1102 100 1014 1106 104 1010 11010 108 106 第一章 真空 8 第一章 真空 9 第一章 真空 10 ? 旋葉泵 旋葉泵的特點： ? 經(jīng)濟耐用 ? 工作范圍： 大氣壓 ~103mbar ? 極限真空： 103mbar ? 缺點：振動、反油 第一章 真空 11 ? 羅茨泵 機械泵的特點： ? 啟動快，抽速大 ? 工作范圍：低、中真空 ? 極限真空：取決于前級泵 ? 羅茨泵壓縮比較小，一般需要串聯(lián)使用； 第一章 真空 12 ? 渦輪分子泵 渦輪分子泵的特
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