特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求(已修改)
2025-01-20 10:00 本頁面
【正文】 開元設(shè)備 本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供 開元設(shè)備 新項(xiàng)目使用，未經(jīng) 開元設(shè)備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 1 特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)技術(shù)要求 ★ 工程概況： 工程名稱： 開元設(shè)備 科技有限公司特殊 氣體供應(yīng)和氣體偵測監(jiān)控管理系統(tǒng) 建設(shè)地點(diǎn) 開元設(shè)備 科技有限公司廠址 ★ 工程范圍： 特氣供應(yīng)系統(tǒng)及氣體監(jiān)控系統(tǒng) 主 要工作內(nèi)容如下 ： ? 特氣氣柜供應(yīng)系統(tǒng)： CH4,%PH3/H2,2%TMB/H2 ? BSGS 供應(yīng)系統(tǒng) : SIH4, NF3, ? 大宗氣體分配系統(tǒng) : CDA ， AR ， O2 , N2， H2（管路至供氣源接口） ? 動(dòng)力系統(tǒng)（外圍獨(dú)立氣體房的排風(fēng)系統(tǒng)） ? UPS 電源系統(tǒng) ? 氣體偵測器系統(tǒng) ? 氣體監(jiān)控系統(tǒng) ? PLC 控制和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng) ? 電腦圖形控制系統(tǒng) ? 各個(gè)氣體房和氣體室的氣柜排風(fēng)系統(tǒng)和事故排風(fēng)系統(tǒng) ? 廢氣處理裝置的安裝和調(diào)試，管路銜接。 ? 其他未盡事項(xiàng)詳見圖紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。 注：此工程范圍需包含以上但不僅限于以上內(nèi)容，需投標(biāo)方自行考慮所有細(xì)節(jié)。 工程界面協(xié)調(diào)配合事項(xiàng) ： ? 環(huán)氧： 環(huán)氧施工完成并經(jīng)監(jiān)理及旭雙相關(guān)人員驗(yàn)收后，所有地 面，天花墻壁作徹底清潔后，本包可入內(nèi)施工。 ? 地面保護(hù)：氣體房內(nèi)地面保護(hù)在本包范圍內(nèi)。 ? 電力：電力包提供電源（包括電纜，橋架及接線）到本包各電盤（ 380V Emergency 800A+ 380V Normal 800A）的進(jìn)線端。照明由電力包統(tǒng)一規(guī)劃提供。 ? 接地：各氣體房由電力系統(tǒng)提供接點(diǎn)。 ? 消防：提供各氣體房之噴淋系統(tǒng)，并預(yù)留 DN50閥門、門禁系統(tǒng)、廣播和氣體報(bào)警系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)。 ? MAU：各氣體房空調(diào)。 ? 其他未盡事項(xiàng)詳見圖紙、技術(shù)規(guī)范及標(biāo)單。 第一章 特氣供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求 特氣供應(yīng)流程圖 開元設(shè)備 本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供 開元設(shè)備 新項(xiàng)目使用，未經(jīng) 開元設(shè)備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 2 特氣供氣簡易流程：本項(xiàng)目使用氣柜（以下簡稱 GC）的氣體分別為%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4，詳情見設(shè)備清單表。 本項(xiàng)目使用大宗特氣系統(tǒng)（以下簡稱 BSGS）供氣的氣體 SIH4, NF3 第二章 ． 特氣 設(shè)備技術(shù)要求 ： 氣瓶柜 （ GC） /BSGS，基本功能要求： 1) 所 有系統(tǒng)設(shè)計(jì)都必須遵從 SEMI S2（ 半導(dǎo)體工業(yè)的全球標(biāo)準(zhǔn) ） 標(biāo)準(zhǔn)。 2) 更 換鋼瓶或輕微故障時(shí)，不影響氣瓶柜和氣瓶架向 VMB 或機(jī)臺(tái)供 氣。 3) 無 論任何一邊 鋼瓶先上線，都能夠自動(dòng)切換。 4) 更 換鋼瓶時(shí)氣瓶柜 /氣瓶架全自動(dòng) 進(jìn)行 吹掃、 保壓 測試、供應(yīng)服務(wù) 。 5) 具有緊急切斷功能（ EMO）和三色燈蜂鳴報(bào)警功能。 開元設(shè)備 本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供 開元設(shè)備 新項(xiàng)目使用，未經(jīng) 開元設(shè)備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 3 6) 彩色觸摸屏控制 。 7) 氣瓶柜和氣瓶架設(shè)計(jì)要方便拆卸鋼瓶和固定鋼瓶。 8) 氣瓶柜和氣瓶架的控制系統(tǒng)都采用西門子或者歐姆龍控制系統(tǒng)，且具有以下擴(kuò)展功能 ? 具有以太網(wǎng)接口用于上位機(jī)通訊以便于實(shí)時(shí)監(jiān)控氣柜工作狀態(tài)和實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。（如：各氣瓶的重量、壓力、管路壓力、開斷狀態(tài)，各自控閥的狀態(tài)，和上位機(jī)的通信狀態(tài)，報(bào)警、運(yùn)行、故障等）。 ? 遠(yuǎn)程關(guān)閉，氣柜之間互相切換，用于當(dāng)外部故障或氣體泄漏等情 況發(fā)生時(shí)，設(shè)備自動(dòng)運(yùn)行。 ? 詳細(xì)具體功能必須經(jīng)過甲方業(yè)主同意認(rèn)可。 氣 瓶 柜 ： 氣瓶柜構(gòu)造： 1) 氣 瓶柜面板 的 厚度大于等于 的鋼板并涂有抗腐蝕環(huán)氧涂層，并且所有材料都必須是非易燃的。 （顏色為白色） 2) 氣 瓶柜全表面都不能有震動(dòng)， 不可有鋒利的邊緣。 3) 氣 瓶柜的底板厚度大于等于 ， 必須鋪有 防滑墊片 ，且固定的鋼瓶的鏈條必須為防腐蝕的不銹鋼鏈條。 4) 氣 瓶柜的底面設(shè)計(jì)要便于放置或移走鋼瓶而不必調(diào)整鋼瓶高度。 如鋼瓶尺寸有變動(dòng)，設(shè)備廠商無條件的更改鋼瓶 CGA 接頭高度。 5) 氣 瓶柜要可以容納兩個(gè)供氣鋼瓶。 6) 氣 瓶柜的門，管路線路通道，窗及其他孔洞必須安裝密封圈 。 7) 氣瓶柜進(jìn)氣口要安裝灰塵過濾器。 8) 所 有氣瓶柜標(biāo)明其供應(yīng)氣體的種類及其濃度，氣瓶柜內(nèi)部所有的管路及閥件應(yīng)該標(biāo)明其作用，例如供氣，吹掃或排氣 。 氣柜門構(gòu)造： 1) 氣 柜門 能 自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。 2) 氣 柜門 能 打開 90 度角以上，以方便正常操作。 3) 所 有的氣柜門及窗子使用同樣的鑰匙。 4) 氣 柜門 能 平穩(wěn)地打開及關(guān)閉 ，并具有防關(guān)閉功能，閉門器的聯(lián)接桿方便拆卸。 操作窗口： 1) 操 作窗口 能 自動(dòng)關(guān)閉，自動(dòng)卡鎖及用鑰匙鎖定。 2) 操 作窗口的玻璃必須是厚度大于等于 ，并有金屬絲加固的安全玻璃。 3) 窗 口背面要安裝隔離玻璃嵌板。 氣瓶柜的排氣裝置 ： 1) 氣瓶 柜排氣管的直徑必須大于等于 6” SS 的管路，并覆蓋由 FM 論證的 ECTFE 材料。 2) 排 氣狀態(tài)的持續(xù)監(jiān)控信號(hào)要顯示在控制屏上并與控制器聯(lián)動(dòng)，以提供抽風(fēng)量不足時(shí)的停機(jī)或開元設(shè)備 本文隨同其任何有關(guān)附件均屬保密，僅供 開元設(shè)備 新項(xiàng)目使用，未經(jīng) 開元設(shè)備 科技有限公司書面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 4 報(bào)警選項(xiàng)。 3) 排氣管上加裝氣體偵測器
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