半導(dǎo)體器件失效分析基礎(chǔ)(已修改)
2025-01-10 12:34 本頁面
【正文】 半導(dǎo)體器件失效分析基礎(chǔ) 內(nèi)部資料，注意保密 課程說明 ? 課程時(shí)長 ： 4小時(shí) ? 授課方式 ：講授 ? 必備條件 ：數(shù)投、便攜機(jī)、白板、擴(kuò)音設(shè)備 ? 課程簡介 ： 通過對 《 半導(dǎo)體器件失效分析基礎(chǔ) 》 課程的講解，使學(xué)員體會到產(chǎn)品進(jìn)行元器件失效分析的重要性和迫切性，本課程主要講授了器件常見失效模式、常見失效機(jī)理、失效分析流程、失效分析技術(shù)、失效分析委托流程等。通過典型失效分析照片講解，加深學(xué)員對該課程的理解和提高學(xué)員對失效分析的興趣。 主要內(nèi)容 失效分析產(chǎn)生和發(fā)展 失效分析目的及意義 失效分析基本內(nèi)容 主要失效模式和機(jī)理 失效分析程序 開展失效分析具備的條件和注意事項(xiàng) 失效分析儀器設(shè)備一覽表 失效分析儀器設(shè)備介紹 典型失效分析照片介紹 內(nèi)部資料，注意保密 內(nèi)部資料，注意保密 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展 隨著微電子學(xué)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體器件已廣泛地應(yīng)用于宇航、軍事領(lǐng)域、工業(yè)、通訊和民用產(chǎn)品中。因此對半導(dǎo)體器件的可靠性進(jìn)行研究具有非常重要的意義。 內(nèi)部資料，注意保密 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） 半導(dǎo)體器件可靠性研究的內(nèi)容主要包括以下兩方面： （ 1）評價(jià)可靠性水平 可靠性數(shù)學(xué) 可靠性試驗(yàn) 可靠性評估等 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） （ 2）如何提高可靠性 失效分析 失效物理 工藝監(jiān)控 可靠性設(shè)計(jì)等 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） ? 器件可靠性研究首先是從評價(jià)可靠性開始的，但研究重點(diǎn)現(xiàn)在已逐漸轉(zhuǎn)向如何提高可靠性方面。 ? 可靠性研究更重要的是為了提高可靠性，所以失效分析和失效物理成為可靠性研究的重點(diǎn)。 ? 失效分析和失效物理的研究，它不單純是學(xué)術(shù)研究，更重要的是為了滿足可靠性工程迅速發(fā)展的需要。 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） 傳統(tǒng)的可靠性評價(jià)工作遇到的困難 ： ? （ 1）在試驗(yàn)時(shí)間、試驗(yàn)樣品、人力、物力方面遇到了難以克服的困難。 ? （ 2）半導(dǎo)體器件和集成電路的品種及工藝更新速度很快，使得過去取得的可靠性數(shù)據(jù)常常變得不適用。 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） ? （ 3）當(dāng)代電子設(shè)備和系統(tǒng)日益復(fù)雜化，對器件提出了高可靠的要求。為了解決以上問題，迫切需要一種既省時(shí)間，又省費(fèi)用的可靠性研究方法。 ? 失效分析和失效物理研究 就是為了達(dá)到這一目的而迅速發(fā)展起來的 。 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） 時(shí) 間 50年代 60年代 70年代以后 主要研 究對象 阻容元件 電子管 晶體管 集成電路 集成電路、大規(guī)模集成電路、超大規(guī)模集成電路 發(fā)展階段 統(tǒng)計(jì)失效階段 （開始階段） 控制失效階段 （在規(guī)模發(fā)展階段） 可靠性保證法 （鞏固提高階段） 研究方法 失效率法 失效分析法 可靠性保證法 理論基礎(chǔ) 可靠性數(shù)學(xué) 失效物理 可靠性物理 研究重點(diǎn) 失效規(guī)律 失效機(jī)理 工藝控制、可靠性設(shè)計(jì)、可靠性標(biāo)準(zhǔn) 研究目的 計(jì)算失效率 提高可靠性 保證可靠性 失效分析的發(fā)展歷史 失效分析的產(chǎn)生和發(fā)展（續(xù)） 失效分析在 60年代的突破 半導(dǎo)體器件可靠性在 60年代發(fā)生全局性變化，是由于出現(xiàn)了重大的技術(shù)突破（平面工藝和集成電路的發(fā)明）。可靠性突破的三個因素是： （ 1）導(dǎo)彈、衛(wèi)星、飛船、飛機(jī)對可靠性提出很高要求。 （ 2）研究出了能承受較高熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力的器件。 （ 3）研究出了高純的材料和先進(jìn)的工藝、制造設(shè)備等。 失效分析的目的和意義 ? 失效分析是通過對現(xiàn)場使用失效樣品、可靠性試驗(yàn)失效樣品、篩選失效樣品的解剖分析，得出失效模式（形式）和失效機(jī)理并準(zhǔn)確判斷失效原因，為提高產(chǎn)品的可靠性提供科學(xué)依據(jù)。
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