真空與真空鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)介(已修改)
2025-05-27 00:44 本頁(yè)面
【正文】 真空與真空鍍膜技術(shù)簡(jiǎn)介 一 . 真空技術(shù)入門 真空：低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài)。 1643年，意大利物理學(xué)家托里拆利 () 首創(chuàng)著名的大氣壓實(shí)驗(yàn)，獲得真空。 自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇 宙空間。 人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。 真空量度單位 ? 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 =760mmHg=760(Torr) ? 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 = Pa ? 1Torr= 真空區(qū)域的劃分 目前尚無(wú)統(tǒng)一規(guī)定，常見(jiàn)的劃分為： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 極高真空 )10760(1010 35 T or rpa ??)1010(1010 8361 T or rpa ???? ??)1010(1010 128106 T or rpa ???? ??)10(10 1210 T or rpa ?? ??)1010(1010 313 T or rpa ?? ??真空技術(shù)的應(yīng)用 電子技術(shù)、航空航天技術(shù)、加速器、表面物理、微電子、材料科學(xué)、醫(yī)學(xué)、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個(gè)領(lǐng)域。 二 . 真空獲得 — 真空泵 ? 1654年，德國(guó)物理學(xué)家葛利克發(fā)明了抽氣泵，做了著名的馬德堡半球試驗(yàn)。 原理： 當(dāng)泵工作后，形成壓差， p1 p2， 實(shí)現(xiàn)了抽氣。 真空泵的分類 氣體傳輸泵 : 是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外 以達(dá)到抽氣目的的真空泵，例如旋片 機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵。 氣體捕集泵 : 是一種使氣體分子短期或永久吸附、凝 結(jié)在泵內(nèi)表面的真空泵，例如分子篩 吸附泵、鈦升華泵
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