真空與真空鍍膜技術簡介(已修改)
2025-05-27 00:44 本頁面
【正文】 真空與真空鍍膜技術簡介 一 . 真空技術入門 真空：低于一個大氣壓的氣體狀態(tài)。 1643年，意大利物理學家托里拆利 () 首創(chuàng)著名的大氣壓實驗，獲得真空。 自然真空：氣壓隨海拔高度增加而減小，存在于宇 宙空間。 人為真空：用真空泵抽掉容器中的氣體。 真空量度單位 ? 1標準大氣壓 =760mmHg=760(Torr) ? 1標準大氣壓 = Pa ? 1Torr= 真空區(qū)域的劃分 目前尚無統(tǒng)一規(guī)定，常見的劃分為： 粗真空 低真空 高真空 超高真空 極高真空 )10760(1010 35 T or rpa ??)1010(1010 8361 T or rpa ???? ??)1010(1010 128106 T or rpa ???? ??)10(10 1210 T or rpa ?? ??)1010(1010 313 T or rpa ?? ??真空技術的應用 電子技術、航空航天技術、加速器、表面物理、微電子、材料科學、醫(yī)學、化工、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、日常生活等各個領域。 二 . 真空獲得 — 真空泵 ? 1654年，德國物理學家葛利克發(fā)明了抽氣泵，做了著名的馬德堡半球試驗。 原理： 當泵工作后，形成壓差， p1 p2， 實現(xiàn)了抽氣。 真空泵的分類 氣體傳輸泵 : 是一種能將氣體不斷地吸入并排出泵外 以達到抽氣目的的真空泵，例如旋片 機械泵、油擴散泵、渦輪分子泵。 氣體捕集泵 : 是一種使氣體分子短期或永久吸附、凝 結在泵內(nèi)表面的真空泵，例如分子篩 吸附泵、鈦升華泵
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