活性炭濾網(wǎng)技術資料(已修改)
2025-05-26 22:42 本頁面
【正文】 德崧股份有限公司 1 CARBON FILTER 德崧股份有限公司 2 內(nèi)容 ? AMC的來源與分類 ? AMC之影響 ? 濾材種類與形式 ? 濾網(wǎng)種類 ? 考慮事項 ? 檢測與監(jiān)測 德崧股份有限公司 3 AMC : Airborne Molecular Contamination 德崧股份有限公司 4 無塵室的 AMC：來源 ? 製程化學品、反應副產(chǎn)物 ? 溶劑 酸 鹼 ? 清淨室物質的 outgasing ? 人員：氨、硫化物 ? 災害：溢出的化學物質 ? 外部空氣： ? 循環(huán)空氣： 德崧股份有限公司 5 SEMI F2195 分類 ? Acid ? Base ? Condensable ? Dopant 德崧股份有限公司 6 ACID ? 一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者 ? HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、 H3PO4（ Phosphoric Acid）磷酸 … 德崧股份有限公司 7 無塵室濃度 ACID Contaminant Concentration Range (ppt) HF 40k 250k HNO3 20k 250k H3PO4 10k 400k H2SO4 10k 300k 德崧股份有限公司 8 BASE ? 一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者 ? Ammonia、 NMP、 Methylamine 德崧股份有限公司 9 無塵室濃度 BASE Contaminant Concentration Range (ppt) Ammonia 10k 200k NMP 20k 300k 德崧股份有限公司 10 CONDENSABLE ? 一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面 ? Hydrocarbons VOC、 DOP 德崧股份有限公司 11 無塵室濃度 CONDENSABLE Contaminant
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