微機械慣性傳感器檢測平臺的設計與應用(doc10)(已修改)
2025-05-23 19:44 本頁面
【正文】 中國最龐大的下載資料庫 (整理 . 版權歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請訪問 3722,： 一種用于微機械慣性傳感器研制與開發(fā)的檢測平臺，介紹電容式慣性傳感器微電容信號的檢測原理、該系統(tǒng)的總體結構、各個組成部分的工作原理及自動檢測方法。 關鍵詞： 微機電系統(tǒng)（ MEMS） 微機械陀螺（ MMG） 檢測 隨著科學技術的發(fā)展，許多新的科學領域相繼涌現(xiàn)，其中微米 /納米技術就是諸多領域中引人注目的一項前沿技術。 20 世紀 90 年代以來，繼微米 /納米技術成功應用于大規(guī)模集成電路制作后，以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎的各種微傳感器和微機電系統(tǒng)（ MEMS）脫穎而出，平均年增長 率達到 30%。微機械陀螺是其中的一個重要組成部分。目前，世界各個先進工業(yè)國家都十分重視對 MMG 的研究及開發(fā)，投入了大量人力物力，低精度的產(chǎn)品已經(jīng)問世，正在向高精度發(fā)展。 中國最龐大的下載資料庫 (整理 . 版權歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請訪問 3722, 加入 必要時 可將此文 件 解密 1 微機械振動陀螺儀的簡要工作原理 陀螺系統(tǒng)組成見圖 1，它由敏感元件、驅(qū)動電路、檢測電路和力反饋電路等組成。在梳狀靜電驅(qū)動器的差動電路上分 別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓，由于交變的靜電驅(qū)動力矩的作用，質(zhì)量片在平行于襯底的平面內(nèi)產(chǎn)生繞驅(qū)動軸 Z軸的簡諧角振動。當在振動平面內(nèi)沿垂直于檢測軸的方向（ X方向）有空間角速度 Ω輸入時，在哥氏力的作用下，檢測質(zhì)量片便繞檢測軸（ Y軸）上下振動。這種振動幅度非常小，可以由位于質(zhì)量片下方、淀積在襯底上的電容極板檢測，并通過電荷放大器、相敏檢波電路和解調(diào)電路進行處理，得到與空間角速度成正比的電壓信號。 中國最龐大的下載資料庫 (整理 . 版權歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請訪問 3722, 加入 必要時 可將此文 件 解密 在科研及加工過程中，一個重要的內(nèi)容就是檢測陀螺儀的特性，如工作狀態(tài)諧振頻率、帶寬增益、 Q 值等，于是就提出了微機械慣性傳感器檢測平臺的研制任務。根據(jù)陀螺儀的工作原理，整個儀器包括兩大部分：驅(qū)動信號發(fā)生部分和表頭的輸出信號檢測部分。驅(qū)動信號發(fā)生部分對待測的慣性傳感器給予適當?shù)尿?qū)勸信號，使傳感器處于工作狀態(tài)。信號檢測部分要求檢測出微小電容變化，經(jīng)過放大、解調(diào)處理后，將模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量采集到 PC 機中，分析輸出信 號，以確定慣性表的特性。 2 微電容檢測技術
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