微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與應(yīng)用(doc10)(已修改)
2025-05-23 19:44 本頁(yè)面
【正文】 中國(guó)最龐大的下載資料庫(kù) (整理 . 版權(quán)歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 3722,： 一種用于微機(jī)械慣性傳感器研制與開(kāi)發(fā)的檢測(cè)平臺(tái)，介紹電容式慣性傳感器微電容信號(hào)的檢測(cè)原理、該系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)、各個(gè)組成部分的工作原理及自動(dòng)檢測(cè)方法。 關(guān)鍵詞： 微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS） 微機(jī)械陀螺（ MMG） 檢測(cè) 隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多新的科學(xué)領(lǐng)域相繼涌現(xiàn)，其中微米 /納米技術(shù)就是諸多領(lǐng)域中引人注目的一項(xiàng)前沿技術(shù)。 20 世紀(jì) 90 年代以來(lái)，繼微米 /納米技術(shù)成功應(yīng)用于大規(guī)模集成電路制作后，以集成電路工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ)的各種微傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS）脫穎而出，平均年增長(zhǎng) 率達(dá)到 30%。微機(jī)械陀螺是其中的一個(gè)重要組成部分。目前，世界各個(gè)先進(jìn)工業(yè)國(guó)家都十分重視對(duì) MMG 的研究及開(kāi)發(fā)，投入了大量人力物力，低精度的產(chǎn)品已經(jīng)問(wèn)世，正在向高精度發(fā)展。 中國(guó)最龐大的下載資料庫(kù) (整理 . 版權(quán)歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 3722, 加入 必要時(shí) 可將此文 件 解密 1 微機(jī)械振動(dòng)陀螺儀的簡(jiǎn)要工作原理 陀螺系統(tǒng)組成見(jiàn)圖 1，它由敏感元件、驅(qū)動(dòng)電路、檢測(cè)電路和力反饋電路等組成。在梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器的差動(dòng)電路上分 別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓，由于交變的靜電驅(qū)動(dòng)力矩的作用，質(zhì)量片在平行于襯底的平面內(nèi)產(chǎn)生繞驅(qū)動(dòng)軸 Z軸的簡(jiǎn)諧角振動(dòng)。當(dāng)在振動(dòng)平面內(nèi)沿垂直于檢測(cè)軸的方向（ X方向）有空間角速度 Ω輸入時(shí)，在哥氏力的作用下，檢測(cè)質(zhì)量片便繞檢測(cè)軸（ Y軸）上下振動(dòng)。這種振動(dòng)幅度非常小，可以由位于質(zhì)量片下方、淀積在襯底上的電容極板檢測(cè)，并通過(guò)電荷放大器、相敏檢波電路和解調(diào)電路進(jìn)行處理，得到與空間角速度成正比的電壓信號(hào)。 中國(guó)最龐大的下載資料庫(kù) (整理 . 版權(quán)歸原作者所有 ) 如果您不是在 網(wǎng)站下載此資料的 , 不要隨意相信 . 請(qǐng)?jiān)L問(wèn) 3722, 加入 必要時(shí) 可將此文 件 解密 在科研及加工過(guò)程中，一個(gè)重要的內(nèi)容就是檢測(cè)陀螺儀的特性，如工作狀態(tài)諧振頻率、帶寬增益、 Q 值等，于是就提出了微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的研制任務(wù)。根據(jù)陀螺儀的工作原理，整個(gè)儀器包括兩大部分：驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分和表頭的輸出信號(hào)檢測(cè)部分。驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分對(duì)待測(cè)的慣性傳感器給予適當(dāng)?shù)尿?qū)勸信號(hào)，使傳感器處于工作狀態(tài)。信號(hào)檢測(cè)部分要求檢測(cè)出微小電容變化，經(jīng)過(guò)放大、解調(diào)處理后，將模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量采集到 PC 機(jī)中，分析輸出信 號(hào)，以確定慣性表的特性。 2 微電容檢測(cè)技術(shù)
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