微小位移技術-文庫吧
2025-07-31 22:12 本頁面
【正文】 彈性 導軌 — 機械式位移縮小機構驅動 （ 1)彈性縮小機構 ： 這種微動機構利用兩個彈簧的剛度比進行位移縮小，如圖 58所示。 幾種常用的微動工作臺 彈性 導軌 — 機械式位移縮小機構驅動 （ 1)彈性縮小機構 ： 這種微動機構利用兩個彈簧的剛度比進行位移縮小，如圖 58所示。這種縮小機構的缺點是當微動臺承受外力或移動導軌部分存在摩擦力時，它將直接成為定位誤差的因素，而且對于步進狀態(tài)的輸人位移容易產(chǎn)生過渡性的振蕩，所以在不適于動態(tài)響應的條件下，可用于光學零件的精密調整機構等。 幾種常用的微動工作臺 幾種常用的微動工作臺 彈性 導軌 — 機械式位移縮小機構驅動 (2)杠桿式位移縮小機構 杠桿式位移縮小機構也是微動機構中常用的一種形式 。 (3)楔形位移縮小機構 圖 510(a)所示是利用具有微小角度的斜楔機構的位移縮小機構也已在實際中應用。 特點是易獲得大的縮小比，同時又能獲得較大的移動范圍。 幾種常用的微動工作臺 彈性 導軌 — 機械式位移縮小機構驅動 幾種常用的微動工作臺 彈性 導軌 — 電磁或電致伸縮微位移器驅動 為克服絲杠螺母機構的摩擦和間隙，可采用電磁驅動的彈簧導軌微動工作臺。其原理如圖 511所示，微動工作臺用平行片簧導向，在工作臺端部固定著強磁體，如坡莫合金制成的小片，與坡莫合金小片相隔適當?shù)拈g隙裝有電磁鐵，通過電磁鐵的吸力與上述平行片簧導軌的反力平衡，進行微位移動工作臺的定位。 幾種常用的微動工作臺 幾種常用的微動工作臺 5．氣浮導軟 ： 在近代精密導向技術中，行程與分辨率是一對主要矛盾。彈性導軌是為解決高分辨率 (亞微米甚至是毫微米級 )而采用的，但行程較小。為解決大行程和中等分辨率 (亞微米級 )的矛盾，在實際中廣泛使用了氣浮導軌。滾動導軌雖然也有可能達到亞微米級的精度，但一般而言，滾動導軌不如氣浮導軌精度高且保持性和抗干擾性比較差。氣浮導軌具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造梢度來獲得較高的導向精度，而目氣浮導軌還可使工作臺得到無摩擦和無振動的平滑移動，因此在精密機械和儀器獲得廣泛的應用。 幾種常用的微動工作臺 圖 515是日本富士通公司的一種精密自動掩模對準上作臺，其獨特之處是楔形縮小機構與驅動機構同時兼作 x， y方向的直線導軌。楔塊部分由空氣軸承構成，通過滾珠絲杠推動位移輸人塊，在 2mm的移動范圍內，得到 m的分辨率。 幾種常用的微動工作臺 — 壓電器件驅動 圖 518是安徽機械科學研究所研制的、利用壓電陶瓷實現(xiàn)刀具自動補償?shù)奈⑽灰茩C構及其原理示意圖，在壓電陶瓷上加電壓之后，向左伸長，推動方形楔塊和圓柱楔塊，克服壓板彈簧的彈力將固定鏜刀的刀套頂起，實現(xiàn)鏜刀的徑向補償。 幾種常用的微動工作臺 、電致伸縮器件 壓電、電致伸縮器件是近年來發(fā)展起來的新刑微位移器件。它其有結構緊湊、體積小、分辨率高、控制簡羊等優(yōu)點，同時它沒有發(fā)熱問題，故對精密工作臺無因熱量而引起的誤差。用這種器件制成的微動工作臺，容易實現(xiàn)精度為 μ m的超精密定位，是理想的微位移器件，在精密機械中得到了廣泛的應用。 、電致伸縮器件 5. 2. 1壓電與電致伸縮效應 — 機電藕合效應 電介質在電場的作用下，有兩種效應壓電效應和電致伸縮效應，統(tǒng)稱機電 耦合 效應。 電介質在電場的作用下，由于感應極化作用而引起應變，應變與電場方向無關，應變的大小與電場的平方成正比，這個現(xiàn)象稱為 電致伸縮效應 。而壓電效應是指電介質在機械應力作用 下 產(chǎn)生電極化，電極化的大小與應力成正比，電極化的方向隨應力的方向而改變。 在微位移器件中我們應用的是逆壓電效應， 即電介質在外界電場作用下，產(chǎn)生 、電致伸縮器件 應變，應變的大小與電場大小成 正 比，應變的方向與電場的方向有關，即電場反向時應變也改變方向 ； 電介質在外加電場作用下應變與電場的關系為 S=dE十 M （ 54） 式中 :dE— 逆壓電效應。其中， d為壓電系數(shù) ,m/V； E為電場， V/m； M— 電致伸縮效應。其中 M為電致伸縮系數(shù)
環(huán)評公示相關推薦
鄂ICP備17016276號-1