【正文】 試劑在世界范圍內(nèi)的實(shí)際發(fā)展情況，按品種進(jìn)行分類，每個(gè)品種歸并為一個(gè)指導(dǎo)性的標(biāo)準(zhǔn)，其中包括多個(gè)用于不同工藝技術(shù)的等級(jí)，具體見下表。SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)SEMI標(biāo)準(zhǔn)C1 (Grade1)C7 (Grade2)C8 (Grade3)C12 (Grade4)(Grade5)C11(VLSIGrade)金屬雜質(zhì)≤1ppm≤10 ppb≤1 ppb≤ ppb≤ ppb≤50 ppb控制粒徑μm≥≥≥≤/≥顆粒，個(gè)/mL≤25≤25≤5//≤250適應(yīng)范圍適用于＞ IC技術(shù)的制作適用于 IC技術(shù)的制作適用于 IC技術(shù)的制作適用于 IC技術(shù)的制作適用于＜ IC技術(shù)的制作適用于 IC技術(shù)的制作三、 電子級(jí)氫氟酸的包裝、運(yùn)輸、貯存相關(guān)規(guī)定（一）、包裝：一般采用25KG聚乙烯塑料桶包裝，屬于一級(jí)無機(jī)酸性腐蝕物品。（二）、運(yùn)輸中嚴(yán)禁受損、受熱和雨淋，裝卸中應(yīng)該輕裝、輕卸，防止撞擊。（三）、電子級(jí)氫氟酸應(yīng)該貯存于通風(fēng)良好的倉庫中。（四）、包裝樣圖500ml 塑料瓶 高180 mm 直徑75mm 灌裝口直徑 29 mm 5L加侖桶 高 320 mm 直徑150mm 灌裝口直徑34 mm 25L桶 長(zhǎng)280mm 寬280mm 高380mm 灌裝口直徑65mm自重量： kg 灌裝量：25kg200 L桶 高900mm 直徑590mm 灌裝口直徑 750 mm 灌裝量：200kg240kg1000LIBC集裝桶 長(zhǎng)1200mm 寬1000mm 高1160mm 灌裝口直徑150mm自重量60kg灌裝量：1000kg20T TANK灌裝槽車其他規(guī)格 4L HDPE Bottle 20L HDPE Pail 回收式1M3 ISO Bulk Container 200L HDPE Drum簡(jiǎn)稱IBC，又稱TOTE四、電子級(jí)氫氟酸的用途（一）、產(chǎn)品主要用于在集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造中，電子級(jí)高純氫氟酸是關(guān)鍵輔助材料之一，主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。（二）、在太陽能光伏行業(yè)中，用于硅片表面清洗、蝕劑等領(lǐng)域。硅錠到硅片，再到電池片的第一道工藝程序：清洗制絨環(huán)節(jié)會(huì)用到產(chǎn)品。（三）、在液晶顯示器行業(yè)，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕劑等。（四）、在TFTLCD、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中也被廣泛使用。（五）、還可用作分析試劑、原子能工業(yè)化學(xué)試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前 ,在國(guó)內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè) ,其他方面用量較少。五、 產(chǎn)品分類（一）、UPS級(jí):,金屬雜質(zhì)含 量小于1ppb,， 粒子,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝達(dá)到SEMI C8標(biāo)準(zhǔn)。（二）、UP級(jí):適用1微米集成電路及TFTLCD制造工藝,金屬雜質(zhì) 含量小于10ppb,，,在100級(jí)凈化環(huán)境中灌裝,達(dá)到SEMI C7標(biāo)準(zhǔn)。（三）、EL 級(jí):金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達(dá)到SEMI C1 C2標(biāo)準(zhǔn),適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝 。六、國(guó)內(nèi)外知名生產(chǎn)企業(yè)（一）、國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)企業(yè)介紹表地區(qū)廠家最好等級(jí)（金屬離子）產(chǎn)能（噸）價(jià)格區(qū)間大陸凱恒（凱圣）~100ppb25,0006000~9000元/噸蘇州晶瑞EL級(jí) 10~30ppb5,000江陰江化EL級(jí)30~100ppb5,000邵武永飛EL級(jí)10~30ppb5,000鷹鵬集團(tuán)EL級(jí)30~100ppb10,000順昌富寶EL級(jí)50~100ppb5,000邵武華新EL級(jí)10~50ppb5,000臺(tái)灣臺(tái)塑大金~50ppt16,00012000~20000元/噸僑力化工PPT級(jí)1~50ppt6,000日本STELLA~50ppt40,00018000~20000元/噸MORITAPPT級(jí)1~50ppt8,000歐、美SOVAY~1ppb10,00014000~17000元/噸HONEYWELL~1ppb10,000（二）、國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家具體介紹浙江凱恒電子材料有限公司浙江凱恒電子材料有限公司（）是一家專業(yè)生產(chǎn)氟系列超高純微電子化學(xué)品由浙江凱圣氟化學(xué)有限公司控股的企業(yè)。凱圣公司是由浙江巨化股份有限公司控股的公司。公司主要產(chǎn)品：高純電子級(jí)氫氟酸(UPS級(jí)、UP級(jí)、EL級(jí))、電子級(jí)氟化銨、BOE混配蝕刻液、化學(xué)試劑級(jí)氫氟酸、工業(yè)級(jí)無水氟化氫、工業(yè)級(jí)有水氫氟酸等產(chǎn)品。產(chǎn)品性能及各項(xiàng)指標(biāo)均處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。公司在生產(chǎn)裝置上實(shí)現(xiàn)DCS集散控制系統(tǒng)，能準(zhǔn)確實(shí)時(shí)有效控制裝置安全穩(wěn)定運(yùn)行和產(chǎn)品品質(zhì)的穩(wěn)定。配有當(dāng)今世界上最先進(jìn)的質(zhì)檢分析儀器電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICPMS7500型和861型單柱雙柱切換功能離子色譜儀完全達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)分析實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求，保證了產(chǎn)品質(zhì)量出廠合格率達(dá)100%。產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到單個(gè)金屬離子含量≤1ppb。具有自主研發(fā)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)。公司早在2006年就完成高純電子級(jí)氫氟酸小試工作，2008年中試裝置產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)、東南亞、歐洲等市場(chǎng)獲得客戶廣泛認(rèn)可，紛紛要求擴(kuò)大供貨。2009年年產(chǎn)6000噸電子級(jí)高純氫氟酸建成投產(chǎn)。公司擁有目前國(guó)內(nèi)唯一一套年產(chǎn)25000噸電子級(jí)高純氫氟酸生產(chǎn)裝置，其工藝技術(shù)、產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量均處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，氫氟酸系列產(chǎn)品已取得ISO9001質(zhì)量認(rèn)證。公司追求創(chuàng)新與發(fā)展，公司目標(biāo)是成為全國(guó)最大的電子化學(xué)品生產(chǎn)基地。目前公司電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能為25000噸/年。邵武市永飛化工有限公司福建省邵武市永飛化工有限公司（）及其控股的邵武市永祥化工有限公司、邵武市永晶化工有限公司、江西省德安縣永飛礦業(yè)有限公司是福建省大型的氟化氫、氟化鹽、硫酸及氟氣下游系列產(chǎn)品的生產(chǎn)企業(yè)，位于中國(guó)福建省邵武市新氨路 18 號(hào)。其中化工類生產(chǎn)企業(yè)地處邵武市曬口新氨路 18 號(hào)，占地面積 300 余畝，目前綜合生產(chǎn)能力無水氟化氫 36000 噸 / 年、高純超凈氫氟酸 15000 噸、硫酸 120000 噸、氟化鹽 10000 噸 / 年、六氟化硫 600 噸、五氟化碘 60 噸，其中電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能為5000噸/年。屬于國(guó)內(nèi)最早量產(chǎn)電子級(jí)氫氟酸企業(yè)之一。目前，公司綜合生產(chǎn)能力無水氟化氫 56000 噸、高純超凈氫氟酸 30000 噸、硫酸 120000 噸、氟化鹽 10000 噸、六氟化硫 600 噸、五氟化碘 60 噸，五氟化銻10噸，企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模在全國(guó)氟行業(yè)內(nèi)名列前茅。公司生產(chǎn)的“永飛牌”無水氟化氫、工業(yè)氫氟酸、試劑級(jí)氫氟酸、電子級(jí)氫氟酸、六氟化硫、五氟化碘、98%硫酸、%發(fā)煙酸及氟化銨、氟化氫銨、氟化氫鉀等氟化鹽系列產(chǎn)品，品質(zhì)優(yōu)良，“永飛”商標(biāo)是“福建省著名商標(biāo)”，“永飛”牌無水氟化氫、高超純凈氫氟酸等系列產(chǎn)品被評(píng)為“福建省名牌產(chǎn)品”。公司具有自營(yíng)進(jìn)出口權(quán)，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷國(guó)內(nèi)各省市、自治區(qū)及歐洲、美洲和東南亞、日本、臺(tái)灣等 30 多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。浙江藍(lán)蘇氟化有限公司浙江藍(lán)天環(huán)保高科技股份有限公司（）與德國(guó)蘇威氟有限公司通過強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，組建中外合資企業(yè)。于2006年10月16日注冊(cè)成立,注冊(cè)資金5443萬元，公司位于浙江省衢州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)。專門從事氟化學(xué)品的生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品為氟化氫。公司現(xiàn)有2萬噸/年無水氫氟酸生產(chǎn)線和國(guó)內(nèi)最高規(guī)格的5000噸/年電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)線，其中電子級(jí)氫氟酸引進(jìn)蘇威公司技術(shù)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白?？蓾M足國(guó)內(nèi)相關(guān)行業(yè)對(duì)更高純度氫氟酸的需求，減少對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴。 中化集團(tuán)成員企業(yè)中化藍(lán)天下屬企業(yè)浙江藍(lán)天環(huán)保高科技股份有限公司成立于2000年11月6日，是由浙江化工科技集團(tuán)有限公司、國(guó)家消防工程技術(shù)研究中心等六家社會(huì)法人和四位自然人共同發(fā)起設(shè)立的國(guó)有控股股份有限公司。公司專業(yè)從事哈龍及其替代品、氯氟烴替代品以及含氟涂料和樹脂及氟精細(xì)化學(xué)品的技術(shù)開發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)營(yíng),是目前國(guó)內(nèi)技術(shù)開發(fā)實(shí)力最強(qiáng)、產(chǎn)品品種最全、生產(chǎn)規(guī)模最大的消耗臭氧層物質(zhì) (ODS) 替代品生產(chǎn)企業(yè)。公司完成國(guó)家科技攻關(guān)項(xiàng)目、火炬計(jì)劃項(xiàng)目和創(chuàng)新基金項(xiàng)目等省部