[工學]07-第4章 精密和超精密加工機床-文庫吧
2025-01-04 10:31 本頁面
【正文】 ）） 關鍵精度要求：關鍵精度要求： 2）） 液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)液體靜壓軸承主軸系統(tǒng)? 主軸回轉(zhuǎn)誤差（精度）： ≤ μm? 剛度大、承載能力強? 油壓： 68 MPa? 油經(jīng)過恒溫控制；? 軸承用恒溫水冷卻典型液體靜壓軸承主軸結構1徑向軸承； 2止推軸承； 3真空吸盤第 4章 精密和超精密加工機床 3）） 空氣靜壓軸承主軸空氣靜壓軸承主軸? 允許的轉(zhuǎn)速高；? 回轉(zhuǎn)精度高；? 剛度低、承載能力?。? 氣隙： 615 μm ；? 氣壓： MPa第 4章 精密和超精密加工機床空氣靜壓軸承主軸示例空氣靜壓軸承主軸示例第 4章 精密和超精密加工機床 1）） 液體靜壓導軌液體靜壓導軌靜壓導軌的優(yōu)點：消除低速爬行吸振減振誤差遲鈍化減小摩擦阻力第 4章 精密和超精密加工機床 精密機床導軌系統(tǒng) 2）） 氣體靜壓導軌氣體靜壓導軌第 4章 精密和超精密加工機床 3）） 靜壓導軌的精度靜壓導軌的精度第 4章 精密和超精密加工機床 精密機床進給系統(tǒng) 精密數(shù)控系統(tǒng)精密數(shù)控系統(tǒng)1）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：）精密數(shù)控系統(tǒng)的基本要求：主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進給驅(qū)動機構主要包括：精密數(shù)控系統(tǒng)、進給驅(qū)動機構? 多軸聯(lián)動（非球曲面要求：多軸聯(lián)動（非球曲面要求： x軸、軸、 y軸、軸、 B轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動）轉(zhuǎn)軸三軸聯(lián)動）? 系統(tǒng)高分辨率：系統(tǒng)高分辨率： ≤ μm /脈沖脈沖? 驅(qū)動電機：直流伺服電機或交流伺服電機驅(qū)動電機：直流伺服電機或交流伺服電機? 閉環(huán)控制：位移信號反饋（光柵磁尺、激光測量系統(tǒng)閉環(huán)控制：位移信號反饋（光柵磁尺、激光測量系統(tǒng) …)2）典型機床數(shù)控系統(tǒng)：）典型機床數(shù)控系統(tǒng)：? 德國德國 ———— 西門子數(shù)控系統(tǒng)西門子數(shù)控系統(tǒng)? 日本日本 ———— 發(fā)那哥數(shù)控系統(tǒng)發(fā)那哥數(shù)控系統(tǒng)? 中國中國 ———— 蘭天數(shù)控系統(tǒng)、
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