sputter基本原理培訓-文庫吧
2024-12-26 12:28 本頁面
【正文】 點： ? 抽速大、無油、啟動快 ? 工作范圍： 102~106mbar ? 極限真空： 106mbar ? 缺點：振動、成本高、易損 第一章 真空 13 ? 油擴散泵 油擴散泵的特點： ? 經(jīng)濟耐用、無振動 ? 工作范圍： 104 ~109mbar ? 極限真空： ~106mbar ~109mbar （液氮冷卻） ? 缺點：反油、需預熱 第一章 真空 14 真空泵 極限壓強 （ mbar） 啟動壓強 （ mbar） 旋葉泵 1103 1103 水蒸氣噴射泵 1103 1103 羅茨泵 取決于前級泵 1101 渦輪分子泵 1106 1102 油擴散泵 1109 1104 濺射離子泵 11011 1103 鈦升華泵 11011 1103 低溫吸附泵 11012 1103 幾種常用泵的極限壓強與啟動壓強 目錄 第一章 真空 第三章 濺射原理 第四章 反應性濺射 第五章 濺射鍍膜設備 第六章 濺射靶及靶材配置 15 第二章 等離子體 第二章 等離子體 16 等離子體是由部分分子、原子及原子被電離后產(chǎn)生的正離子和負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導電體，呈準中性狀態(tài)。 21 輝光放電 第二章 等離子體 17 自然中的等離子體： 23 雷電 24 極光 第二章 等離子體 18 25 日光燈 24 真空鍍膜 輝光放電 等離子的應用： 第二章 等離子體 19 輝光放電產(chǎn)生的條件： 1. 在放電開始前，放電間隙間電場是均勻的； 2. 放電過程主要是靠陰極發(fā)射電子來維持的； 3. 放電氣壓一般維持在 10~103mbar； 4. 放電電流密度一般要維持在 101~102mA/cm2； 5. 電壓一般為 300~5000V； 濺射所需要的轟擊離子通常采用輝光放電獲得。輝光放電是氣體放電的一種類型，是一種穩(wěn)定的自持
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