微機電系統(tǒng)第二章mems設(shè)計基礎(chǔ)-文庫吧
2024-12-23 12:58 本頁面
【正文】 市場需求。 ? 總體而言， 掌握相關(guān)技術(shù) 無論對哪種目的的設(shè)計都十分重要。 MEMS建模 所謂 建模 ，是對現(xiàn)實世界中的某一特定的研究對象，為達到某種特定的目的，做一些必要的簡化和假設(shè)，根據(jù)物理學的基本規(guī)律，運用適當?shù)臄?shù)學工具，得到一種數(shù)學表達式，用來描述研究對象的物理本質(zhì)。它可能解釋特定現(xiàn)象的現(xiàn)實形態(tài)，也可能預(yù)測研究對象的未來狀況，還可能提供最佳的設(shè)計方案和最佳的控制方法。 MEMS建模 建模過程 ?工程實際狀態(tài)的模型化 ?物理模型的建立 ?數(shù)學模型的建立 ?仿真 ?驗?zāi)? 建模要求 ?正確性 ?可視性 ?網(wǎng)格劃分的適用性 目的 ：對實際工程狀態(tài)的特性進行分析計算 五、 MEMS設(shè)計的具體方法 A. 微分方程組求解法 ?物理有效量多與時間和空間有關(guān)， 因此求解較難 ?數(shù)學近似方法：將微分轉(zhuǎn)換為差分等 ?將研究對象物理近似成模型 ?數(shù)學近似方法：離散化 兩種分析方法 有限元方法簡介 ? 有限單元法是隨著電子計算機的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的一種現(xiàn)代計算方法。它是 50年代首先在連續(xù)體力學領(lǐng)域 飛機結(jié)構(gòu)靜、動態(tài)特性分析中應(yīng)用的一種有效的數(shù)值分析方法，隨后很快廣泛的應(yīng)用于求解熱傳導(dǎo)、電磁場、流體力學等連續(xù)性問題。 ? 有限元以 結(jié)構(gòu)力學和彈性力學 為理論基礎(chǔ)，以計算機為媒體，以 有限元程序 為主體，對大型結(jié)構(gòu)工程的數(shù)值計算方法。 ? 有限元的核心思想是結(jié)構(gòu)的 離散化 ，就是將實際結(jié)構(gòu)假想地離散為有限數(shù)目簡單單元的組合體，實際結(jié)構(gòu)的物理性能可以通過對離散單元進行分析，得出 滿足工程精度的近似結(jié)果 來替代對實際結(jié)構(gòu)的分析。 MEMS設(shè)計軟件 ? ANSYS ? MEMSPRO ? Intellisuite ? CoventerWARE
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