《ct擴散爐結(jié)構(gòu)簡介》ppt課件-文庫吧
2024-12-22 13:52 本頁面
【正文】 作狀況，并將結(jié)果顯示在 CMI電腦用戶界面上。 CMS CCC電腦 CESAR控制電腦 溫度控制器 CESAR 控制電腦 (每個爐管有一個 ): 其作用為：創(chuàng)建或更改 recipe， 定義 recipe變量（工藝時間，溫度，壓力，氣流）， start，stop and cancel recipe，數(shù)字控制溫度，控制氣流，裝載機組參數(shù)設(shè)置，與裝卸系統(tǒng)進(jìn)行通訊，監(jiān)視報警 /中斷狀況（氣流，溫度，壓力），通過級聯(lián)控制器控制溫度，通過級聯(lián)溫度控制進(jìn)行自動拉溫，存儲一定數(shù)量的 recipe，記錄用戶定義的工藝數(shù)據(jù)，對正在運行的工藝進(jìn)行測試（執(zhí)行工藝步驟，更改變量，設(shè)置 /重置停止點等） 溫度控制器（每個爐管有一個）： 采用 REG97溫度控制器，硬件部分由 controller， transducer， pulse skipping unit組成。 控制柜 動力柜 UPS電源 爐體 電力配置箱，變壓器 動力柜，控制柜，爐體與變壓器分布 Spike TC 溫度測量模塊 Spike TC 供電 超溫監(jiān)控 CMS（機器安全系統(tǒng)） 冷卻水管接口 冷卻水管接口 Spike TC 爐體情況 接線柱 Spike TC Spike TC（包含兩根熱偶，一根用于超溫報警，一根用于工藝控溫） 石英管 工藝氣體進(jìn)氣管 Paddle TC放置口 尾氣管放置 爐絲及爐管 爐絲與接線柱接口設(shè)計 爐門控制系統(tǒng) TGA Centrotherm的爐門系統(tǒng)由專門的控制裝置 TGA（ Toxic Gas Exhaust），其上有熱排風(fēng)來抽走爐門開關(guān)過程中可能釋放出的有毒氣體和熱量。 TGA 爐門開關(guān)驅(qū)動電機 爐門進(jìn)出驅(qū)動電機 爐門裝置 Load stat
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