低溫真空泵原理與結(jié)構(gòu)(已改無錯字)
2022-07-24 03:34:48 本頁面
【正文】 氣體使低溫板溫度升高時，能吸附氫的量就減少。抽氣容量是指低溫泵能抽除(存留)某種特定氣體的最大量，單位為托升，mbarL或者stdL。抽氣容量由以下因素決定：1)障板抽水蒸氣達(dá)到了覆蓋一半流通面積；2)冷板外面凝聚的氮、氬等厚度太大；3)吸附陣接近飽和。在這三個因素中，往往是吸附最先達(dá)到飽和，因為與冷凝相比，吸附的量要小于冷凝的量。所以抽氣容量主要由吸附?jīng)Q定(主要因素是吸附劑的性能和數(shù)量)。通常抽氣容量是指抽速降到初始抽速的一半時抽出的氣體的量，這時低溫泵需要再生了，實際中常常是真空度不夠好和制冷溫度超過20K時進(jìn)行再生。低溫泵中制冷機的熱負(fù)荷用在低溫泵上的制冷機在沒有施加熱負(fù)荷時，二級最低溫度約10K，一級最低溫度35K。隨著施加的熱負(fù)荷增加，每一級上的溫度增大。例如給某制冷機加9W的熱負(fù)荷將使冷頭溫度達(dá)20K，一級上加17W的熱負(fù)荷使其溫度達(dá)77K。我們把低溫冷板標(biāo)稱溫度定為在正常工作時二級溫度約12K，一級溫度約60K—65K。這樣就對未預(yù)先考慮到的來自真空室的熱負(fù)荷或由于大的氣體流速下增加的熱負(fù)荷留有一定的余量。上述制冷機冷量分別為5W/12K和12W/60K。冷板的熱負(fù)荷來自以下三個方面：1．從真空室來的熱輻射；2．由于氣體從室溫下被冷卻并被在低溫下冷凍所放出的冷凝熱；3．腔內(nèi)殊余氣體的導(dǎo)熱。空氣的導(dǎo)熱系數(shù)(大于1托壓力時基本上是常數(shù))在壓力減少到1托以
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