ecvd工作工藝原理ppt課件(已改無錯字)
2023-05-29 22:03:14 本頁面
【正文】 反膜參數(shù) 在燒結后膜的光學特性有一些改變 膜的均勻性 +1… +3… +5% 氫對硅表面的鈍化 強烈依賴燒結工藝 氫對體內的鈍化 強烈依賴硅片的體材料 安全 無水氨氣是一種刺激性、無色、可燃的儲存于鋼瓶的液化壓縮氣體。其存儲壓力為其蒸汽壓 14psig(70℉ )。氨氣會嚴重灼傷眼、皮膚及呼吸道。當它在空氣中的濃度超過 15%時有立即造成火災及爆炸的危險，因此進入這樣的區(qū)域前必須排空。進入濃度超過暴露極限的區(qū)域要佩戴自給式呼吸器。大規(guī)模泄露時需要全身防護服，并應隨時意識到潛在的火災和爆炸危險。暴露在氨氣中會對眼睛造成中度到重度的刺激。氨氣強烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。癥狀包括灼傷感、咳嗽、喘息加重、氣短、頭痛及惡心。過度暴露會影響中樞神經系統(tǒng)并會造成痙攣和失去知覺。上呼吸道易受傷害并導致氣管炎。聲帶在高濃度下特別容易受到腐蝕，下呼吸道傷害會造成水腫和出血，暴露在 5000ppm下 5分鐘會造成死亡。 緊急救助 眼睛接觸：用大量的水沖洗，立即進行醫(yī)療處理。 吸入：將人員移到空氣清新處，若呼吸困難，則輸氧，并迅速進行醫(yī)務處理。 皮膚接觸：用大量水沖洗，立即脫掉被污染的衣服，并立即進行藥物處理。 安全 火災撲救 滅火劑：干粉、二氧化碳或水 從泄漏區(qū)疏散所有的人，切斷氨氣泄漏源，然后根據燃燒的物質進行滅火。由于受熱鋼瓶內壓力會升高，如果泄壓裝置功能失靈，會引起鋼瓶爆炸。 硅烷是一種無色、與空氣反應并會引起窒息的氣體。該氣體
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