材料分析方法概述ppt課件-閱讀頁
2025-05-16 00:01本頁面
【正文】 34 光譜分析方法的應(yīng)用 35 36 第四節(jié) 電子能譜分析方法概述 ? 電子能譜分析法是基于光子 (電磁輻射 )或運(yùn)動(dòng)實(shí)物粒子 (電子 、 離子 、 原子等 )照射或轟擊材料 (原子 、 分了或固體 )產(chǎn)生的電子能譜 (電子產(chǎn)額對(duì)能量的分布 )進(jìn)行材料分析的方法 。 ? 電子激發(fā)俄歇能譜儀以電子槍發(fā)射 電子為激發(fā)源 ， 多采用鏡簡分析器測(cè)量俄歇電子能量分布 ． 39 光電子能譜與俄歇電子能譜分析方法的應(yīng)用 40 第五節(jié) 電子顯微分析方法概述 ? 電子顯微分析是基于 電子束 (波 )與材料 的相互作用而建立的各種材料現(xiàn)代分析方法 。 另外俄歇能譜分析也得到較廣泛應(yīng)用 ． 41 ? 透射電子顯微鏡 (TEM)： ? 可簡稱透射電鏡 ， 用于薄層 (一般小于 200nm)樣品微觀形貌觀察與結(jié)構(gòu)分析 ． ? 透射電鏡成像原理與光學(xué)顯微鏡類似 ， 即以電子束(代替光束 )為照明源 ． 經(jīng)聚光鏡 (電磁透鏡 )聚焦后照射樣品 ， 透射電子經(jīng)成像系統(tǒng) 聚焦 、 放大 、 成像 ，并由熒光屏顯示或底片記錄 ． ? 依據(jù)樣品不同位置透射電子束強(qiáng)度不同而成像 ， 得到的是樣品 形貌像 ；依據(jù) (被樣品 )彈性散射電子相長干涉 (衍射 )方向與強(qiáng)度不同而成像 ， 則得到樣品衍射像 (衍射花樣 、 衍射譜 ) 42 43 ? 掃描電子顯微鏡： ? 可簡稱掃描電鏡 ， 由 電子光學(xué)系統(tǒng) 、 信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng) 、 圖像顯示和記錄系統(tǒng)及真空系統(tǒng) 等組成 。 44 ? 電子探針 x射線顯微分析儀： ? 簡稱電子探針 (HPA或 EPMA)， 其技術(shù)基礎(chǔ)與 x射線熒光光譜分析相似 ， 主要區(qū)別是以 電子束代替X光 為激發(fā)源 ， 適用于樣品微區(qū)成分分析 ． ? 電子探針與 X射線熒光光譜儀相似 ， 亦分為 波譜儀與能譜儀 ． 電子探針作為附件配備于透射電子顯微鏡或掃描電子顯微鏡 ， 則可實(shí)現(xiàn)樣品微區(qū)成分分析與形貌分析的有機(jī)結(jié)合 ． ? 現(xiàn)代電于探針一般都是掃描型電子探針 (并多配備于掃描電子顯微鏡 )， 可實(shí)現(xiàn)樣品成分的 點(diǎn)分析(點(diǎn)的元素濃度 )、 線分析 (沿樣品某方向的元素濃度分布 )和 面分析 (與樣品形貌像相對(duì)應(yīng)的樣品表面元素濃度分布 )等 ． 45 ? 電子激發(fā)俄歇電子能譜 (xAFS或 AEs)： ? 近年來出現(xiàn)的掃描俄歇探針 (SAM)用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描 ， 可實(shí)現(xiàn)樣品表面成分的 點(diǎn)分析 、 線分析 、 面分析和深度剖面分析 (利用離子槍發(fā)射惰性氣體離子對(duì)樣品表面濺射刻蝕 ， 用俄歇譜逐層測(cè)定化學(xué)成分 ， 從而獲得元素沿樣品深度方向的濃度分布 )． ? 俄歇探針帶有二次電子及吸收電子顯示器并配備有 x射線能譜探頭 ， 因而兼具掃描電鏡和電子探針的功能 ． 46 電子顯微分析方法 47 第六節(jié) 色譜、質(zhì)譜及電化學(xué)分析方法概述 ? 色譜分析法 ? 是基于混合物中各組分在互不相溶的兩相(固定相與流動(dòng)相 )中 分配系數(shù) 、 吸附能力 、溶解能力或阻滯能力 等物理性質(zhì)的差異 ，進(jìn)行混合物組分分離和分析的方法 ． ? 48 ? 質(zhì)譜分析法 ? 質(zhì)譜分析法 (MS)是基于元素 (離子 )的質(zhì)荷比 (質(zhì)量與電荷的比值 ， M／ e)進(jìn)行材料定性 、 定量結(jié)構(gòu)分析 ， 特別是研究有機(jī)化合物結(jié)構(gòu)的重要方法 ． ? 無機(jī)化合物質(zhì)譜分析主要應(yīng)用于元素 定性分析(樣品全元素分析或確定樣品中是否臺(tái)有某些元素 )、 半定量或定量分析 ． 質(zhì)譜分析靈敏度很高 ，能檢測(cè)相對(duì)含量達(dá) 1012E級(jí)的元素 ． 屬于無機(jī)痕量分析方法 ． 對(duì)于性質(zhì)極為相似的 Hf、 Nb和 Ta，稀土元素等采用質(zhì)譜分析結(jié)果可靠 。
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