章電子束和離子束加工-閱讀頁
2025-05-15 04:27本頁面
【正文】 轟擊工件，離子注入表層，改變表層性質。 ? 。 ? 、熱變形等極小、加工質量高。 二、 離子束加工裝置 離子束 加工裝置 ：離子源 、 真空系統(tǒng) 、 控制系統(tǒng)和電源等部分組成 。 離子源 ： （ 1） 離子源的作用：產(chǎn)生離子束流 。 （ 3） 離子束流產(chǎn)生的方法： 把要電離的氣態(tài)原子 (如氬等惰性氣體或金屬蒸氣 )注入電離室，經(jīng)高頻放電、電弧放電、等離子體放電或電子轟擊，使氣態(tài)原子電離為等離子體 (即正離子數(shù)和負電子數(shù)相等的混合體 )。 二、離子束加工裝置 （ 4） 離子源的型式 根據(jù)離子束產(chǎn)生的方式和用途的不同 ， 離子源有很多型式 ， 常用的有： ① 考夫曼型離子源 ②雙等離子管型離子源 ① 考夫曼型離子源 ： 圖 69為考夫曼型離子源示意圖 ， 它由灼熱的燈絲 2發(fā)射電子 ， 在陽極 9的作用下向下方移動 ， 同時受線圈 4磁場的偏轉作用 ， 作螺旋運動前進。 在引出電極 8的作用下 ， 將離子吸出 ， 形成300條準直的離子束 ， 再向下則均勻分布在直徑為 5㎝ 的圓面積上 。中間電極的電位一般比陽極電位低，它和陽極都用軟鐵制成，因此在這兩個電極之間形成很強的軸向磁場，使電弧放電局限在這中間，在陽極小孔附近產(chǎn)生強聚焦高密度的等離子體。 三、 離 子束加工的應用 ⒈ ⒉ 離子鍍膜加工 ⒊ 離子注入加工 ⒈ 刻蝕加工 離子刻蝕是從工件上去除材料，是一個撞擊濺射過程。 ⑴ 加工參數(shù)控制 離子入射能量 、 束流大小 、 離子入射到工件上的角度 、 工作室氣壓等都能分別調節(jié)控制 ， 根據(jù)不同加工需要選擇參數(shù) 。 ⑵ 離子束刻蝕應用 離子刻蝕用于加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達上的溝槽 ， 分辨率高 ， 精度 、 重復一致性好 。離子鍍時工件不僅接受靶材濺射來的原子，還同時受到離子的轟擊，這使離子鍍具有許多獨特的優(yōu)點。
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