光學(xué)測(cè)試技術(shù)講稿背景簡(jiǎn)介-閱讀頁(yè)
2025-06-02 16:30本頁(yè)面
【正文】 長(zhǎng)在亞微米數(shù)量級(jí) 高精度：超精度測(cè)量，精度為正負(fù) 三維性：全部信息 實(shí)時(shí)性：光電響應(yīng) ps(皮秒 )－ fs(飛秒 )，快速響應(yīng)，生產(chǎn)線控制，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)控制 精密光學(xué)測(cè)試技術(shù)的四大發(fā)展方向 1. 靜態(tài) 動(dòng)態(tài)：在線控制 (online)； 2. 逐點(diǎn) 全場(chǎng)：三維形貌實(shí)時(shí)測(cè)量； 3. 動(dòng)態(tài) 智能：存儲(chǔ)、識(shí)別、知識(shí)庫(kù)、識(shí)知； 4. 模塊 芯片：技術(shù)集成在一個(gè)芯片上。 光源參數(shù) ： 輻射能、輻射通量、輻射強(qiáng)度輻射照度、輻射出射度、輻射亮度、光譜輻射量等等。 性能參數(shù) ： 響應(yīng)率、單色靈敏度、響應(yīng)時(shí)間、頻率響應(yīng)、信噪比、暗電流、線性度、噪聲特性等 光學(xué)測(cè)試技術(shù) 光干涉技術(shù)； 光散射技術(shù)； 光譜技術(shù)； 光電技術(shù)； 薄膜測(cè)試技術(shù)； 光調(diào)制技
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