【正文】 ，塑料桶 t/a 10 6 雙氧水（ 30%） 15kg/桶，塑料桶 t/a 7 氨 水（ 30%） 15kg/桶，塑料桶 t/a 8 無水乙醇 1kg/瓶，玻璃瓶 t/a 10 液氬 / m3/a 300 主要設(shè)備選型 (1)單晶爐 37 建議采用 上虞晶盛 的 TDR95AZJS全自動單晶爐 。該設(shè)備可以大規(guī)模生產(chǎn)集成電路、太陽能等行業(yè)所需的高質(zhì)量的單晶硅。 主要技術(shù)參數(shù)： 拉制晶體最大直徑 : Ф ″ (Ф 215mm) 最大熔料量 120Kg (22″坩堝 ) 主爐室內(nèi)徑 950mm 加熱方式 石墨電阻加熱 籽晶拉速 08mm/min 籽晶轉(zhuǎn)速 048rpm 坩堝升速 04mm/min 冷爐極限真空度 3pa 主變壓器容量 220KW 外形尺寸 (長寬高 ) 5500 3500 7340mm 質(zhì)量 7600Kg 38 四、總圖布置方案 （一）總平面布置 總圖布置原則和技術(shù)要求： （ 1）新廠區(qū)內(nèi)交通運(yùn)輸便捷。 （ 2）各種動力設(shè)施盡量靠近負(fù)荷中心，以縮短管線，節(jié)約能源。 （ 4）建（構(gòu)）筑物的布置符合防火、衛(wèi)生規(guī)范及各種安全規(guī)定和要求，滿足地上、地下工程管線的敷設(shè)、綠化布置以及施工的要求。（詳見附圖） （二）豎向布置： 保證土方工程量最小，并盡量使填挖量達(dá)到或接近平衡。 保證廠區(qū)內(nèi)交通方便，防火間距要滿足最小防火間距 39 要求。主要任務(wù)是使廠區(qū)管線之間以及管線與建筑物、道路及環(huán)衛(wèi)、綠化設(shè)施之間在平面和豎向上相互協(xié)調(diào)，既滿足施工、檢修、安全等要求，又貫徹節(jié)約用地原則。 給水管、排水管、煤氣管、電力電纜、電訊電纜采用地下埋設(shè)，埋設(shè)深度應(yīng)大于各種管線的最小覆土深度，一般覆土深度不小于 米。 表 8 地下管線最小水平凈距表 單位：米 序號 管線名稱 1 2 3 4 5 6 7 建筑物 給水管 排水管 煤氣管 電力 電纜 電信 電纜 道路 邊石 1 建筑物基礎(chǔ)邊緣 2 給水管 3 排水管 4 煤氣管 5 電力電纜 6 電信電纜 40 7 道路邊牙石 （四）廠區(qū) 用電 ： (1)配電系統(tǒng) 。 (2)變配電設(shè)備 。 廠區(qū)照明的設(shè)計(jì)原則是保證照明供電安全可靠，照明的照度、均勻度達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，經(jīng)濟(jì)合理，節(jié)省能源，維修方便，美觀適用。路燈供電采用 10kv高壓進(jìn)線的箱式變電站形式進(jìn)行全夜制控制。 （五）綠化布置： 廠區(qū)車間保持一定面積的綠化隔離帶。 以植物造景為主，以人為本，設(shè)計(jì)力求體現(xiàn)時代氣息的區(qū)域環(huán)境特色。 廠區(qū)道路綠化應(yīng)以喬木為主，喬木、灌木、地被植物相結(jié)合，不得裸露土壤。 綠化樹木與市政公用設(shè)施的相互位置應(yīng)統(tǒng)籌安排，并應(yīng)保證樹木有需要的立地條件與生長空間。 在距交通信號燈及交通標(biāo)志牌等交通安全設(shè)施的停車視距范圍內(nèi)，不應(yīng)有樹木枝葉遮擋。 五、公用工程和輔助工程 供、配電。 給、排水。 DN 100 ㎜進(jìn)水主水管，連接 DN50㎜配水管 。 廠內(nèi)外運(yùn)輸。 （ 2）廠外運(yùn)輸：本項(xiàng)目不新增廠外運(yùn)輸設(shè)備，廠外運(yùn)輸利用工廠現(xiàn)有運(yùn)輸設(shè)備，不足部分由社會運(yùn)輸協(xié)作解決。 (2)對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣、廢水、噪聲采取綜合治理。 (2)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 (GB162971996 )。 (4)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 (GB89781996 )。為確保本項(xiàng)目建成投產(chǎn)后本項(xiàng) 43 目四周廠界處噪聲達(dá)標(biāo)，進(jìn)一步做好環(huán)境保護(hù)工作，采取以下防治措施： ①注意設(shè)備選型及安裝。在安裝時，對風(fēng)機(jī)、水泵、真空泵、空壓機(jī)、等高噪聲設(shè)備須采取減震、隔震措施；對風(fēng)機(jī)、水泵、真空泵、空壓機(jī)等設(shè)備安裝時采用消聲措施，并分別設(shè)置于專用的輔助用房內(nèi)，對上述輔助用房的四周墻壁采用吸聲材料進(jìn)行鋪設(shè) ，同時少設(shè)門窗，設(shè)備工作時應(yīng)保持門窗關(guān)閉；冷卻水循環(huán)系統(tǒng)安裝時建議在其內(nèi)部設(shè)置適量的軟體材料，盡量減少水流落差造成的低頻噪聲。 ③重視整體設(shè)計(jì)。 ④根據(jù)高噪聲設(shè)備的分布，在設(shè)備上方安裝吸聲吊頂。 ⑥在南北側(cè)廠界設(shè)置 2m 高的非鏤空圍墻，廠界內(nèi)側(cè)設(shè)置寬約 5m 的綠化 隔離帶，種植喬木為主，輔以灌木等。 44 (2)廢水 本項(xiàng)目廢水包括生產(chǎn)廢水和生活污水。這部分廢水中設(shè)備間接 冷卻水 為 清潔水，可直接排放。其中一套主要用于處理產(chǎn)生的切方、切片設(shè)備冷卻水及硅片后道清洗廢水，硅片研磨、清洗廢水，反沖洗酸堿廢水。處理規(guī)預(yù)沉池 綜合調(diào)節(jié)池 反應(yīng) 、 絮凝池切方 、 切片設(shè)備冷卻水及后道清洗廢水硅片研磨清洗廢水反沖洗酸堿廢水沉淀池 中間水池 生化系統(tǒng)清水池過濾罐回用水池計(jì)量井外排污泥池壓濾機(jī)污泥外運(yùn) 45 模為 150m3/d，處理工藝為： 根據(jù)當(dāng)?shù)匚鬯芫W(wǎng)規(guī)劃及環(huán)保部門的要求，本項(xiàng)目廢水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)預(yù)處理達(dá)到 GB89781996 中的三級排放標(biāo)準(zhǔn)后，納入工業(yè)區(qū)污水處理廠。 采取上述措施后，預(yù)計(jì)對附近水體水質(zhì)影響不大。 ①生產(chǎn)廢料。其中廢硅料產(chǎn)生量約為 20t/a，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)集中收集后部分由腐蝕工藝重新進(jìn)行加工回用于生產(chǎn)過程中，其余部分由原料供應(yīng)廠家回收利用。該污泥主要含有氟化鈣、硫酸鈣等無機(jī)鹽，產(chǎn)生量約為 10t/a。 ③ 廢酸。屬危險廢物，經(jīng)廠區(qū)內(nèi)集中收集后均由原料供應(yīng)廠家回收利用。主要包括盛放各種化學(xué)原料的包裝桶、包裝袋及操作工破舊工作服、手套、口罩等。 ⑤ 生活垃圾。 綜上，本項(xiàng)目固廢均落實(shí)處置途徑，最終排放量均為 0。 ①酸霧、堿霧。 (1)硅料腐蝕浸泡產(chǎn)生的氫氟酸霧。腐蝕槽上方設(shè)置的風(fēng)機(jī)風(fēng)量為 4000m3/h，由于進(jìn)出料時間較短（約 20min/d）且腐蝕階段均封閉腐蝕槽，故集氣罩集氣效率可達(dá) 98%，堿液吸收處理效率以 98％計(jì)，經(jīng)處理后由 15m 高的排氣筒排放。 (2)酸洗過程中產(chǎn)生的氫氟酸霧、硝酸霧及冰醋酸霧。針對酸洗酸霧配有專門的處理裝置（與前述腐蝕車間及實(shí)驗(yàn)室酸霧處理裝置相關(guān)處理方法及原理相同），設(shè)置的風(fēng)機(jī)風(fēng)量為 3000m3/h，由于酸洗過程均在通風(fēng)柜內(nèi)進(jìn)行，且操作時抽風(fēng)裝置均處于開啟狀態(tài)，集氣效率可達(dá) 90%，堿液吸收處理效率以 98％計(jì)，處理后由 15m 高的排氣筒排放。 (3)堿腐蝕后道浸泡產(chǎn)生的氫氟酸霧。在浸泡槽上方設(shè)置集氣罩（高于浸泡槽約 ）對產(chǎn)生的酸霧進(jìn)行抽風(fēng)集氣，經(jīng)集氣后納入 48 酸洗車間酸霧處理裝置處理（相關(guān)處理方法及原理同上，出口風(fēng)量為 5000m3/h）；集氣效率以 70%計(jì)，堿液吸收處理效率以 98％計(jì)；可以達(dá)到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（ GB162971996）表 2中的二級標(biāo)準(zhǔn)。本項(xiàng)目針對堿霧，在腐蝕槽上方設(shè)置相應(yīng)的集氣抽風(fēng)裝置（集氣罩與腐蝕槽距離約 30cm，抽風(fēng)量為 5000m3/h），經(jīng)收集的堿霧采用一級吸收塔對其進(jìn)行吸收（吸收液為自來水，循環(huán)槽體積為 ；吸收液循環(huán)使用、每周排放一次），吸收后的堿 液以廢水形式排放。 ② 有機(jī)廢氣。在超聲波清洗機(jī)上方設(shè)置集氣抽風(fēng)裝置，部分有機(jī)廢氣經(jīng)抽風(fēng)集氣后由車間外排氣筒排放，其余均以無組織形式在車間內(nèi)排放。部分硅料需利用無水乙醇進(jìn)行擦拭，以去除其表面的少量油污，本項(xiàng)目無水乙醇在擦拭過程中均以無組織形 式揮發(fā)至車間內(nèi)。 二 、 消防 設(shè)計(jì)依據(jù) (1)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》 (GBJ1687)1997版； (2)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ1401990)； (3)《建 筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GB500571994)。 (2)本工程生產(chǎn)場地防火等級屬丙類，廠區(qū)、生產(chǎn)場地等按照消防規(guī)范設(shè)置消火栓。并配置一定數(shù)量的移動式滅火器。加強(qiáng)職工安全防火宣 傳教育培訓(xùn)工作，并實(shí)行持證上崗。在傳 50 達(dá)室設(shè)置消防控制室，內(nèi)設(shè)區(qū)域報警控制器。通過直線電話向公安消防部門報警。 三、 職業(yè)安全衛(wèi)生 設(shè)計(jì)采用的勞動安全標(biāo)準(zhǔn) (1)《機(jī)械防護(hù)安全距離》 (GB626590 ) 。 (3)《用電安全導(dǎo)則》 (GB/T1386982 ) 。 (5)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》 (GBJ8785 ) 。 (7)《工廠安全衛(wèi)生規(guī)程》及國發(fā) (1983)85號文件的有關(guān)規(guī)定。 (2)在經(jīng)濟(jì)合理的條件下，盡量采用不產(chǎn)生或少產(chǎn)生危害安全與衛(wèi)生的新工藝、新技術(shù)、新設(shè)備、新材料，減輕工人勞動強(qiáng)度，改善工人勞動條件。 建設(shè)項(xiàng)目生產(chǎn)過程中職業(yè)危害分析 (1)工藝過程有少量 有害性氣體：酸、堿性氣體、腐蝕性氣體；有害液體：酸、堿液體等有害液體。 保證勞動安全衛(wèi)生的技術(shù)措施 (1)對于有危險性因素，如化學(xué)品等，設(shè)專門的堆放場地，并由專人負(fù)責(zé)保管；廢水治理后達(dá)標(biāo)排放排放及治理措施。同時， 加強(qiáng)廠房內(nèi)通風(fēng)，對有毒有害氣體集中凈化處理。 (3)在裝置中，根據(jù)各崗位接觸到有毒有害物料的特性，配備必要的安全勞動保護(hù)用品，如橡膠手套、膠靴、防護(hù)衣、眼鏡、防毒面具、洗眼器 等。 (5)對生產(chǎn)中可能產(chǎn)生的污染均采取了治理措施，確保生產(chǎn)環(huán)境清潔。車間內(nèi)新增的所有用電設(shè)備，均采用安全絕緣接地保護(hù)和漏電保護(hù)措施，保障安全生產(chǎn)。 (8)車間內(nèi)設(shè)有通風(fēng)設(shè)施，以改善工人勞動條件。 (10)安時足額 發(fā)放勞動防護(hù)用品。 二、節(jié)能方案設(shè)計(jì)采用的具體標(biāo)準(zhǔn) 《設(shè)備熱效率計(jì)算通則》（ GB258881） 《綜合能耗計(jì)算通則》（ GB258987） 《企業(yè)能量平衡通則》（ GB348483） 《企業(yè)通量平衡技術(shù)考核驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)》（ GB379483） 《評價企業(yè)合理用電技術(shù)導(dǎo)則》（ GB348583） 《評價企業(yè)合理用熱導(dǎo)則》（ GB348683） 《工程設(shè)計(jì)節(jié)能技術(shù)暫行規(guī)定》（ GBJ685） 本項(xiàng)目節(jié)能、節(jié)水措施如下： （一）節(jié)能 節(jié)能方案應(yīng)符合相關(guān)建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和《中國節(jié)能技術(shù)政策大綱》中的節(jié)能要求。按照“十一五規(guī)劃”綱要中提出的要求，資源利用效率要顯著提高，“十一五”期間單位國內(nèi)生產(chǎn)總值能源消耗比“十五”期末降低 20%左右。 表 71 綜合能耗表 序號 名稱 單位 年度消耗 實(shí)物量 折算標(biāo)煤量 (噸 ) 百分比 1 電 kwh 1600000 1969 % 2 水 m3 10000 25 % 3 其它 50 % 4 合計(jì) 2044 % 5 總綜合能耗 2044 噸標(biāo)煤 6 項(xiàng)目萬元 GTP增加值綜合能耗 噸標(biāo)煤 7 項(xiàng)目噸產(chǎn)品綜合能耗 40 噸標(biāo)煤 項(xiàng)目設(shè)備總負(fù)荷約 1600KW， 主要節(jié)能措施有： 設(shè)計(jì)根據(jù)工藝條件、操作條件，充分利用物料反應(yīng)過程的熱交換作用，為節(jié)能創(chuàng)造條件 為減少熱 損失，凡外表≥ 60℃的高溫設(shè)備及管道，采用絕熱材料進(jìn)行保溫。 搞好余熱、余壓、可燃?xì)怏w的回收利用。 在總圖布置和工藝布置上，盡量做好緊湊合理、物流通暢，傳輸路線短，避免生產(chǎn)過程中物流倒流現(xiàn)象。 生產(chǎn)照明均采用節(jié)能型燈具，以節(jié)約用電。 工藝參數(shù)實(shí)行監(jiān)測與控制，使其在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化最佳狀態(tài)下工作，避免壓力、溫度等過高，從而節(jié)約能源。 提高工業(yè)用水回收率和重復(fù)利用率，采用一水多用，循環(huán)利用，逆水回用等節(jié)約用水措施。 采用各種方法，使企業(yè)工業(yè)用水，實(shí)現(xiàn)我國“十 一 五” 56 計(jì)劃綱要提出的 工業(yè)用水重復(fù)利用率平均要求達(dá)的 80%的規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。 第九章 項(xiàng)目的組織管理和實(shí)施進(jìn)度 一、項(xiàng)目的組織管理 項(xiàng)目建設(shè)的組織與管理在企業(yè)原有領(lǐng)導(dǎo)體制下進(jìn)行。 項(xiàng)目組織原則 項(xiàng)目組織機(jī)構(gòu)包括管理系統(tǒng)、生產(chǎn)系統(tǒng)、和生活服務(wù)系統(tǒng)的劃分，其設(shè)置主要取決于項(xiàng)目設(shè)計(jì)方案和企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模產(chǎn)品范圍和產(chǎn)量、車間多少、職工人數(shù)等。 項(xiàng)目組織形式 57 部門、行業(yè)不同，生產(chǎn)規(guī)模不同，項(xiàng)目組織管理機(jī)構(gòu)可采用不同的形式。 項(xiàng)目工作制度 根據(jù)各車間和設(shè)施的工藝特點(diǎn)和生產(chǎn)需要，可分別采用連續(xù)工作制或間斷工作制。本項(xiàng)目采用 8小時工作日制。實(shí)行政府監(jiān)督（如技術(shù)監(jiān)督局）、社會監(jiān)理、企業(yè)自檢的質(zhì)量保證體系。整改不見成效的取消施工資格。 （二）主要履行單位的選擇 由于本項(xiàng)目工程量 較 大、技術(shù)要求較高，因此對參與履行項(xiàng)目供貨、設(shè)計(jì)、安裝施工的單位均應(yīng)進(jìn)行 必要的資格審查，并將審查程序與結(jié)果形成書面報告，存檔備案。 施工安裝：施工安裝從具有設(shè)備安裝施工經(jīng)驗(yàn)的單位中選擇，由項(xiàng)目執(zhí)行單位進(jìn)行資格審查后，通過招標(biāo)方式確定。 （ 2）未經(jīng)驗(yàn)收合格工程不得進(jìn)入下道