質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)使用說明書-在線瀏覽
2024-08-30 06:31本頁面
【正文】 ale): 表示滿量程值表1 S4933/MT型﹑S4933M/MT型質(zhì)量流量控制器技術(shù)指標(biāo) 編號(hào)項(xiàng) 目S4933/MTS4933M/MT1流量規(guī)格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥3調(diào)節(jié)閥靜止位置常閉4準(zhǔn)確度177。 2 % 5線性 177。 %7響應(yīng)時(shí)間(1 ~ 10) sec8工作壓差范圍( ~ ) Mpa 10~30L(~) Mpa9耐壓3 Mpa ﹑ 10 Mpa10工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃11材料不銹鋼316L12標(biāo)準(zhǔn)密封材料Viton﹑EPDM, 或其他13漏率﹤214接頭Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他15輸入輸出信號(hào)0 V ~ + V(輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)16電源+15 V 50 mA15V 200 mA17外形尺寸 mm1341343818重量 kg表2. S4933A/MT﹑ S4933BM/MT型質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)編號(hào)項(xiàng) 目S4933A/MTS4933BM/MT1流量規(guī)格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM2準(zhǔn)確度177。2 % 3線性 177。 %5響應(yīng)時(shí)間1~4 sec6氣壓降 MPa7耐壓3 MPa﹑ 10 MPa8工作環(huán)境溫度5 ℃ ~ 45 ℃11材料不銹鋼316L12標(biāo)準(zhǔn)密封材料Viton﹑EPDM, 或其他13漏率﹤214接頭Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他電源+15 V 50 mA 15 V 50 mA11外形尺寸 mm134134381341343812重量 kg11注意： S49系列質(zhì)量流量控制器，質(zhì)量流量計(jì)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是(5～100)%（量程比為50:1）, %。當(dāng)設(shè)定與“內(nèi)”設(shè)相連時(shí)，由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。在流量顯示儀的顯示面板上設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置于“閥控”時(shí)，則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動(dòng)控制流量，當(dāng)置“關(guān)閉”位時(shí)，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時(shí)，閥門開到最大，以便氣路清洗，或作為流量計(jì)使用。清洗時(shí)，流量顯示不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異?，F(xiàn)象，但不會(huì)對(duì)流量計(jì)本身造成損傷。注意應(yīng)使用雙扳手操作，用一只扳手卡住接頭不動(dòng)，用另一只扳手旋轉(zhuǎn)螺母。圖四 VCR 接頭的連接方法S49系列質(zhì)量流量控制器的電纜接線插頭，主要采用DB15pin針型接口和DB15 hole孔型接口兩種。設(shè)定(0~+)空腳15V+15V0電平外調(diào)零清洗流量檢測(cè)（0~+5V）15V+15V+15V15V空腳關(guān)閉電源地（GND）閥控空腳大地（Earth）空腳空腳OV（EO）815714613512411310291 圖五 DB15pin針型接口配線圖192103114125136147158外調(diào)零設(shè)定(0~+)流量檢測(cè)（0~+5V）大地（Earth）0電平閥控0V（EO）電源地（GND）+15V15V15V+15V清洗15V關(guān)閉15V+15V空腳空腳空腳
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