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光柵傳感器ppt課件(2)-在線瀏覽

2025-06-23 04:02本頁面
  

【正文】 形式:一種 是徑向光,其柵線的延長線通過圓心; 第二種 是切線光柵,其柵線的延長線與光柵盤中的一個(gè)小同心圓相切; 第三種 是環(huán)形光柵,其柵線為一簇等間距同心圓。 ?莫爾條紋是由主光柵和指示光柵的透光與遮光效應(yīng)形成的。 (二) 莫爾條紋測量位移原理 當(dāng)光電元件 5接收到明暗相間的正弦信號(hào)時(shí),根據(jù)光電轉(zhuǎn)換原理將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。 當(dāng)波形重復(fù)到原來的相位和幅值時(shí),相當(dāng)于光柵移動(dòng)了一個(gè)柵距 W,如果光柵相對位移了 N個(gè)柵距,此時(shí)位移 x=NW。當(dāng)莫爾條紋移動(dòng)時(shí),兩個(gè)條紋的亮度變化規(guī)律完全一樣,相位相差 π/2。 三、莫爾條紋細(xì)分技術(shù) ?(一)細(xì)分方法: ? 增加光柵刻度密度。把一個(gè)周期變化的莫爾條紋信號(hào)再細(xì)分,即增大一周期的脈沖數(shù),稱為倍頻法。 ? 機(jī)械和光學(xué)細(xì)分。缺點(diǎn)是光電元件安放困難,因而細(xì)分不能過高。 一種用于 48細(xì)分的電位器電橋細(xì)分電路如圖10— 8所示。計(jì)量光柵大多數(shù)是在構(gòu)成莫爾要紋的情況下使用。 ?長光柵柵距誤差一般為微米( μm)數(shù)量級,圓光柵為秒( ” )角數(shù)量級。光源 1發(fā)射的光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡 2變成平行光束,垂直投射到主光柵 3上,它和指示光柵 4形成的莫爾條紋信號(hào)直接由光電元件 5接收。光源 6經(jīng)聚光鏡 5成平行光束以一定的角度通過場鏡 3射向指示光柵2,莫爾條紋是由主光柵 1反射回來的光線與指示光柵 2作用形成的,經(jīng)反射鏡 4反射后由物鏡 7成象被硅光電池
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