微電子學概論chappt課件-在線瀏覽
2025-06-21 22:34本頁面
【正文】 講， MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體的微型機電系統(tǒng) ?MEMS技術是一種多學科交叉的前沿性領域，它幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子、機械、光學、物理學、化學、生物醫(yī)學、材料科學、能源科學等 MEMS — 微小型、智能、集成、高可靠 ?MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大的技術整合 ?微電子技術、精密加工技術、傳感器技術、執(zhí)行器技術 ?微小型化、智能化、集成化、高可靠性 ?MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成 ?在芯片上實現(xiàn)了力、熱、磁、化學到電的轉變 ?MEMS極大地改善了人類生活的質量 ?大批量、低成本的傳感器生產方式給人們更多的保護 ?MEMS將會帶動一個充滿活力的產業(yè)迅速成長 ?不是鋼鐵、汽車、微電子，而是微系統(tǒng) ADI公司生產的微加速度計MEMS芯片 ?MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領域中都有著十分廣闊的應用前景 ?微慣性傳感器及微型慣性測量組合能應用于制導、衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防抱死系統(tǒng) (ABS)、穩(wěn)定控制和玩具 ?微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進、傷員救護 ?MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲和顯示、光譜分析、信息采集等等 ?已經制造出尖端直徑為 5?m的可以夾起一個紅細胞的微型鑷子，可以在磁場中飛行的象蝴蝶大小的飛機等 MEMS技術的應用 MEMS技術的應用 ?空間應用 ?用作運行參數測量的微加速度計已進行了地面輻照實驗 ， 正在進行飛行搭載實驗 ?微陀螺 、 微推進和微噴管等微系統(tǒng)基礎研究 ?通信方面 ?光通信正在向有光交換功能的全光通信網絡方向發(fā)展 ?無線通信則要求增強功能 （ 如聯(lián)網等 ） 和減小功耗 。 包括美國朗訊公司在內的一些公司和大學正在研究全光通信網用的微系統(tǒng)及無線通信用射頻微系統(tǒng) MEMS技術的應用 ?在生物醫(yī)學方面，將光、機、電、液、生化等部件集成在一起，構成一個微型芯片實驗室，用于臨床醫(yī)學檢測，為醫(yī)生甚至家庭提供簡單、廉價、準確和快捷的檢測手段 ?光顯示、高密度存儲、汽車、國防等微系統(tǒng) MEMS技術的應用 美國提出的硅固態(tài)衛(wèi)星的概念圖，這個衛(wèi)星除了蓄電池外， 全由硅片構成，直徑僅 15cm MEMS技術的歷史 ?微系統(tǒng)是從微傳感器發(fā)展而來的，已有幾次突破性的進展 ?70年代微機械壓力傳感器產品問世 ?80年代末研制出硅靜電微馬達
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