【正文】 設(shè)計（論文）題目： 二氧化硅薄膜的制備與應(yīng)用分析 指 導(dǎo) 教 師： 設(shè) 計 地 點： 起 迄 日 期： 常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院電子與電氣工程學(xué)院 畢業(yè)設(shè)計論文 畢業(yè)設(shè)計（論文）任務(wù)書 專業(yè) 班級 姓名 一、課題名稱： 二氧化硅薄膜的制備與應(yīng)用分析 二、主要 研究內(nèi)容： 對二氧化硅的物理、化學(xué)性質(zhì)進行分析和闡述。 分析二氧化硅薄膜的的制備方法，研究物理氣相沉積，化學(xué)氣相淀積，熱氧化法，溶膠凝膠 法的制備流程。 針對不同的用途和要求，分析相應(yīng)的性質(zhì)及發(fā)展前景。 四、主要參考文獻： [1] 張淵 . 半導(dǎo)體制造工藝 — 北京：機械工業(yè)出版社 ,. [2] 許生 ,侯曉 波 ,范垂禎 ,等 .硅靶中頻反應(yīng)磁控濺射二氧化硅薄膜的特性研究 [J]2020. [3] 張紅梅 ,尹云華 .太陽能電池的研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢 [J].水電能源科學(xué)， 2020， 26(6)： 193197. [4] 王學(xué)華 ,薛亦渝 ,趙力 ,等新型光學(xué)薄膜研究及發(fā)展現(xiàn)狀 [J]2020. 學(xué) 生（簽名） 年 月 日 指 導(dǎo) 教師（簽名） 年 月 日 教研室主任（簽名） 年 月 日 系 主 任（簽名） 年 月 日 常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院電子與電氣工程學(xué)院 畢業(yè)設(shè)計論文 畢業(yè)設(shè)計（論文）開題報告 設(shè)計（論文）題目 二氧化硅薄膜的制備與應(yīng)用分析 一、 選題的背景和意義： 在微電子工藝中，二氧化 硅薄膜因其優(yōu)越的電絕緣性和工藝的可行性而被廣泛采用。 20 世紀(jì) 80 年代末期，隨著光通信及集成光學(xué)研究的飛速發(fā)展，玻璃薄膜光波導(dǎo)被廣泛應(yīng)用于光無源器件及集成光路中。損耗器件方面有應(yīng)用前景，在光學(xué)集成和光電集成器件方面 有應(yīng)用前景，可作為波導(dǎo)膜、減反膜和增透膜。 闡述二氧化硅薄膜的用途。 二氧化硅薄膜的用途。 三、 主要研究（設(shè)計）方法論述： 本文主要采用了文獻研究法、信息研究法以及描述性研究法。 常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院電子與電氣工程學(xué)院 畢業(yè)設(shè)計論文 四、設(shè)計（論文）進度安排： 時間（迄止日期） 工 作 內(nèi) 容 2020 年 10 月 25 日 前 根據(jù)本專業(yè)確定相關(guān)論文題目 2020 年 11 月 1 日 根據(jù)老師下達的任務(wù)書，談些開題報告 2020 年 11 月 10 日 參考論文模板擬定提綱 2020 年 11 月 15 日 通過網(wǎng)絡(luò)和書籍手機相關(guān)資料，按照設(shè)想的方案初步擬定目錄。 2020 年 5 月 30 日 對論文進行裝訂。 五、指導(dǎo)教師意見： 指導(dǎo)教師簽名： 年 月 日 六、系部意見： 系主任簽名： 年 月 日 常州信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院電子與電氣工程學(xué)院 畢業(yè)設(shè)計論文 二氧 化硅薄膜的制備與應(yīng)用分析 目錄 摘要 Abstract 第 1 章 前言 ...................................................................................................................1 第 2 章 二氧化硅的簡介 ...............................................................................................2 二氧化硅薄膜的性質(zhì) .......................................................................................2 二氧化硅的物理性質(zhì) ..................................................................................................2 二氧化硅的化學(xué)性質(zhì) ..................................................................................................3 第 3 章 二氧化硅薄膜的主要制備方法 .......................................................................4 熱氧化法 ..........................................................................................................4 干氧氧化 ...................................................................................................4 水汽氧化 ...........................................................................................................................4 濕氧氧化 ...........................................................................................................................4 化學(xué)氣相淀積法 ...............................................................................................................5 物理氣相淀積法（ PVD） ...........................................................................................7 多腔集成 CVD 設(shè)備 .......................................................................................................8 第 4 章 二氧化硅薄膜厚度的測量方法 .......................................................................9 比色法 ...............................................................................................................9 雙光干涉法 .......................................................................................................9 橢圓偏振光法 ................................................................................................. 11 第 5 章 二氧化硅薄膜的用途 .....................................................................................12 二氧化硅的掩蔽作用 .....................................................................................12 二氧化硅薄膜的保護和鈍化作用 .................................................................12 二氧化硅薄膜的隔離作用 .............................................................................12 二氧化硅在某些器件中的重要作用 .............................................................12 用于電極引線和硅器件之間的絕緣 .............................................................12 第 6 章 二氧化硅薄膜在不同領(lǐng)域的應(yīng)用 .................................................................13 微電子學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用 .....................................................................................13 在光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用 .........................................................................................13 二氧化硅薄膜在單晶硅太陽能電池中的應(yīng)用 .........