【正文】 于復(fù)雜， 而且 功耗 較高 。 畢業(yè)設(shè)計（論文）報告紙 共 32 頁 第 2 頁 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 內(nèi)部補償?shù)膶崿F(xiàn)方式 比 較少。目前 使用 的各種溫度補償，各自在 復(fù)雜程度 、 經(jīng)濟 性 、 補償效果 等方面也各有 優(yōu)缺點。內(nèi)部補償是通過設(shè)計傳感器的結(jié)構(gòu)、 完善 制造工藝、控制敏感材料特性等方式來減小 溫度 對他 的影響。為了 提高測量精度 ， 擴大這類傳感器的應(yīng)用環(huán)境 ， 研究它的溫度補償問題 就非常有必要 了 。根據(jù)傳感器 不同的 種類和傳感機制，其誤差來源 也不盡相 同 ，進行誤差補償?shù)年P(guān)鍵點也有所不同。信號調(diào)理電路的電阻、電容等元件特性 幾乎 不隨溫度變化 發(fā)生改變 ， 必須采取措施 來消除 或減弱溫度變化對傳感器特性造成的影響。 5)℃下 進行標定，但 工 傳感器的工 作環(huán)境溫度 也可能 從 零下幾十度 上 升 到零上幾十度。 在傳感器的應(yīng)用中，為使傳感器的技術(shù)指標及性能不受溫度變化影響而采取一系列具體技術(shù)措施 ， 稱為溫度補償技術(shù)。 在 實際工作中 ， 由于傳感器工作 的 環(huán)境溫度變化 比較 大， 而且 溫度變化引起的熱粉出 比 較大， 這些原因 將會帶來較大的測量誤差 ； 同時，溫度變化也影響零點和靈敏度值的大小 。 但 是 大多數(shù)傳感器的敏感元件 采用金屬或半導(dǎo)體材料 。 關(guān)鍵詞： 壓力傳感器、 溫度、補償 畢業(yè)設(shè)計（論文）報告紙 II ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ Abstract The pressure sensor is the most monly used one kind of sensor in industrial practice, and we usually use the pressure sensor is mainly made of the use of piezoelectric effect, the sensor also known as piezoelectric sensor. As we know, the crystal is anisotropic, non crystal is isotropic. Some crystal medium along a certain direction, when subjected to mechanical stress deformation occurs, produces the polarization effect。所以本文就 針對 溫度漂移問題展開分析 。 但是 隨著 工作 環(huán)境溫度的 不斷 變化 ，會導(dǎo)致 體管參數(shù) 發(fā)生 變化，將 會引起不穩(wěn)定的靜態(tài)工作點，電路的動態(tài)參數(shù) 不穩(wěn)定和溫度漂移 （包括零點漂移和靈敏度漂移） 。某些晶體介質(zhì)，當沿著一定方向受到機械力作用發(fā)生變形時，就產(chǎn)生了極化效應(yīng)；當機械力撤掉之后，又會重新回到不帶電的狀態(tài)，也就是受到壓力的時候，某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng)，這就是所謂的極化效應(yīng)。 畢 業(yè) 論 文 課 題 名 稱 壓力傳感器的 溫度 補償 分析 分 院 /專 業(yè) 機械工程學(xué)院 /機電一體化 技術(shù) 班 級 機電 1051 學(xué) 號 1001043522 學(xué) 生 姓 名 劉兵 指導(dǎo)教師： 楊新春 2020年 5月 20日 畢業(yè)設(shè)計（論文）報告紙 I ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 摘 要 壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器，而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。 我們知道，晶體是各向異性的，非晶體是各向同性的 。科學(xué)家就是根據(jù)這個效應(yīng)研制出了壓力傳感器。 最簡單的方法就是保持工作環(huán)境溫度的恒定 ， 當然，這種要求是永遠達不到的。對于不同的壓力傳感器采用不同 的溫度補償方法，使其達到預(yù)期的效果。 when the mechanical force is removed, will return to the uncharged state, when it is under pressure, can produce electricity effect of some crystals, which is called polarization effect. The scientist is developed according to the effect of pressure sensor. But with the continuous change of the environmental temperature, will cause the body tube parameter changes, will cause the static working point is not stable, dynamic parameters of the circuit unstable and temperature drift (including zero drift and sensitivity drift). The simplest method is to maintain a constant temperature working environment, of course, this requirement is never reach. So this article aims at the problem of temperature drift analysis. The temperature pensation method is different with different pressure sensors, to achieve the desired effect. Keywords: pressure sensor, temperature, pensation 畢業(yè)設(shè)計（論文）報告紙 III ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 裝 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 訂 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 線 ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ ┊ 目 錄 第 1 章 緒論 ............................................................................................................................ 1 本課題研究的目的和意義 ............................................................................................. 1 壓力傳感器的發(fā)展概況 ............................................................................................... 2 壓力傳感器的發(fā)展歷程 ...................................................................................... 2 壓力傳感器國內(nèi)外研究現(xiàn)狀 ............................................................................... 3 壓力傳感器的發(fā)展趨勢 ...................................................................................... 4 傳感器的常用術(shù)語 ...................................................................................................... 4 傳感器的技術(shù)特點及環(huán)境影響 ..................................................................................... 7 第 2 章 壓力傳感器的原理 ....................................................................................................... 9 壓力傳感器的基本原理 ............................................................................................... 9 半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng) ............................................................................................. 9 壓力傳感器的原理及結(jié)構(gòu) ................................................................................ 10 壓力傳感器的特性指標 .................................................................................... 11 壓力傳感器溫度漂移產(chǎn)生的機理 ................................................................................ 14 第 3 章 壓力傳感器的溫度補償 .............................................................................................. 16 溫度補償?shù)募夹g(shù)指標 ................................................................................................. 16 補償方式簡介 ............................................................................................................ 17 內(nèi)部補償 .......................................................................................................... 17 外部補償 .......................................................................................................... 17 第 4 章 總結(jié) .......................................................................................................................... 26 謝 辭 ..................................................................................................................................... 27 參考文獻 ........................................................