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2025-03-19 03:31本頁面
  

【正文】 外延 藍(lán)寶石 緩沖層 NGaN pGaN MQW MOCVD機(jī)臺 第一步 清洗 有機(jī)物 金屬離子 第二步 n區(qū)光刻 爆光機(jī) 刻蝕 Cl2+Bcl3+Ar Plasmalab System 133 去膠 3液 p電極蒸發(fā) 蒸發(fā)機(jī)臺 P電極光刻 P電極腐蝕 KI+I2 去膠 丙酮 +酒精 P電極合金 O2 合金爐 N電極光刻 N電極蒸發(fā) N剝離 N退火 N2 P壓焊點(diǎn)光刻 P壓焊點(diǎn)蒸發(fā) P壓焊點(diǎn)剝離 鈍化層沉積 氣體,功率 PECVD機(jī)臺 鈍化層光刻 鈍化層刻蝕 鈍化層去膠 丙酮 中道終測檢驗(yàn) 減薄 劃片 裂片 擴(kuò)膜 ? 劃片 ,裂片工作流程圖 劃片前晶片背面 劃片后背面 劃片后 ,側(cè)視圖 裂片后 ,側(cè)視圖 擴(kuò)膜后 ,正視圖 測試分檢 測試機(jī) LED:What’ s inside? electrodes semiconductor chip
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