透射電子顯微鏡-展示頁
2025-01-04 21:44本頁面
【正文】 它稱為光學(xué)顯微鏡。 俄歇電子是由試樣表面極有限的幾個原子層中發(fā)出的，這說明俄歇電子信號適用與表層化學(xué)成分分析。 四、 俄歇電子? 如果原子內(nèi)層電子能級躍遷過程中釋放出來的能量不是以 X射線的形式釋放而是用該能量將核外另一電子打出，脫離原子變?yōu)槎坞娮?，這種二次電子叫做俄歇電子。 三、 特征 X射線 ? 特征 X射線 是原子的內(nèi)層電子受到激發(fā)以后在能級躍遷過程中直接釋放的具有特征能量和波長的一種電磁波輻射。掃描電鏡的分辨率一般就是二次電子分辨率。 它對試樣表面狀態(tài)非常敏感，能有效地顯示試樣表面的微觀形貌。那些能量大于材料逸出功的自由電子可從樣品表面逸出，變成真空中的自由電子，即二次電子。 ? 二、 二次電子 ? 二次電子 是指背入射電子轟擊出來的核外電子。 背反射電子的產(chǎn)生范圍在 100nm1m m深度 電子束在試樣中的散射示意圖 ? 背反射電子產(chǎn)額和二次電子產(chǎn)額與原子序束的關(guān)系背反射電子束成像分辨率一般為 50200nm（與電子束斑直徑相當(dāng)）。 ? 非彈性背反射電子 是入射電子和核外電子撞擊后產(chǎn)生非彈性散射，不僅能量變化，而且方向也發(fā)生變化。透射電子顯微鏡? 電子束與固體樣品的相互作用具有高能量的入射電子束與固體樣品的原子核及核外電子發(fā)生作用后，可產(chǎn)生多種物理信號。 電子束和固體樣品表面作用時的物理現(xiàn)象 ? 一、背射電子 ? 彈性背反射電子 是指被樣品中原子和反彈回來的，散射角大于 90度的那些入射電子，其能量基本上沒有變化（能量為數(shù)千到數(shù)萬電子伏）。非彈性背反射電子的能量范圍很寬， 從數(shù)量上看，彈性背反射電子遠比非彈性背反射電子所占的份額多。背反射電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)的增加而增加（右圖），所以，利用背反射電子作為成像信號不僅能分析新貌特征，也可以用來顯示原子序數(shù)襯度，定性進行成分分析。由于原子核和外層價電子間的結(jié)合能很小，當(dāng)原子的核外電子從入射電子獲得了大于相應(yīng)的結(jié)合能的能量后，可脫離原子成為自由電子。 ? 二次電子來自表面 510nm的區(qū)域，能量為 050eV。由于它發(fā)自試樣表層，入射電子還沒有被多次反射，因此產(chǎn)生二次電子的面積與入射電子的照射面積沒有多大區(qū)別，所以二次電子的分辨率較高，一般可達到 1nm。 ? 二次電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)的變化不大，它主要取決與表面形貌。 X射線一般在試樣的500nm5m m深處發(fā)出。 ? 因每一種原子都由自己特定的殼層能量，所以它們的俄歇電
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