中科院半導(dǎo)體研究所自主研發(fā)實(shí)驗(yàn)型mocvd用戶手冊(cè)-展示頁(yè)
2024-08-22 15:41本頁(yè)面
【正文】 多個(gè)要反轉(zhuǎn)的開(kāi)關(guān)，選中的開(kāi)關(guān)以黃顏色高亮度顯示，此時(shí)單擊“反轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)”，即可實(shí)現(xiàn)批量反轉(zhuǎn)，改變選中的多個(gè)開(kāi)關(guān)的當(dāng)前狀態(tài)。u 加載默認(rèn)值（D）默認(rèn)狀態(tài)：當(dāng)控制器打開(kāi)電源時(shí)，所有開(kāi)關(guān)都是斷電的，此時(shí)各個(gè)開(kāi)關(guān)顯示的標(biāo)簽和顏色應(yīng)為各自斷電時(shí)的值。點(diǎn)擊“確定”按鈕，則保存此次修改，點(diǎn)擊“取消”按鈕，則不保存此次修改。點(diǎn)擊通訊設(shè)置按鈕，打開(kāi)通訊設(shè)置界面，如下圖所示： 從端口號(hào)下拉框中選擇端口號(hào)（對(duì)應(yīng)于計(jì)算機(jī)串口號(hào)），4個(gè)端口號(hào)各不相同，否則發(fā)生通訊錯(cuò)誤。178。 部件設(shè)置點(diǎn)擊部件設(shè)置，打開(kāi)部件設(shè)置界面，如下圖所示：左邊的列表中顯示的是部件分組（質(zhì)量流量控制器、壓力流量控制器，低壓氣動(dòng)常閉閥、低壓氣動(dòng)常開(kāi)閥、MainFold（MN閥）、其他低壓氣動(dòng)閥，告警故障，電磁閥，其他），點(diǎn)擊其中一個(gè)部件組名稱，右邊列表顯示該部件組的部件屬性列表。系統(tǒng)設(shè)置是完成系統(tǒng)基本設(shè)置，包括：部件定義和通訊串口設(shè)置。u 停止輪巡：系統(tǒng)停止輪巡。 5. 主界面主界面如下圖所示：主界面主要包括：菜單欄、工具欄（快捷按鈕）、控制面板、氣路圖控制、表格監(jiān)控、圖線監(jiān)控、工藝流程、故障告警動(dòng)作列表、故障告警列表、日志、狀態(tài)欄。 2. 功能MOCVD監(jiān)控程序主要完成如下功能：l 提供控制界面，實(shí)時(shí)顯示MOCVD各監(jiān)控對(duì)象的當(dāng)前狀態(tài)；l 可自定義工藝控制流程；l 支持3種控制模式：直接在主界面的控制圖上執(zhí)行控制，單步執(zhí)行工藝控制流程，自動(dòng)執(zhí)行工藝控制流程；l 實(shí)時(shí)故障告警以及編輯告警響應(yīng)動(dòng)作；l 可自定義告警響應(yīng)動(dòng)作流程；l 提供統(tǒng)計(jì)分析功能，可查詢歷史監(jiān)控記錄，制作并打印統(tǒng)計(jì)圖表；l 可根據(jù)壓力、流量、溫度和時(shí)間自動(dòng)進(jìn)行MO源消耗量統(tǒng)計(jì)；l 提供日志記錄 3. 系統(tǒng)運(yùn)行環(huán)境 為保證系統(tǒng)運(yùn)行的實(shí)時(shí)性，系統(tǒng)配置要求如下：u 硬件環(huán)境l 機(jī) 型： 推薦使用工控機(jī)和原裝機(jī)；l 處 理 器： 采用奔騰700MHz以上的處理機(jī)；l 內(nèi) 存： 128M以上；l 硬 盤(pán)空間： 2G；l 多 串口卡： 最少要有四個(gè)串口，以保證通訊。MOCVD監(jiān)控系統(tǒng)用戶手冊(cè)版本 MOCVD監(jiān)控系統(tǒng) Version: 用戶手冊(cè) Date: 24/1/2007修訂歷史記錄日期版本說(shuō)明作者2007126根據(jù)系統(tǒng)具體功能編寫(xiě)用戶手冊(cè) 目錄1. 編寫(xiě)目的 42. 功能 53. 系統(tǒng)運(yùn)行環(huán)境 64. 系統(tǒng)邏輯結(jié)構(gòu) 75. 主界面 8 菜單欄 9 文件 10 查看 12 工具 13 關(guān)于 16 控制面板 17 參數(shù)設(shè)定 17 告警 18 氣路圖控制 19 氣路圖控制 19 表格監(jiān)控 22 圖線監(jiān)控 24 添加/刪除圖線 25 工具欄 26 調(diào)節(jié)縱向顯示比例 26 圖線顯示 27 工藝流程 28 打開(kāi)工藝文件 29 編輯工藝流程 30 執(zhí)行工藝流程 33 故障告警列表 34 故障告警動(dòng)作列表 35 狀態(tài)欄 36 用戶手冊(cè)1. 編寫(xiě)目的本用戶手冊(cè)將作為程序用戶的幫助手冊(cè)，將對(duì)MOCVD監(jiān)控系統(tǒng)的運(yùn)行環(huán)境及其整個(gè)使用流程進(jìn)行詳細(xì)描述，力求在沒(méi)有技術(shù)人員在現(xiàn)場(chǎng)的情況下，給用戶提供隨手可得的幫助。用戶手冊(cè)主要針對(duì)MOCVD監(jiān)控程序的用戶編寫(xiě)。采用串行雙工通訊方式，接口為RS485，通過(guò)RS485轉(zhuǎn)接口連接到電腦，保證足夠的信號(hào)傳輸距離；u 軟件環(huán)境l 操 作系統(tǒng)： 操作系統(tǒng)推薦采用windows 2000/XP；l 數(shù)據(jù)庫(kù)接口： 推薦采用ACCESS2000以上數(shù)據(jù)庫(kù)；l 應(yīng) 用程序： MOCVD監(jiān)控程序； 4. 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)裝有MOCVD監(jiān)控程序的PC機(jī)通過(guò)4個(gè)RS232接口分別與MOCVD控制器、壓差計(jì)PM2000、壓力控制器651C、溫控表FP93相連接進(jìn)行串口通訊。 菜單欄菜單欄將監(jiān)控程序的所有功能集合在一起，主要菜單功能從左至右分別是【文件】、【查看】、【工具】、【幫助】如下圖所示： 文件u 開(kāi)始輪巡：系統(tǒng)開(kāi)始輪巡。u 系統(tǒng)設(shè)置：打開(kāi)系統(tǒng)設(shè)置界面。178。可定義的部件屬性有：名稱、小數(shù)、單位、上限、下限、注釋、默認(rèn)值、超限誤差。 通訊設(shè)置 通訊設(shè)置完成串口的參數(shù)設(shè)置，可設(shè)置4個(gè)設(shè)備的串口：控制器、壓差計(jì)、溫控表、壓力計(jì)。然后分別在控制器、壓差計(jì)、壓力計(jì)、溫控表所對(duì)應(yīng)的端口設(shè)置文本框中輸入正確的端口設(shè)置，格式如：9600，n，8，1。u 重置控制器（R） 系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，當(dāng)控制器發(fā)生異常時(shí)（如無(wú)法反轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)或者設(shè)置模擬量，持續(xù)報(bào)告輪巡錯(cuò)誤）點(diǎn)擊此菜單重置控制器可解決問(wèn)題。點(diǎn)擊“加載默認(rèn)值”按鈕時(shí)，系統(tǒng)設(shè)置各個(gè)開(kāi)關(guān)為斷電狀態(tài)，但不發(fā)送命令，只是修改開(kāi)關(guān)的標(biāo)簽和顏色為斷電時(shí)的狀態(tài)。開(kāi)關(guān)反轉(zhuǎn)成功，開(kāi)
醫(yī)療健康相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1