【正文】 純水區(qū)改造增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行冷卻循環(huán)水改造增加1臺(tái)冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)（包括泵組、管道）依托現(xiàn)有冷凍站3儲(chǔ)運(yùn)工程原料儲(chǔ)存氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排（軟連接改為彈簧硬管連接）依托現(xiàn)有工程液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等），備用液氮罐10m3一個(gè)，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力依托現(xiàn)有工程產(chǎn)品儲(chǔ)存存放于成品庫(kù)房依托現(xiàn)有工程4公用工程項(xiàng)目供水來(lái)自市政供水項(xiàng)目排水系統(tǒng)包括生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水排水系統(tǒng)。表2產(chǎn)品方案序號(hào)產(chǎn)品名稱(chēng)新增年產(chǎn)量（萬(wàn)只）備注1普通元器件2第一階段2直流輸電用超大功率5英寸晶閘管3直流輸電用超大功率6英寸晶閘管14直流輸電用特大功率8英寸晶閘管5碳化硅器件第二階段表3第一階段工藝設(shè)備清單（新增）序號(hào)設(shè)備名用途描述設(shè)備型號(hào)數(shù)量（臺(tái)）1高溫離子注入機(jī)碳化硅或硅片摻雜IH－860DSIC12激光動(dòng)態(tài)成像機(jī)實(shí)時(shí)電子版激光曝光ALDISLS138英寸3層擴(kuò)散爐高溫?fù)诫s　/548英寸雙面曝光機(jī)規(guī)準(zhǔn)曝光　/358英寸單面曝光機(jī)精準(zhǔn)曝光　/26套刻測(cè)量?jī)x光刻對(duì)準(zhǔn)檢查KLA510517PECVD結(jié)終端鈍化　/18LPCVD沉積膜THERMCO 510419快速退火爐SHS2800離子注入退火SHS2800110涂膠顯影軌道機(jī)勻膠顯影MKVZ211干法去膠機(jī)去除光刻膠MATTSONASPEN2ICP212箱式高真空退火爐摻雜或金屬層退火　/2138英寸腐蝕機(jī)濕法去膠、腐蝕　/6148英寸清洗機(jī)硅片清洗　/6158英寸甩干機(jī)清洗甩干SEMITOOL D800616電子束鍍膜機(jī)電極制備　/317擴(kuò)展電阻測(cè)試儀擴(kuò)散結(jié)果檢測(cè)　/118少子壽命分布測(cè)試儀少子壽命分布檢測(cè)ELYMAT119臺(tái)階測(cè)試儀腐蝕輪廓測(cè)試DECTEK120IGCT靜態(tài)態(tài)參數(shù)測(cè)試臺(tái)IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試　/121IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試臺(tái)IGCT動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試　/1228英寸靜態(tài)態(tài)參數(shù)測(cè)試臺(tái)7英寸晶閘管參數(shù)測(cè)試　/1238英寸動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試臺(tái)8英寸晶閘管參數(shù)測(cè)試　/1248英寸浪涌電流測(cè)試臺(tái)8英寸分立半導(dǎo)體器件　/1258英寸冷焊機(jī)8英寸晶閘管封裝　/126電子掃描顯微鏡芯片微觀檢查S4500127全自動(dòng)硅片清洗機(jī)硅片清洗　/528仿真設(shè)備和軟件研發(fā)SIVACO129碳化硅工藝管芯片高溫?fù)诫s　/10308英寸高溫片藍(lán)芯片加熱酸洗　/100318英寸碳化硅舟芯片高溫?fù)诫s　/50328英寸源管高溫預(yù)沉積　/20338英寸舟高溫?cái)U(kuò)散　/50348英寸工裝、模具等8英寸后道工藝　/　358英寸冷焊模具和測(cè)試卡具等8英寸封裝測(cè)試　/　表4第二階段工藝設(shè)備清單（新增）序號(hào)設(shè)備名用途描述設(shè)備型號(hào)數(shù)量(臺(tái))1濺射臺(tái)(AL/TI)/VARIAN329012APCVD WJ999(BPSG)/WJ99913雙面刷洗機(jī)/DNS60A14酸堿清洗臺(tái)（金屬、無(wú)金屬）/國(guó)內(nèi)定制26光刻機(jī)/ NikonI1015OX 刻蝕LAM4520/LAM452016刻蝕 LAM4420/LAM442017金屬刻蝕 LAM TCP9600SE/LAM TCP9600SE18紫外線(xiàn)固膠PCU200 POLO/PCU200 POLO19立式淀積爐SVG7000/SVG7000110臥式爐BDF41（柵氧）/BDF41111臥式爐BDF41（場(chǎng)氧）/BDF41112臥式爐BDF41（場(chǎng)氧）/BDF41113臥式爐TMX9K（回流）/TMX9K114缺陷掃描電鏡KLA2135/KLA2135115線(xiàn)寬掃描電鏡H8840/H8840116膜厚儀UV1050/UV1050217顆粒儀SFS6200/SFS6200118顯微鏡OPSTATION V/OPSTATION V219膜厚橢偏儀OP2600/OP2600120B/P含量測(cè)量?jī)xECO1000/ECO1000121CP探針臺(tái)amp。圖1 項(xiàng)目四鄰關(guān)系圖表1建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模建設(shè)位置建設(shè)內(nèi)容建設(shè)規(guī)模1建筑晶閘管工藝廠房一層純水區(qū)增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行改造工藝凈化面積約為3600m2，動(dòng)力面積約為280m2廢水區(qū)進(jìn)行局部改造，增加沉淀時(shí)間和距離，進(jìn)一步提高對(duì)含氟廢水的處理效果二層凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾器裝置）數(shù)量，將FFU布置占比提高至80%，同時(shí)改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等，新增1臺(tái)40000m3/h新風(fēng)機(jī)組（含變頻控制柜）熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺(tái)熱排風(fēng)機(jī)，形成1備1用，并增加相應(yīng)的分支管路工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)（1備1用2臺(tái)WS501羅茨干泵組，1個(gè)真空儲(chǔ)氣罐，管路、閥門(mén)等）有機(jī)排風(fēng)機(jī)組增加1套有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)（包括管路等）酸堿排風(fēng)系統(tǒng)工藝線(xiàn)排出酸堿到排酸風(fēng)機(jī)之間，增加一級(jí)或幾級(jí)小的酸堿中和箱工藝改造區(qū)增添工藝生產(chǎn)設(shè)備，配電、照明等生產(chǎn)輔助動(dòng)力系統(tǒng)進(jìn)行改造4建筑化學(xué)品庫(kù)氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排（軟連接改為彈簧硬管連接）改造面積約為50m25建筑動(dòng)力站冷卻循環(huán)水改造增加1臺(tái)冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)（包括泵組、管道）改造面積約為70m2液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等），備用液氮罐10m3一個(gè)，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力本項(xiàng)目總投資為36742萬(wàn)元，用地性質(zhì)為工業(yè)用地，土地文件見(jiàn)附件1。項(xiàng)目分兩個(gè)階段：第一階段通過(guò)技術(shù)升級(jí)改造使現(xiàn)有生產(chǎn)線(xiàn)工藝設(shè)備達(dá)到特大功率8英寸晶閘管的頂級(jí)配置，向下兼容現(xiàn)有產(chǎn)品，包括普通晶閘管（大功率整流管、快速軟恢復(fù)二級(jí)管、脈沖晶閘管、快速晶閘管）、直流輸電用超大功率5英寸、6英寸晶閘管，增加新產(chǎn)品的同時(shí)，提高原有產(chǎn)品的性能與產(chǎn)能；第二階段是在同時(shí)在晶閘管生產(chǎn)線(xiàn)的基礎(chǔ)上，研發(fā)IGCT(普通元器件)和SiC器件等高端產(chǎn)品（完成8英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)的基礎(chǔ)上）。1建筑晶閘管工藝廠房位于廠區(qū)中部，緊挨西廠界，北側(cè)為汽車(chē)庫(kù)和綜合辦公樓；4建筑化學(xué)品庫(kù)位于1建筑東側(cè)靠北方向，東側(cè)為空地；5建筑動(dòng)力站位于1建筑東側(cè)和4建筑南側(cè)，東側(cè)為空地。項(xiàng)目地理位置見(jiàn)附圖1。二、項(xiàng)目概況建設(shè)地點(diǎn)特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目建設(shè)地點(diǎn)位于西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號(hào)西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司廠區(qū)原廠房?jī)?nèi)。接受委托后，我公司組織有關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)踏勘，收集了建設(shè)項(xiàng)目所在區(qū)域的自然、社會(huì)、生態(tài)環(huán)境和人文環(huán)境資料。根據(jù)《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》、《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例》、《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類(lèi)管理名錄》的有關(guān)規(guī)定，以及西安市環(huán)境保護(hù)局高新分局對(duì)工程環(huán)境管理的要求，該建設(shè)項(xiàng)目應(yīng)進(jìn)行環(huán)境影響評(píng)價(jià)，編制環(huán)境影響報(bào)告表。并在此基礎(chǔ)上研制SIC基PIN二極管、IGBT和晶閘管及其相關(guān)器件和技術(shù)，逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。公司目前現(xiàn)有生產(chǎn)線(xiàn)年產(chǎn)普通晶閘管4萬(wàn)只。項(xiàng)目名稱(chēng)：特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目文件類(lèi)型：環(huán)境影響報(bào)告表 適用的評(píng)價(jià)范圍：一般項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表 法定代表人：王曉平 （簽章）主持編制機(jī)構(gòu)：陜西企科環(huán)境技術(shù)有限公司 （簽章）西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制人員名單表編制主持人姓名職（執(zhí)）業(yè)資格證書(shū)編號(hào)登記（注冊(cè)證）編號(hào)專(zhuān)業(yè)類(lèi)別本人簽名韓燁00015339B36040281000社會(huì)服務(wù)主要編制人員情況序號(hào)姓名職（執(zhí)）業(yè)資格證書(shū)編號(hào)登記（注冊(cè)證）編號(hào)編制內(nèi)容本人簽名1韓燁00015339B36040281000項(xiàng)目基本情況、評(píng)價(jià)適用標(biāo)準(zhǔn)、工程分析、自然環(huán)境社會(huì)環(huán)境簡(jiǎn)況、環(huán)境影響分析2李珊珊00015340B36040270300防治措施及預(yù)期治理效果、環(huán)境質(zhì)量狀況、結(jié)論及建議建設(shè)項(xiàng)目基本情況項(xiàng)目名稱(chēng)特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目建設(shè)單位西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司法人代表陸劍秋聯(lián)系人耿濤通訊地址西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號(hào)聯(lián)系電話(huà)13891879825傳真02968935336郵政編碼710201建設(shè)地點(diǎn)西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號(hào)立項(xiàng)審批部門(mén)西安高新區(qū)創(chuàng)新發(fā)展局批準(zhǔn)文號(hào)西高新創(chuàng)新發(fā)2016(273)號(hào)建設(shè)性質(zhì)新建□改擴(kuò)建□技改√行業(yè)類(lèi)別及代碼電力電子元器件制造（C3924）占地面積（平方米）4000綠化面積（平方米）/總投資（萬(wàn)元）36742其中：環(huán)保投資（萬(wàn)元）60環(huán)保投資占比總投資比例%評(píng)價(jià)經(jīng)費(fèi)（萬(wàn)元）/預(yù)期投產(chǎn)日期2018年12月工程內(nèi)容及規(guī)模：一、項(xiàng)目由來(lái)西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司原為西安電力電子技術(shù)研究所，主要從事大功率電力半導(dǎo)體器件、各類(lèi)新型電力電子器件、各種電力電子應(yīng)用裝置、檢測(cè)技術(shù)和設(shè)備、可靠性技術(shù)、冷卻技術(shù)等綜合電力電子技術(shù)的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的基地，是我國(guó)著名的電力電子研究開(kāi)發(fā)中心、國(guó)家工程研究中心、國(guó)家電力電子產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心以及標(biāo)準(zhǔn)信息中心。預(yù)審意見(jiàn)——由行業(yè)主管部門(mén)填寫(xiě)答復(fù)意見(jiàn)，無(wú)主管部門(mén)項(xiàng)目，可不填。結(jié)論與建議——給出本項(xiàng)目清潔生產(chǎn)、達(dá)標(biāo)排放和總量控制的分析結(jié)論，確定污染防治措施的有效性，說(shuō)明本項(xiàng)目對(duì)環(huán)境造成的影響，給出建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境可行性的明確結(jié)論?？偼顿Y——指項(xiàng)目投資總額。建設(shè)地點(diǎn)——指項(xiàng)目所在地詳細(xì)地址，公路、鐵路應(yīng)填寫(xiě)起止地點(diǎn)。西企科環(huán)境技術(shù)有限公司　　　　　　　　 評(píng)價(jià)證書(shū)類(lèi)別：乙 級(jí)環(huán)評(píng)報(bào)告－2016　　　　　　　　 評(píng)價(jià)證書(shū)編號(hào)：第3604號(hào)　　　　　　　　　　　西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（送審稿） 陜西企科環(huán)境技術(shù)有限公司二○一六年十一月三十日建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表項(xiàng) 目 名 稱(chēng)：特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升 和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目建設(shè)單位(蓋章)：西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司 編制日期：2016年11月30日國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局制47 / 52《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》編制說(shuō)明《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》由具有從事環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作資質(zhì)的單位編制。項(xiàng)目名稱(chēng)——指項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)時(shí)的名稱(chēng)，應(yīng)不超過(guò)30個(gè)字（兩個(gè)英文字段作一個(gè)漢字）。行業(yè)類(lèi)別——按國(guó)標(biāo)填寫(xiě)。主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)——指項(xiàng)目區(qū)周?chē)欢ǚ秶鷥?nèi)集中居民住宅區(qū)、學(xué)校、醫(yī)院、保護(hù)文物、風(fēng)景名勝區(qū)、水源地和生態(tài)敏感點(diǎn)等，應(yīng)盡可能給出保護(hù)目標(biāo)、性質(zhì)、規(guī)模和距廠界距離等。同時(shí)提出減少環(huán)境影響的其他建議。審批意見(jiàn)——由負(fù)責(zé)審批該項(xiàng)目的環(huán)境保護(hù)行政主管部門(mén)批復(fù)。2010年西電所將全部科研、生產(chǎn)整體化轉(zhuǎn)成立了西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)有限公司，2010年12月通過(guò)了《關(guān)于成立西安派瑞半導(dǎo)體變流技術(shù)有限公司的批復(fù)》（陜科改發(fā)[2010]151號(hào)），2015年12月取得了《企業(yè)名稱(chēng)核準(zhǔn)變更通知書(shū)》（（西工商）名稱(chēng)變內(nèi)核字[2015]第002809號(hào)），公司名稱(chēng)變更為西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司。根據(jù)公司的發(fā)展方向，為進(jìn)一步提高阻斷電壓和直流導(dǎo)通電流以及實(shí)現(xiàn)SiC SBD和MOSFET的產(chǎn)業(yè)化，研制出60010000V/30A以上系列SiC SBD二極管與MOSFET器件。通過(guò)本項(xiàng)目的實(shí)施，建立一個(gè)覆蓋晶閘管、SiC器件研制生產(chǎn)基地，將派瑞公司打造成為具有世界一流技術(shù)水平的、能夠提供完整特大功率電力半導(dǎo)體器件產(chǎn)品及其應(yīng)用解決方案的供應(yīng)商。2016年9月，西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司正式委托陜西企科環(huán)境技術(shù)有限公司承擔(dān)本項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)工作，并編制建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表。在工程污染因素分析的基礎(chǔ)上，通過(guò)實(shí)地監(jiān)測(cè)、類(lèi)比調(diào)查和資料收集，編制了《特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》。項(xiàng)目北鄰特斯拉汽車(chē)銷(xiāo)售服務(wù)（西安）公司和西安沃恩機(jī)床