微機電系統(tǒng)功能檢測-展示頁
2025-07-16 13:54本頁面
【正文】 中最具活力與現(xiàn)實意義的領(lǐng)域。7mm體積大得多的小型泵的1000倍，而且微機電系統(tǒng)不存在信號延遲等問題，可進行高速工作。如微米級的具有智能化的靜電式微馬達，它可以進入人的血管，對血管堵塞起清通的作用，這樣就可以治療腦血管病、肝臟血管堵塞等有關(guān)的嚴(yán)重疾病。由于微細(xì)加工技術(shù)的進步，現(xiàn)在往往把硅基材料微型傳感器和信號處理器件與轉(zhuǎn)換電路做在一起，極大地提高了MEMS的信噪比，同時也大大提高了MEMS的靈敏度、測量精度和響應(yīng)速度，并省略了復(fù)雜的接口技術(shù)，智能化程度大大加強。從信號產(chǎn)生的功能，到執(zhí)行信號和處理信號的功能都可以實現(xiàn)微型化和集成化，最終把微敏感元件、微處理器、微致動器和各種微機電系統(tǒng)都集成于一小小的硅芯片上，并可大批量、廉價地生產(chǎn)。另外，微機械的結(jié)構(gòu)、原理和作用規(guī)律也與一般的傳統(tǒng)機械不同，它不是傳統(tǒng)機械尺度的微縮，有許多特殊現(xiàn)象和規(guī)律有待進一步探索和研究，所以不能用對傳統(tǒng)的認(rèn)識去看待微機械。其二，用微機械進行的操作是極其微細(xì)的，有的操作已經(jīng)達到了單個細(xì)胞乃至分子之間。由于微電子技術(shù)已經(jīng)非常成熟，因此在談到微機電系統(tǒng)技術(shù)時，人們更關(guān)心的是微機械部分的設(shè)計與加工技術(shù)。簡單講，微機電系統(tǒng)是一種集成了微電子電路和微機械致動器的微小器件，它可根據(jù)電路信息的指令，控制致動器實現(xiàn)機械操作=還可以利用傳感器接收外部信息，將轉(zhuǎn)換出來的信號經(jīng)電路處理放大，再由致動器變?yōu)闄C械操作，去執(zhí)行信息命令。班級：2011級機汽學(xué)院碩士3班 姓名：盧嘉輝 學(xué)號：201121002847微機電系統(tǒng)的性能檢測及其應(yīng)用一、微機電系統(tǒng)概述微機電系統(tǒng)是指用微機械加工技術(shù)制作的包括微傳感器、微執(zhí)行器、微能源等微機械基本部分以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。以微機械為研究對象的微機電系統(tǒng)涉及多種學(xué)科，主要有微機械學(xué)、微電子學(xué)、自動控制、物理、化學(xué)、生物以及材料科學(xué)等基本內(nèi)容，是一個多學(xué)科、高技術(shù)的邊緣學(xué)科。可以說，微機電系統(tǒng)是一種獲取、處理信息和執(zhí)行操作的集成器件。對于微機械，其特征之一是微機械元件的尺寸一般都在微米級甚至更小。其三，有些微機械敏感元件能敏感到單個原子，因此可用其進行原子量級的探測。二、微機電系統(tǒng)的特點相對于傳統(tǒng)機電系統(tǒng)而言，微機電系統(tǒng)的主要特點是：1．器件微型化、集成化、尺寸達到納米數(shù)量級在一個幾毫米見方的硅芯片上完成線與面的集成、信號處理單元的集成以至和一個微型計算機集成。2．功能多
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