foundry工廠專業(yè)名詞解釋—chapter1-展示頁
2025-05-22 22:25本頁面
【正文】 sembly）。2. 電漿光阻去除的原理，系利用氧氣在電漿中所產(chǎn)生只自由基（Radical）與光阻（高分子的有機物）發(fā)生作用，產(chǎn)生揮發(fā)性的氣體，再由幫浦抽走，達到光阻去除的目的。砷是NTYPE DOPANT 常用作N場區(qū)、空乏區(qū)及S/D植入。 14 AS75 砷 自然界元素之一；由33個質(zhì)子，42個中子即75個電子所組成。此單位常用于IC制程上，表示其層（如SiO2，Poly，SiN….）厚度時用。如SRP(Spreading Resistance Prqbing)也是應(yīng)用Angle Lapping的方法作前處理，采用的方法是以表面植入濃度與阻值的對應(yīng)關(guān)系求出Junction的深度，精確度遠超過入射光干涉法。公式為Xj=λ/2 NF即Junction深度等于入射光波長的一半與干涉條紋數(shù)之乘積。 10 ALUMINUN 鋁 此為金屬濺鍍時所使用的一種金屬材料，利用Ar游離的離子，讓其撞擊此種材料做成的靶表面，把Al的原子撞擊出來，而鍍在芯片表面上，將此當作組件與外界導線之連接。 8 AL/SI 鋁/硅 靶 此為金屬濺鍍時所使用的一種金屬合金材料利用Ar游離的離子，讓其撞擊此靶的表面，把Al/Si的原子撞擊出來，而鍍在芯片表面上，一般使用之組成為Al/Si (1%)，將此當作組件與外界導線連接。 7 ALLOY/SINTER 熔合 Alloy之目的在使鋁與硅基(Silicon Substrate)之接觸有Ohmic特性，即電壓與電流成線性關(guān)系。2. 目的：在IC的制造過程中，必須經(jīng)過6~10次左右的對準、曝光來定義電路圖案，對準就是要將層層圖案精確地定義顯像在芯片上面。 5 AIR SHOWER 空氣洗塵室 進入潔凈室之前，需穿無塵衣，因在外面更衣室之故，無塵衣上沾著塵埃，故進潔凈室之前，需經(jīng)空氣噴洗機將塵埃吹掉。22達到品質(zhì)的一致性和制程之重復性。 4 AEI 蝕刻后檢查 1. 定義：AEI即After Etching Inspection，在蝕刻制程光阻去除前及光阻去除后，分別對產(chǎn)品實施全檢或抽樣檢查。發(fā)現(xiàn)缺點后，如覆蓋不良、顯影不良…等即予修改，以維護產(chǎn)品良率、品質(zhì)。5. 允許濃度1000PPM。3. 在FAB內(nèi)之用途，主要在于黃光室內(nèi)正光阻之清洗、擦拭。 2 ACETONE 丙酮 1. 丙酮是有機溶劑的一種，分子式為CH3COCH3。Foundry工廠專業(yè)名詞解釋—chapter1 1 Active Area 有源區(qū)（工作區(qū)） 有源晶體管（ACTIVE TRANSISTOR）被制造的區(qū)域即所謂的有源區(qū)（ACTIVE AREA）。在標準之MOS制造過程中ACTIVE AREA是由一層氮化硅光罩即等接氮化硅蝕刻之后的局部場區(qū)氧化所形成的，而由于利用到局部場氧化之步驟，所以ACTIVE AREA會受到鳥嘴（BIRD’S BEAK）之影響而比原先之氮化硅光罩所定義的區(qū)域來的小，’S BEAK存在，也就是說ACTIVE 。2. 性質(zhì)為無色，具刺激性及薄荷臭味之液體。4. 對神經(jīng)中樞具中度麻醉性，對皮膚黏膜具輕微毒性，長期接觸會引起皮膚炎，吸入過量之丙酮蒸汽會刺激鼻、眼結(jié)膜及咽喉黏膜，甚至引起頭痛、惡心、嘔吐、目眩、意識不明等。 3 ADI 顯影后檢查 ：After Developing Inspection ：檢查黃光室制程；光阻覆蓋→對準→曝光→顯影。：利用目檢、顯微鏡為之。：21提高產(chǎn)品良率，避免不良品外流。23顯示制程能力之指針24阻止異常擴大，非必要時很少作修改，因為重去氧化層或重長氧化層可能造成組件特性改變可靠性變差、缺點密度增加，生產(chǎn)成本增高，以及良率降低之缺點。 6 ALIGNMENT 對準 1. 定義：利用芯片上的對準鍵，一般用十字鍵和光罩上的對準鍵合對為之。3. 方法：、電組合代替人眼，即機械式對準。Alloy也可降低接觸的阻值。 9 AL/SI/CU 鋁/硅 /銅 金屬濺鍍時所使用的原料名稱，通常是稱為TARGET，﹪銅，1﹪﹪鋁，一般制程通常是使用99﹪鋁1﹪硅，后來為了金屬電荷遷移現(xiàn)象（ELEC TROMIGRATION）﹪銅，以降低金屬電荷遷移。 11 ANGLE LAPPING 角度研磨 Angle Lapping 的目的是為了測量Junction的深度，所作的芯片前處理，這種采用光線干涉測量的方法就稱之Angle Lapping。但漸漸的隨著VLSI組件的縮小，準確度及精密度都無法因應(yīng)。 12 ANGSTRON 埃 是一個長度單位，其大小為1公尺的百億分之一，約為人的頭發(fā)寬度
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