納米薄膜材料pvppt課件-展示頁
2025-05-21 12:52本頁面
【正文】 ?不含應(yīng)力 ?純度 ?整體性 沉積膜必須材質(zhì)連續(xù)、不含針孔 膜層的厚度影響：電阻，薄層易含針孔，機(jī)械強(qiáng)度較弱 覆蓋階梯形狀特別重要，膜層厚度維持不變的能力 /// 圖 4 沈積層在 (b) 階梯處變薄 薄膜性質(zhì)參數(shù) 物理氣相沉積 (PVD)方法作為一類常規(guī)的薄膜制備手段被廣泛地應(yīng)用于納米薄膜的制備與研究工作中 ， PVD包括 蒸鍍 、 電子束蒸鍍 、 濺射 等 。 “納米復(fù)合薄膜” 按用途可分為兩大類： a:納米復(fù)合 功能 薄膜 b:納米復(fù)合 結(jié)構(gòu) 薄膜 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 a:納米復(fù)合 功能 薄膜： 利用納米粒子所具有的光、電、磁方面的特異性能，通過復(fù)合賦予基體所不具備的性能，從而獲得傳統(tǒng)薄膜所沒有的功能。薄膜技術(shù)作為材料制備的有效手段，可以將各種不同的材料靈活地復(fù)合在一起，構(gòu)成具有優(yōu)異特性的復(fù)雜材料體系，發(fā)揮每種成分的優(yōu)勢，避免單一材料的局限性 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 納米薄膜的分類 A：由納米粒子組成 (或堆砌而成 )的薄膜。薄膜技術(shù)作為器件微型化的關(guān)鍵技術(shù)，是制備這類具有新型功能器件的有效手段。 薄膜技術(shù)正是實現(xiàn)器件和系統(tǒng)微型化的最有效的技術(shù)手段 。 返回 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 薄膜材料之所以能夠成為現(xiàn)代材料科學(xué)各分支中發(fā)展最為迅速的一個分支，至少有以下三個方面的原因 ∶ 1 現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，打破了過去體材料的一統(tǒng)天下。納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 Seminar的總結(jié) ?1 ppt 的制作 ?2 對論文的理解 ?3 聲音，表情，動作 第三章 納米薄膜材料 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 薄膜材料是相對于體材料而言的，是人們采用特殊的方法，在 體材料的表面沉積或制備的一層性質(zhì)于體材料完全不同的物質(zhì)層 。薄膜材料受到重視的原因在于它往往具有特殊的 材料性能或材料組合 。過去需要眾多材料組合才能實現(xiàn)的功能，現(xiàn)在僅僅需要少數(shù)幾個器件或一塊集成電路就可以完成。 2 器件的微型化不僅可以保持器件原有的功能，并使之 更強(qiáng)化 ，而且隨著器件的尺寸減小并接近了電子或其他粒子量子化運動的微觀尺度，薄膜材料或其器件將顯示出許 多全新的物理現(xiàn)象 。 3 每種材料的性能都有其局限性。 B：在納米粒子間有較多的孔隙或無序原子或另一種材料，即納米復(fù)合薄膜 由特征維度尺寸為納米數(shù)量級（ 1－ 100nm）的組元鑲嵌于不同的基體里所形成的復(fù)合薄膜材料。 a)電磁學(xué)性質(zhì) 導(dǎo)電薄膜： Au, Ag, Cu, Al, NiCr, NiSi2, NiSi, CoSi2, TiSi2, SnO2 電介質(zhì)?。?SiO2, CaF, BaF2, Si3N4, AlN, BN, BaTiO3, PZT(PbZr1xTixO3) ?半導(dǎo)體薄膜： Si, Ge, C, SiC, GaAs, GaN, InSb, CdTe, CdS, ZnSe ?超導(dǎo)薄膜： YBCO (YBa2Cu3O7) ?磁性薄膜： CoCr, MnBi, GdTbFe, La1xCax(Srx)MnO3 ?壓電薄膜： AlN, ZnO, LiNbO3, BaTiO3, PbTiO3 b) 光學(xué)性質(zhì) ?吸收，反射，增透膜： Si, CdTe, GaAs, CuInSe2, MgF ?發(fā)光膜： ZnS, ZnSe, AlxGa1xAs, GaN, SiC ?裝飾膜： TiN/TiO2/Glass, Au, TiN 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 b:納米復(fù)合 結(jié)構(gòu) 薄膜 ：通過納米粒子復(fù)合提高機(jī)械方面的性能 a) 硬度，磨損，摩擦 TiN, CrN, ZrN, TiC, CrC, ZrC, Diamond b)腐蝕 Au, Zn, Sn, NiCr, TiN, BN 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 金屬／絕緣體、半導(dǎo)體／絕緣體、金屬／半導(dǎo)體、 金屬／高分子、半導(dǎo)體／高分子 “納米復(fù)合薄膜” 納米粒子： 金屬、半導(dǎo)體、絕緣體、有機(jī)高分子 基體材料： 不同于納米粒子的任何材料 復(fù)合薄膜系列： 納米材料及納米工藝 第 三 章 納米薄膜材料 材料化學(xué) 系 3． 2納米薄膜材料制備技術(shù) 1） 、 真空蒸發(fā) (單源單層蒸發(fā)；單源多層蒸發(fā)；多源反應(yīng)共蒸發(fā) ) 2） 、 磁控濺射 3） 、 離子束濺射 （ 單離子束 (反應(yīng) )濺射；雙離子束 (反應(yīng) )濺射；多離子束反應(yīng)共濺射 ） 4） 、 分
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