電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)-展示頁
2025-01-17 03:51本頁面
【正文】 掃描電子顯微術(shù) (SEM) SEM的特點 ? 樣品制備較簡單 ， 甚至可以不作任何處理 。 并且樣品可以很大 ， 如直徑可達(dá) 10cm以上 。 以致使用者可以首先概觀整個樣品 ， 然后迅速轉(zhuǎn)換到觀察某些選擇的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié) ， 這給觀察帶來很大的方便 。 ? 掃描電鏡具有很大的焦深 。 圖像富有立體感 、 真實感 、 易于識別和解釋 。 如可與 X 射線譜儀配接 ， 可在觀察形貌的同時 進(jìn)行微區(qū)成分分析 。那些接近樣品表層且能量大于材料逸出功的自由電子可從表面逸出，成為二次電子。深度之間 。二次電子所成的二次電子像可反映樣品表面形貌 。 （ BSE） 背散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子，其中包括 彈性背散射電子 和 非彈性背散射電子 。能達(dá)到數(shù)千到數(shù)萬電子伏。 最終那些能量大于表面逸出功的入射電子從樣品表面發(fā)射出去 ， 這部分電子稱為 非彈性背散射電子 。 100 10,000 1 Energy of Electron (eV) Quantity of Electrons (Incident beam energy : 10,000eV) 二次 電 子 彈性背散射電子 非彈性背散射電子 ? 從數(shù)量上看，彈性背散射電子遠(yuǎn)比非彈性背散射電子 所占的份額多。 ?背散射電子的產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)和傾斜角的關(guān)系 產(chǎn)額 傾斜角 ?入射電子打到樣品上 ， 受原子散射 ， 偏離原來入射方向 。 入射電子在試樣表面下某個范圍內(nèi)運動 ， 不斷散射 ， 并激發(fā)各種信號 ， 這些信號產(chǎn)生的空間范圍不同 ， 它們的能量各不相同 。在高原子序數(shù)樣品中，激發(fā)區(qū)域是一個半球形區(qū)域。 1kV 2kV 3kV 10 20 30 40 50 (nm)
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