單晶硅太陽(yáng)電池工藝-展示頁(yè)
2025-05-24 11:34本頁(yè)面
【正文】 司生產(chǎn)的擴(kuò)散爐也有少數(shù)公司采用，效果很好，缺點(diǎn)是編輯新擴(kuò)散工藝不方便，要求工藝人員會(huì)計(jì)算機(jī)編程語(yǔ)言才能編寫工藝程序。三氯氧磷與氧氣在爐內(nèi)反應(yīng)生成磷擴(kuò)散進(jìn)硅片表面下 ，同時(shí)通保護(hù) N2，調(diào)節(jié)氣流，保證擴(kuò)散結(jié)的均勻性。 joe 7 diffusion joe 8 diffusion 擴(kuò)散的主要目的是制作 PN結(jié)，在摻硼的 P型硅片上用三氯氧磷進(jìn)行擴(kuò)散。清洗作業(yè)還要用到 HF溶液，洗去硅片表面上的薄氧化層。 texturing joe 6 擴(kuò)散前清洗 ?制絨后會(huì)進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)，在擴(kuò)散前要進(jìn)行酸洗，洗去硅片表面附著的金屬離子。 制絨工藝所用的化學(xué)輔料現(xiàn)在普遍是 NaOH,異丙醇和硅酸鈉。若表面較臟，工藝的變數(shù)就很大了，反應(yīng)時(shí)間一般是延長(zhǎng)至 40分鐘，同時(shí)加大堿濃度，甚至在制絨前采用高濃度堿液腐蝕的“粗拋”工藝。工藝條件視硅片表面質(zhì)量而定，以 200片一槽不銹鋼材質(zhì)的設(shè)備為例，硅片表面油污較少易于制出絨面，堿濃度可在 %之間，醇添加 610升即可，硅酸鈉 500克。 顯微鏡下的絨面結(jié)構(gòu)圖 joe 5 國(guó)內(nèi)一般采用深圳捷佳創(chuàng) inline制絨機(jī)。 joe 4 texturing 第二道工序是制絨。我所知的設(shè)備供應(yīng)商是韓國(guó)的 fortix公司。P型單晶硅太陽(yáng)電池工藝 joe 2 目錄 ?Test wafers ?Texturing ?Cleaning before diffusion ?Diffusion ?Edge isolation and remove PSG ?PECVD ?Screen printing and firing ?SE solar cells introduce joe 3 來料檢驗(yàn) ? 現(xiàn)在有的電池生產(chǎn)公司會(huì)有這道生產(chǎn)工序，因?yàn)閮?yōu)質(zhì)硅片在市場(chǎng)上常常處于“有價(jià)無市”的狀態(tài)，缺貨嚴(yán)重，許多硅片制造商經(jīng)常會(huì)用硅棒的“頭尾料”來以次充好，賣給下游電池制造商，所以加上這道工序用來檢驗(yàn)硅片的質(zhì)量。 ? 此道工序主要檢驗(yàn)硅片的厚度、少子壽命、表面平整度、是否有微裂紋、電阻率、表面油污等，同時(shí)具有插片功能，可將硅片插入 25片一盒的晶片盒中。這種設(shè)備插片速度不是很快，所以平時(shí)
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