如何利用掃描電鏡拍出高質(zhì)量的圖像-文庫(kù)吧資料
2025-01-17 19:02本頁(yè)面
【正文】 射電子束斑直徑 )3. 信噪比4. 雜散電磁場(chǎng)及機(jī)械振動(dòng)5. 樣品的自然襯度1. 入射束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) 電子束打到樣品上，會(huì)發(fā)生散射，擴(kuò)散范圍如同梨狀或半球狀。四、 影響掃描電鏡像質(zhì)量的主要因素 一幅高質(zhì)量的圖像應(yīng)滿足三個(gè)條件：首先是分辨率高，顯微結(jié)構(gòu)清晰可辨；第二是信噪比好 ,沒(méi)有明顯的雪花狀噪聲 。因此可以認(rèn)為，樣品表面平均原子序數(shù)大的微區(qū)，背散射電子信號(hào)強(qiáng)度較高，而吸收電子信號(hào)強(qiáng)度較低，兩者襯度正好相反。(2) 吸收電子像襯度 吸收電子信號(hào)強(qiáng)度與二次電子及背散射電子的發(fā)射有關(guān)，若樣品較厚，即 T=0，則η+δ+α=1 ?？梢?jiàn)，背散射電子信號(hào)強(qiáng)度隨原子序數(shù) Z增大而增大，樣品表面上平均原子序數(shù)較高的區(qū)域，產(chǎn)生較強(qiáng)的信號(hào)，在背散射電子像上顯示較亮的襯度。這些信號(hào)主要有背散射電子、吸收電子和特征 X射線。實(shí)際樣品的形狀雖然復(fù)雜，但都可以被看作是由許多位向不同的小平面組成的，掃描電鏡中入射電子束的方向是固定的，由于試樣表面凹凸不平，它對(duì)試樣表面不同處的入射角是不同的，由此產(chǎn)生二次電子的產(chǎn)額上的差異，經(jīng)調(diào)制放大便可得到反映樣品形貌的二次電子像。三、 掃描電鏡的成像 (襯度 )原理 若設(shè) α 為入射電子束與試樣表面法線之間的夾角，實(shí)驗(yàn)證明，當(dāng)對(duì)光滑試樣表面、入射電子束能量大于 1kV且固定不變時(shí)，二次電子產(chǎn)率 δ 與 α 的關(guān)系為 δ ∝ 1/cosα 掃描電鏡應(yīng)用的物理信號(hào)可分為： 1）電子信號(hào)，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。它的作用是： 1)使入射電子束在樣品表面掃描，并使陰極射線顯像管電子束在熒光屏上作同步掃描； 2)改變?nèi)肷涫跇悠繁砻娴膾呙枵穹?，從而改變掃描像的放大倍?shù)。? ?(2
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