中科院半導(dǎo)體研究所自主研發(fā)實(shí)驗(yàn)型mocvd用戶手冊(cè)-文庫(kù)吧資料
2024-08-20 15:41本頁(yè)面
【正文】 。216。 工具欄工具欄界面如下：216。178。178。 量程下限：量程的最小值。 量程上限：量程的最大值。 數(shù)據(jù)單位：模擬量的數(shù)值單位。 說(shuō) 明：對(duì)部件進(jìn)行注釋 。如果誤差值超過(guò)了誤差上限則出現(xiàn)超限告警。 誤差上限：誤差值的最大值，可以根據(jù)需要人為設(shè)定。 誤 差值：此處是指相對(duì)誤差值。 告 警：顯示部件的故障告警信息。 測(cè) 量值：運(yùn)行中實(shí)際測(cè)到的值。 設(shè) 定值：部件的設(shè)定值。216。 單擊分組名稱，顯示/隱藏分組中部件。178。178。178。178。178。178。178。 部件分組：為了方便地查看某一類部件的狀態(tài)信息，特對(duì)部件進(jìn)行分組，分為以下十組：178。 表格監(jiān)控表格監(jiān)控界面如下圖所示： 表格控制詳細(xì)地實(shí)時(shí)記錄每個(gè)部件的狀態(tài)變化信息（設(shè)定值、測(cè)量值、告警、誤差值、誤差上限、說(shuō)明、數(shù)據(jù)單位、量程下限、量程上限），實(shí)時(shí)刷新模擬量測(cè)量值、超限告警。178。 模擬量圖片背景色178。 TW1，TW2，TW3類閥：H2，顯示灰色；SiHAsHPH3，顯示綠色。 MN 系列閥：Close，顯示綠色；Open，顯示灰色。 NO、Mona系列閥：Close，顯示綠色；Open，顯示灰色。 HC、NC、MOnb/c、 Dn(n=1,2,......)類的閥：Close,顯示灰色；Open，顯示綠色。 開關(guān)量圖片背景色有兩種顏色綠色和灰色。如下圖所示，同時(shí)該信息顯示在狀態(tài)欄上。 顯示提示信息：對(duì)于開關(guān)量型的部件，可直接以不同的顏色代表開關(guān)不同的狀態(tài)。紅色為壓差模式，由壓差計(jì)自動(dòng)平衡兩路的壓力；黃色為流量控制模式，由程序調(diào)節(jié)流量計(jì)以平衡兩路的壓力。216。點(diǎn)擊“設(shè)置”按鈕或者按下回車鍵以發(fā)送設(shè)置命令，若成功則顯示“設(shè)置成功”字樣，否則顯示“設(shè)置失敗”。216。如果反轉(zhuǎn)成功，開關(guān)顯示反轉(zhuǎn)后的顏色，否則保持黃色。 反轉(zhuǎn)多個(gè)開關(guān)：按Ctrl鍵，選擇多個(gè)開關(guān)，選中的開關(guān)背景色變?yōu)辄S色。如果反轉(zhuǎn)成功，開關(guān)的顏色會(huì)發(fā)生變化，如果是綠色則變?yōu)榛疑?，灰色變?yōu)榫G色。在該界面上可以實(shí)現(xiàn)以下操作：216。所有的監(jiān)控對(duì)象均出現(xiàn)在控制界面上。清除超限告警列表中告警記錄。178。178。178。清除故障告警列表中告警記錄。178。178。178。178。u 壓差計(jì)2：顯示PDR2000壓差計(jì)的測(cè)量值2。點(diǎn)擊壓力輸入框右邊的“設(shè)置”按鈕，彈出如下壓力設(shè)定對(duì)話框 在輸入框中輸入新的壓力值，點(diǎn)擊“確定”按鈕，保存此次設(shè)置，點(diǎn)擊“取消”按鈕，取消此次設(shè)置。點(diǎn)擊溫度SV輸入框右邊的“設(shè)置”按鈕，彈出溫度設(shè)定對(duì)話框 在輸入框中輸入新的溫度值，點(diǎn)擊“確定”按鈕，保存此次設(shè)置，點(diǎn)擊“取消”按鈕，取消此次設(shè)置。 參數(shù)設(shè)定 參數(shù)設(shè)定界面如下圖所示：u 溫度PV：顯示溫控表的實(shí)際溫度測(cè)量值。 關(guān)于u 內(nèi)容u 關(guān)于Mocvd監(jiān)控程序給出Mocvd監(jiān)控程序版本信息如下圖所示：點(diǎn)擊“確定”，返回到主界面。當(dāng)點(diǎn)擊此按鈕時(shí)，會(huì)彈出如下確認(rèn)對(duì)話框： 點(diǎn)擊關(guān)閉按鈕退出MO源消耗量統(tǒng)計(jì)。178。 刪除源 刪除MO源并清除其消耗記錄。操作于編輯MO源一樣。勾選“高級(jí)”，顯示更多設(shè)置項(xiàng)目：178。其中MFC部件必須確認(rèn)是未關(guān)聯(lián)的MFC部件，EPC部件必須確認(rèn)是未關(guān)聯(lián)的EPC部件，MOc部件必須確認(rèn)是未關(guān)聯(lián)的低壓常閉開關(guān)。 編輯MO源 選擇要編輯的MO源（選中的MO源行以黑色高亮度顯示），點(diǎn)擊 編輯MO源按鈕，打開編輯MO源對(duì)話框，然后就可以編輯源的名稱、關(guān)聯(lián)的MFC部件、EPC部件、Moc（出氣口部件）、原始質(zhì)量、警示百分比、特性常數(shù)A、特性常數(shù)B、分子量、源瓶溫度。 當(dāng)源的剩余百分?jǐn)?shù)低于警示百分?jǐn)?shù)時(shí)候，以紅色顯示源所在的行，以提示用戶及時(shí)更換源。 瀏覽MO源的總消耗量和消耗記錄 進(jìn)入界面時(shí)MO源列表顯示所有的MO源的信息以及消耗情況。歷史記錄保存在安裝目錄的Log目錄下，每天對(duì)應(yīng)一個(gè)文件，命名格式為“”，該文件亦可用Excel打開。曲線分析顯示測(cè)量值的趨勢(shì)圖線。 工具u 統(tǒng)計(jì)分析 統(tǒng)計(jì)分析完成歷史數(shù)據(jù)查詢、告警查詢、表格分析、曲線分析、保存表格、打印表格等功能。當(dāng)光標(biāo)停留在某一工具欄按鈕上時(shí)，會(huì)以文字顯示對(duì)應(yīng)的菜單項(xiàng)，如果勾選了狀態(tài)欄，此時(shí)則會(huì)在狀態(tài)欄顯示該菜單項(xiàng)的功能解釋。勾選工具欄，顯示/隱藏工具欄。日志列表主要顯示如下內(nèi)容：通訊錯(cuò)誤信息，歡迎登錄信息，故障告警信息，超限告警信息。 查看u 全屏 勾選全屏，隱藏控制面板、日志區(qū)、工具欄和狀態(tài)欄以全屏顯示控制圖形界面。u 待機(jī)（W）置所有開關(guān)斷電。否則保持黃色。
u 反轉(zhuǎn)開關(guān)（R） 改變開關(guān)的當(dāng)前狀態(tài)，有兩種方法：一、直接在主界面上的氣路圖上點(diǎn)擊開關(guān)量，實(shí)現(xiàn)單個(gè)開關(guān)的反轉(zhuǎn)，改變單個(gè)開關(guān)的當(dāng)前狀態(tài)；二、在主界面的氣路圖上按Ctrl鍵連續(xù)選中
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