飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系介紹-文庫吧資料
2025-07-05 18:09本頁面
【正文】 知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。 若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。 如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。正確地組合真空泵。 真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 又如鈦升華泵可以在102mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1105mmHg為好。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為103~107mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5104~5106mmHg。 如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。 選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)： D為橡膠直徑，槽寬C＝1方形橡膠槽深B＝ 1O型橡膠槽深B＝ △Vt－滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)1旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式： Υ0－油的比重(克/厘米3) n－滴管刻度部分的格數(shù)(格) L－滴管刻度部分的長度(mm) 其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升) (Υ0/Υm)+Pa△Vt K＝V0升/秒)t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s) S＝Q/P＝(K S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。 Pg－真空室最高工作壓強(qiáng)(托) Sg－前級泵的有效抽速(l/s) PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn V－真空系統(tǒng)容積(升) Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托 S－機(jī)械泵有效抽速 lg(Pa/P預(yù))/t S＝Q1/P預(yù) (l/s) t－壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)1粗抽泵的抽速選擇： P2－真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg) l/s) S＝3D2 (D＝直徑cm）羅茨泵的前級抽速： （V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選
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